Пеш аз ҳама, мо бояд бидонемPECVD(Таҳшиншавии буғи кимиёвии плазма). Плазма шиддатёбии ҳаракати гармии молекулаҳои мавод аст. Бархӯрди байни онҳо боиси ионшавии молекулаҳои газ мегардад ва мавод ба омехтаи ионҳои мусбати озод ҳаракаткунанда, электронҳо ва зарраҳои бетараф табдил меёбад, ки бо ҳамдигар ҳамкорӣ мекунанд.
Тибқи ҳисобҳо, суръати талафоти инъикоси рӯшноӣ дар сатҳи кремний тақрибан 35% аст. Плёнкаи зиддиинъикос метавонад суръати истифодаи нури офтобро аз ҷониби батареяи батарея ба таври назаррас беҳтар созад, ки ба афзоиши зичии ҷараёни фотогенератсияшуда ва бо ин васила беҳтар кардани самаранокии табдилдиҳӣ мусоидат мекунад. Дар айни замон, гидроген дар плёнка сатҳи батареяи батареяро пассив мекунад, суръати рекомбинатсияи сатҳи пайванди эмиттерро коҳиш медиҳад, ҷараёни торикро коҳиш медиҳад, шиддати занҷири кушодаро зиёд мекунад ва самаранокии табдили фотоэлектрикиро беҳтар мекунад. Тақвияти фаврии ҳарорати баланд дар раванди сӯхтан баъзе пайвандҳои Si-H ва NH-ро мешиканад ва H-и озодшуда пассиватсияи батареяро боз ҳам тақвият медиҳад.
Азбаски маводҳои кремнийи дараҷаи фотоэлектрикӣ ногузир миқдори зиёди ифлосӣ ва нуқсонҳоро дар бар мегиранд, мӯҳлати хизмати интиқолдиҳандаҳои ақаллият ва дарозии диффузия дар кремний кам мешавад, ки боиси коҳиши самаранокии табдили батарея мегардад. H метавонад бо нуқсонҳо ё ифлосӣ дар кремний реаксия кунад ва бо ин васила банди энергияро дар фосилаи банд ба банди валентӣ ё банди гузаронандагӣ интиқол диҳад.
1. Принсипи PECVD
Системаи PECVD як силсила генераторҳоест, ки истифода мебарандҚаиқи графити PECVD ва ангезандаҳои плазмаи басомади баланд. Генератори плазма мустақиман дар мобайни лавҳаи рӯйпӯш насб карда мешавад, то дар зери фишори паст ва ҳарорати баланд реаксия кунад. Газҳои фаъоли истифодашуда силан SiH4 ва аммиак NH3 мебошанд. Ин газҳо ба нитриди кремний, ки дар пластинаи кремний нигоҳ дошта мешавад, таъсир мерасонанд. Нишондиҳандаҳои гуногуни шикастро бо тағир додани таносуби силан ба аммиак ба даст овардан мумкин аст. Дар раванди таҳшинкунӣ миқдори зиёди атомҳои гидроген ва ионҳои гидроген ҳосил мешаванд, ки пассиватсияи гидрогении пластинаро хеле хуб мегардонад. Дар вакуум ва ҳарорати муҳити атроф 480 дараҷа Селсий, қабати SixNy дар рӯи пластинаи кремний бо роҳи гузарониданиҚаиқи графити PECVD.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
Ранги плёнкаи Si3N4 бо ғафсии он тағйир меёбад. Умуман, ғафсии беҳтарин аз 75 то 80 нм аст, ки кабуди тира ба назар мерасад. Нишондиҳандаи шикасти плёнкаи Si3N4 аз 2.0 то 2.5 беҳтарин аст. Одатан, спирт барои чен кардани нишондиҳандаи шикасти он истифода мешавад.
Таъсири аълои пассиватсияи сатҳ, самаранокии зидди инъикоси оптикӣ (мутобиқати ғафсии нишондиҳандаи шикаст), раванди ҳарорати паст (хароҷотро самаранок кам мекунад) ва ионҳои H2, ки ҳосил мешаванд, сатҳи пластинаи кремнийро пассив мекунанд.
3. Масъалаҳои маъмулӣ дар коргоҳи рӯйпӯшкунӣ
Ғафсии плёнка:
Вақти гузоштан барои ғафсии гуногуни плёнка фарқ мекунад. Вақти гузоштан бояд мувофиқи ранги рӯйпӯш зиёд ё кам карда шавад. Агар плёнка сафед бошад, вақти гузоштан бояд кам карда шавад. Агар он сурх бошад, бояд мувофиқан зиёд карда шавад. Ҳар як қабати плёнкаҳо бояд пурра тасдиқ карда шавад ва маҳсулоти ноқис ба раванди навбатӣ ворид нашаванд. Масалан, агар рӯйпӯш бад бошад, ба монанди доғҳои ранг ва аломатҳои обӣ, сафедкунии маъмултарини сатҳ, фарқияти ранг ва доғҳои сафед дар хатти истеҳсолӣ бояд сари вақт муайян карда шаванд. Сафедкунии сатҳ асосан аз плёнкаи ғафси нитриди кремний ба вуҷуд меояд, ки онро бо танзими вақти гузоштани плёнка танзим кардан мумкин аст; плёнкаи фарқияти ранг асосан аз басташавии роҳи газ, ихроҷи найчаи кварц, нокомии печи микроволновка ва ғайра ба вуҷуд меояд; доғҳои сафед асосан аз доғҳои хурди сиёҳ дар раванди қаблӣ ба вуҷуд меоянд. Назорати инъикос, нишондиҳандаи шикаст ва ғайра, бехатарии газҳои махсус ва ғайра.
Доғҳои сафед дар рӯи замин:
PECVD раванди нисбатан муҳим дар батареяҳои офтобӣ ва нишондиҳандаи муҳими самаранокии батареяҳои офтобии ширкат аст. Раванди PECVD одатан серкор аст ва ҳар як партияи батареяҳо бояд назорат карда шаванд. Найчаҳои зиёди кӯраи рӯйпӯшкунӣ мавҷуданд ва ҳар як найча одатан садҳо батарея дорад (вобаста ба таҷҳизот). Пас аз тағир додани параметрҳои раванд, давраи тасдиқ тӯлонӣ аст. Технологияи рӯйпӯшкунӣ технологияест, ки тамоми саноати фотоэлектрикӣ ба он аҳамияти калон медиҳад. Самаранокии батареяҳои офтобиро метавон тавассути такмил додани технологияи рӯйпӯшкунӣ беҳтар кард. Дар оянда, технологияи сатҳи батареяҳои офтобӣ метавонад ба як пешрафт дар самаранокии назариявии батареяҳои офтобӣ табдил ёбад.
Вақти нашр: 23 декабри соли 2024