Ua ntej tshaj plaws, peb yuav tsum paubPECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Plasma yog qhov ua kom muaj zog ntawm kev txav mus los ntawm cua sov ntawm cov khoom siv. Kev sib tsoo ntawm lawv yuav ua rau cov roj molecules raug ionized, thiab cov khoom siv yuav dhau los ua kev sib xyaw ntawm cov ions zoo, electrons thiab cov khoom me me uas txav mus los ywj pheej uas cuam tshuam nrog ib leeg.
Kwv yees li ntawm 35% ntawm lub teeb ci ntsa iab ntawm lub silicon yuav poob qhov ci ntsa iab. Lub roj teeb no yuav siv lub hnub ci ntau dua li qub, ua rau lub roj teeb no siv tau zoo dua thiab ua rau lub roj teeb no siv tau zoo dua. Tib lub sij hawm, lub hydrogen hauv lub roj teeb no yuav ua rau lub roj teeb no tsis ci lawm, ua rau lub roj teeb no tsis ci lawm, ua rau lub roj teeb no tsis ci lawm, ua rau lub roj teeb no tsis ci lawm. Thaum lub roj teeb no ci lawm, lub roj teeb no yuav tsaus ntuj, ua rau lub roj teeb no tsis ci lawm. Thaum lub roj teeb no kub heev, ces lub roj teeb no yuav tawg ua tej daim me me hu ua Si-H thiab NH2, thiab lub roj teeb no yuav ua rau lub roj teeb no tsis ci lawm.
Vim tias cov ntaub ntawv silicon photovoltaic-qib muaj ntau yam tsis huv thiab qhov tsis zoo, lub neej ntawm cov neeg nqa khoom tsawg thiab lub sijhawm sib kis hauv silicon raug txo qis, ua rau kev hloov pauv ntawm lub roj teeb txo qis. H tuaj yeem cuam tshuam nrog qhov tsis zoo lossis tsis huv hauv silicon, yog li hloov lub zog hauv bandgap mus rau hauv valence band lossis conduction band.
1. Txoj Cai PECVD
Lub kaw lus PECVD yog ib qho series ntawm cov generators sivPECVD graphite nkoj thiab cov plasma exciters siab zaus. Lub plasma generator tau teeb tsa ncaj qha rau hauv nruab nrab ntawm lub phaj txheej kom teb rau hauv qab qhov siab qis thiab qhov kub siab. Cov roj siv nquag yog silane SiH4 thiab ammonia NH3. Cov roj no ua haujlwm rau silicon nitride khaws cia rau ntawm silicon wafer. Cov ntsuas refractive sib txawv tuaj yeem tau txais los ntawm kev hloov pauv qhov piv ntawm silane rau ammonia. Thaum lub sijhawm tso dej, ntau cov hydrogen atoms thiab hydrogen ions raug tsim, ua rau hydrogen passivation ntawm wafer zoo heev. Hauv lub tshuab nqus tsev thiab qhov kub thiab txias ntawm 480 degrees Celsius, ib txheej ntawm SixNy yog coated rau ntawm qhov chaw ntawm silicon wafer los ntawm kev uaPECVD graphite nkoj.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
Cov xim ntawm zaj duab xis Si3N4 hloov pauv nrog nws cov tuab. Feem ntau, qhov tuab zoo tagnrho yog ntawm 75 thiab 80 nm, uas zoo li xiav tsaus. Lub refractive index ntawm zaj duab xis Si3N4 zoo tshaj plaws ntawm 2.0 thiab 2.5. Cawv feem ntau yog siv los ntsuas nws cov refractive index.
Qhov zoo heev ntawm qhov chaw passivation, kev ua haujlwm zoo ntawm kev tiv thaiv kev cuam tshuam (qhov tuab ntawm qhov sib phim refractive index), cov txheej txheem kub qis (txo cov nqi zoo), thiab cov H ions tsim tawm passivate qhov chaw silicon wafer.
3. Tej yam teeb meem feem ntau hauv kev cob qhia txheej txheem
Zaj duab xis tuab:
Lub sijhawm tso tawm txawv rau cov zaj duab xis tuab sib txawv. Lub sijhawm tso tawm yuav tsum tau nce lossis txo kom haum raws li xim ntawm cov txheej. Yog tias zaj duab xis dawb, lub sijhawm tso tawm yuav tsum tau txo. Yog tias nws yog xim liab, nws yuav tsum tau nce kom haum. Txhua lub nkoj ntawm cov zaj duab xis yuav tsum tau lees paub tag nrho, thiab cov khoom tsis zoo tsis raug tso cai ntws mus rau hauv cov txheej txheem tom ntej. Piv txwv li, yog tias cov txheej tsis zoo, xws li cov xim thiab cov cim dej, qhov feem ntau yog qhov ua kom dawb ntawm qhov chaw, qhov sib txawv ntawm xim, thiab cov xim dawb ntawm cov kab ntau lawm yuav tsum tau xaiv tawm raws sijhawm. Qhov ua kom dawb ntawm qhov chaw feem ntau yog los ntawm cov zaj duab xis silicon nitride tuab, uas tuaj yeem hloov kho los ntawm kev hloov kho lub sijhawm tso tawm zaj duab xis; cov zaj duab xis sib txawv xim feem ntau yog los ntawm kev thaiv txoj kev roj, kev xau ntawm lub raj quartz, kev ua haujlwm microwave tsis ua haujlwm, thiab lwm yam; cov xim dawb feem ntau yog los ntawm cov xim dub me me hauv cov txheej txheem dhau los. Kev saib xyuas kev cuam tshuam, qhov ntsuas refractive, thiab lwm yam, kev nyab xeeb ntawm cov pa roj tshwj xeeb, thiab lwm yam.
Cov pob dawb rau ntawm qhov chaw:
PECVD yog ib qho txheej txheem tseem ceeb hauv cov hlwb hnub ci thiab yog ib qho cim qhia tseem ceeb ntawm kev ua haujlwm zoo ntawm lub tuam txhab cov hlwb hnub ci. Cov txheej txheem PECVD feem ntau yog tibneeg hu tauj coob, thiab txhua pawg ntawm cov hlwb yuav tsum tau saib xyuas. Muaj ntau lub raj cua sov txheej, thiab txhua lub raj feem ntau muaj ntau pua lub hlwb (nyob ntawm cov khoom siv). Tom qab hloov cov txheej txheem, lub voj voog pov thawj ntev. Kev siv tshuab txheej yog ib qho thev naus laus zis uas tag nrho kev lag luam photovoltaic muab qhov tseem ceeb rau. Kev ua haujlwm zoo ntawm cov hlwb hnub ci tuaj yeem txhim kho los ntawm kev txhim kho cov txheej txheem txheej. Yav tom ntej, kev siv tshuab ntawm lub hlwb hnub ci yuav dhau los ua qhov kev tawg hauv kev ua haujlwm zoo ntawm cov hlwb hnub ci.
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Kaum Ob Hlis-23-2024