Юуны өмнө бид мэдэх хэрэгтэйPECVD(Плазмын сайжруулсан химийн уурын тунадасжилт). Плазм гэдэг нь материалын молекулуудын дулааны хөдөлгөөнийг эрчимжүүлэх явдал юм. Тэдгээрийн хоорондох мөргөлдөөн нь хийн молекулуудыг ионжуулж, материал нь чөлөөтэй хөдөлдөг эерэг ионууд, электронууд болон хоорондоо харилцан үйлчилдэг саармаг бөөмсийн холимог болно.
Цахиурын гадаргуу дээрх гэрлийн ойлтын алдагдлын хэмжээ ойролцоогоор 35% гэж тооцоолсон. Ойлтын эсрэг хальс нь батерейны элементийн нарны гэрлийн ашиглалтын түвшинг ихээхэн сайжруулж, фото үүсгэсэн гүйдлийн нягтралыг нэмэгдүүлж, улмаар хувиргалтын үр ашгийг дээшлүүлэхэд тусалдаг. Үүний зэрэгцээ, хальсан дахь устөрөгч нь батерейны элементийн гадаргууг идэвхгүй болгож, эмиттерийн уулзварын гадаргуугийн рекомбинацийн хурдыг бууруулж, харанхуй гүйдлийг бууруулж, нээлттэй хэлхээний хүчдэлийг нэмэгдүүлж, фотоэлектрик хувиргалтын үр ашгийг сайжруулдаг. Шаталтын процесст өндөр температурт агшин зуурын хайлалт нь зарим Si-H ба NH холбоог тасалдуулж, чөлөөлөгдсөн H нь батерейны идэвхгүй байдлыг улам нэмэгдүүлдэг.
Фотоволтайк зэрэглэлийн цахиурын материалууд нь зайлшгүй их хэмжээний хольц, согог агуулдаг тул цахиурын цөөнхийн тээвэрлэгчийн ашиглалтын хугацаа болон диффузийн урт нь багасч, батерейны хувиргалтын үр ашгийг бууруулдаг. H нь цахиурын согог эсвэл хольцтой урвалд орж, улмаар зурвасын зай дахь энергийн зурвасыг валентын зурвас эсвэл дамжуулах зурвас руу шилжүүлж чаддаг.
1. PECVD зарчим
PECVD систем нь дараахыг ашигладаг генераторуудын цуврал юмPECVD бал чулуун завь болон өндөр давтамжийн плазмын өдөөгч. Плазмын үүсгүүрийг бүрхүүлийн хавтангийн голд шууд суурилуулж, бага даралт болон өндөр температурт урвалд ордог. Ашигласан идэвхтэй хийнүүд нь силан SiH4 ба аммиак NH3 юм. Эдгээр хий нь цахиурын вафли дээр хадгалагдсан цахиурын нитрид дээр үйлчилдэг. Силан ба аммиакийн харьцааг өөрчлөх замаар өөр өөр хугарлын индексийг гаргаж авч болно. Тунадасжуулах явцад их хэмжээний устөрөгчийн атом ба устөрөгчийн ионууд үүсдэг бөгөөд энэ нь вафлины устөрөгчийн идэвхгүйжилтийг маш сайн болгодог. Вакуум болон 480 градусын орчны температурт цахиурын вафлины гадаргуу дээр SixNy давхаргыг бүрхдэг.PECVD бал чулуун завь.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
Si3N4 хальсны өнгө нь зузаанаас хамааран өөрчлөгддөг. Ерөнхийдөө хамгийн тохиромжтой зузаан нь 75-80 нм бөгөөд энэ нь хар хөх өнгөтэй харагддаг. Si3N4 хальсны хугарлын илтгэгч нь 2.0-2.5 хооронд хамгийн тохиромжтой байдаг. Хугарлын илтгэгчийг хэмжихэд ихэвчлэн спирт хэрэглэдэг.
Маш сайн гадаргуугийн идэвхгүйжүүлэх нөлөө, оптик тусгал эсэргүүцэх үр ашигтай байдал (зузаан хугарлын индексийг тохируулах), бага температурт боловсруулалт (зардлыг үр дүнтэй бууруулдаг), үүссэн H2 ионууд нь цахиурын нимгэн хавтангийн гадаргууг идэвхгүйжүүлдэг.
3. Бүрээсний цехийн нийтлэг асуудлууд
Кино зузаан:
Хальсны зузаан өөр өөр байдаг тул тунадасжих хугацаа өөр өөр байдаг. Тунадасжих хугацааг бүрхүүлийн өнгөнөөс хамааран зохих ёсоор нэмэгдүүлэх эсвэл багасгах хэрэгтэй. Хэрэв хальс нь цагаан өнгөтэй бол тунадасжих хугацааг багасгах хэрэгтэй. Хэрэв улаавтар өнгөтэй бол зохих ёсоор нэмэгдүүлэх хэрэгтэй. Хальсны завь бүрийг бүрэн баталгаажуулж, согогтой бүтээгдэхүүнийг дараагийн процесст оруулахыг хориглоно. Жишээлбэл, бүрхүүл нь муу байвал, тухайлбал өнгөний толбо, усны тэмдэг гэх мэт, үйлдвэрлэлийн шугам дээрх хамгийн түгээмэл гадаргуугийн цайралт, өнгөний ялгаа, цагаан толбыг цаг тухайд нь тодорхойлох хэрэгтэй. Гадаргуугийн цайралт нь голчлон зузаан цахиурын нитридийн хальснаас үүдэлтэй бөгөөд хальсны тунадасжих хугацааг тохируулснаар тохируулж болно; өнгөний ялгаа нь голчлон хийн замын бөглөрөл, кварц хоолойн алдагдал, богино долгионы эвдрэл гэх мэтээс үүдэлтэй; цагаан толбо нь голчлон өмнөх процессын жижиг хар толбоноос үүдэлтэй. Тусгал, хугарлын индекс гэх мэтийг хянах, тусгай хийн аюулгүй байдал гэх мэт.
Гадаргуу дээрх цагаан толбо:
PECVD нь нарны зай хураагуурт харьцангуй чухал үйл явц бөгөөд компанийн нарны зай хураагуурын үр ашгийн чухал үзүүлэлт юм. PECVD үйл явц нь ерөнхийдөө завгүй байдаг бөгөөд зай хураагуурын багц бүрийг хянах шаардлагатай байдаг. Олон бүрэх зуухны хоолой байдаг бөгөөд хоолой бүр нь ерөнхийдөө хэдэн зуун зай хураагууртай байдаг (тоног төхөөрөмжөөс хамааран). Үйл явцын параметрүүдийг өөрчилсний дараа баталгаажуулалтын мөчлөг урт байдаг. Бүрэх технологи нь бүхэл бүтэн фотоэлектрикийн салбарынхан маш их ач холбогдол өгдөг технологи юм. Бүрэх технологийг сайжруулснаар нарны зай хураагуурын үр ашгийг сайжруулж болно. Ирээдүйд нарны зай хураагуурын гадаргуугийн технологи нь нарны зай хураагуурын онолын үр ашгийн нээлт болж магадгүй юм.
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 12-р сарын 23