Ilki bilen, biziň bilmeliPECVD(Plazmanyň Güýçlendirilen Himiki Bug Çökmegi). Plazma material molekulalarynyň termal hereketiniň güýçlenmegidir. Olaryň arasyndaky çaknyşyk gaz molekulalarynyň ionlaşmagyna sebäp bolar we material biri-biri bilen täsirleşýän erkin hereket edýän oňyn ionlaryň, elektronlaryň we neýtral bölejikleriň garyndysyna öwrüler.
Kremniýiň ýüzünde şöhlelenme ýitgisiniň tizliginiň takmynan 35% -e ýetýändigi çaklanylýar. Şöhlelenme garşy plýonka batareýa öýjükleri tarapyndan gün şöhlesiniň ulanylyş tizligini ep-esli ýokarlandyryp biler, bu bolsa fotogenerasiýa edilen tok dykyzlygyny ýokarlandyrmaga we şeýlelik bilen öwrüliş netijeliligini ýokarlandyrmaga kömek edýär. Şol bir wagtyň özünde, plýonkadaky wodorod batareýa öýjükleriniň ýüzüni passiwleşdirýär, emitter birikmesiniň ýüzündäki rekombinasiýa tizligini peseldýär, garaňky togy peseldýär, açyk zynjyryň naprýaženiýesini ýokarlandyrýar we fotoelektrik öwrüliş netijeliligini ýokarlandyrýar. Ýanma prosesinde ýokary temperaturadaky derrew ýumşatma käbir Si-H we NH baglanyşyklaryny bozýar we boşadylan H batareýanyň passiwleşdirilmegini has-da güýçlendirýär.
Fotowoltaik derejeli kremniý materiallary hökman köp mukdarda hapaçylyklary we kemçilikleri öz içine alýandygy sebäpli, kremniýdäki azlyk daşaýjylaryň ömri we diffuziýa uzynlygy azalýar, bu bolsa batareýanyň konwersiýa netijeliliginiň peselmegine getirýär. H kremniýdäki kemçilikler ýa-da hapaçylyklar bilen reaksiýa girip, şeýdip zolakdaky energiýa zolagyny walent zolagyna ýa-da geçirijilik zolagyna geçirip bilýär.
1. PECVD prinsipi
PECVD ulgamy ulanýan generatorlaryň toplumydyrPECVD grafit gaýygy we ýokary ýygylykly plazma gozgadyjylary. Plazma generatory pes basyşda we ýokary temperaturada reaksiýa bermek üçin örtük plastinkasynyň ortasyna gönüden-göni gurnalýar. Ulanylýan işjeň gazlar silan SiH4 we ammiak NH3-dir. Bu gazlar kremniý plastinkasynda saklanýan kremniý nitridine täsir edýär. Silanyň ammiaka gatnaşygyny üýtgetmek arkaly dürli döwülme görkezijilerini alyp bolýar. Çökdürme prosesinde köp mukdarda wodorod atomlary we wodorod ionlary emele gelýär, bu bolsa plastinkanyň wodorod passiwasiýasyny örän gowy edýär. Wakuumda we daşky gurşawyň temperaturasy 480 gradus Selsiýde, kremniý plastinkasynyň ýüzüne SixNy gatlagy örtülýär.PECVD grafit gaýygy.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
Si3N4 plýonkasynyň reňki onuň galyňlygyna görä üýtgeýär. Umuman alanyňda, ideal galyňlyk 75 bilen 80 nm aralygynda bolup, ol gara gök reňkde görünýär. Si3N4 plýonkasynyň döwülme görkezijisi iň gowusy 2.0 bilen 2.5 aralygyndadyr. Spirt adatça onuň döwülme görkezijisini ölçemek üçin ulanylýar.
Ajaýyp ýüz passiwasiýa täsiri, netijeli optiki şöhlelenme garşy iş (galyňlyk bilen döwülme görkezijisiniň gabat gelmegi), pes temperatura prosesi (çykdajylary netijeli azaltmak) we emele gelen H2 ionlary kremniý plastinkasynyň ýüzüni passiwleşdirýär.
3. Örtük ussahanasyndaky umumy meseleler
Filmiň galyňlygy:
Dürli plýonka galyňlyklary üçin çökdürme wagty dürli-dürli bolýar. Çökdürme wagty örtügiň reňkine görä degişli derejede artdyrylmaly ýa-da azaldylmaly. Eger plýonka ak reňkli bolsa, çökdürme wagty azaldylmaly. Eger gyzyl reňkli bolsa, degişli derejede artdyrylmaly. Plýonkalaryň her bir gämisi doly tassyklanylmaly we kemçilikli önümleriň indiki prosese akmagyna ýol berilmeli däl. Mysal üçin, örtük ýaramaz bolsa, mysal üçin reňk tegmilleri we suw belgileri, önümçilik liniýasyndaky iň köp duş gelýän ýüz agartma, reňk tapawudy we ak tegmiller wagtynda aýrylmaly. Ýüz agartma esasan galyň kremniý nitridi plýonkasyndan ýüze çykýar, ony plýonka çökdürme wagtyny sazlamak arkaly sazlap bolýar; reňk tapawudy plýonkasy esasan gaz ýolunyň dykylmagyndan, kwars turbasynyň syzmagyndan, mikrotolkunly peçiň näsazlygyndan we ş.m. ýüze çykýar; ak tegmiller esasan öňki prosesdäki kiçi gara tegmillerden ýüze çykýar. Şöhlelendirijiligiň, döwülme görkezijisiniň we ş.m. gözegçiligi, ýörite gazlaryň howpsuzlygy we ş.m.
Ýüzündäki ak tegmiller:
PECVD gün batareýalarynda deňeşdirme boýunça möhüm prosesdir we kompaniýanyň gün batareýalarynyň netijeliliginiň möhüm görkezijisidir. PECVD prosesi, adatça, işjeň we her bir batareýanyň tapgyryna gözegçilik etmek gerek. Örtük peç turbalary köp we her turbada, adatça, ýüzlerçe batareýa bar (enjamlara baglylykda). Proses parametrlerini üýtgedenden soň, barlag sikli uzak bolýar. Örtük tehnologiýasy tutuş fotowoltaik senagatynyň uly ähmiýet berýän tehnologiýasydyr. Gün batareýalarynyň netijeliligini örtük tehnologiýasyny kämilleşdirmek arkaly ýokarlandyryp bolýar. Geljekde gün batareýalarynyň ýüzüniň tehnologiýasy gün batareýalarynyň nazaryýet netijeliliginde uly öňegidişlik bolup biler.
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 23-nji dekabry