ជាដំបូងយើងត្រូវដឹងPECVD(ការដាក់ចំហាយគីមីដែលបង្កើនប្រសិទ្ធភាពប្លាស្មា)។ ប្លាស្មាគឺជាការបង្កើនកម្លាំងនៃចលនាកម្ដៅនៃម៉ូលេគុលសម្ភារៈ។ ការប៉ះទង្គិចគ្នារវាងពួកវានឹងបណ្តាលឱ្យម៉ូលេគុលឧស្ម័នត្រូវបានអ៊ីយ៉ូដ ហើយសម្ភារៈនឹងក្លាយជាល្បាយនៃអ៊ីយ៉ុងវិជ្ជមាន អេឡិចត្រុង និងភាគល្អិតអព្យាក្រឹតដែលធ្វើចលនាដោយសេរី ដែលមានអន្តរកម្មជាមួយគ្នា។
គេប៉ាន់ប្រមាណថាអត្រាបាត់បង់ការឆ្លុះបញ្ចាំងនៃពន្លឺនៅលើផ្ទៃស៊ីលីកុនគឺខ្ពស់ដល់ប្រហែល 35%។ ខ្សែភាពយន្តប្រឆាំងការឆ្លុះបញ្ចាំងអាចធ្វើអោយប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំងនូវអត្រាប្រើប្រាស់ពន្លឺព្រះអាទិត្យដោយកោសិកាថ្ម ដែលជួយបង្កើនដង់ស៊ីតេចរន្តដែលបង្កើតដោយពន្លឺ ហើយដូច្នេះធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវប្រសិទ្ធភាពបំលែង។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ អ៊ីដ្រូសែននៅក្នុងខ្សែភាពយន្តនេះធ្វើឱ្យផ្ទៃកោសិកាថ្មអសកម្ម កាត់បន្ថយអត្រាបញ្ចូលគ្នាឡើងវិញនៃផ្ទៃនៃចំណុចប្រសព្វបញ្ចេញ កាត់បន្ថយចរន្តងងឹត បង្កើនវ៉ុលសៀគ្វីបើកចំហ និងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវប្រសិទ្ធភាពបំលែងពន្លឺ។ ការដុតភ្លាមៗនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់នៅក្នុងដំណើរការដុតបំផ្លាញចំណង Si-H2 និង NH2 មួយចំនួន ហើយ H2 ដែលត្រូវបានបញ្ចេញបន្ថែមពង្រឹងភាពអសកម្មនៃថ្ម។
ដោយសារតែសម្ភារៈស៊ីលីកុនថ្នាក់ photovoltaic មានផ្ទុកនូវភាពមិនបរិសុទ្ធ និងពិការភាពមួយចំនួនធំ អាយុកាលរបស់ឧបករណ៍ផ្ទុកភាគតិច និងរយៈពេលសាយភាយនៅក្នុងស៊ីលីកុនត្រូវបានកាត់បន្ថយ ដែលបណ្តាលឱ្យប្រសិទ្ធភាពបំលែងរបស់ថ្មថយចុះ។ H អាចមានប្រតិកម្មជាមួយនឹងពិការភាព ឬភាពមិនបរិសុទ្ធនៅក្នុងស៊ីលីកុន ដោយហេតុនេះផ្ទេរក្រុមថាមពលនៅក្នុងចន្លោះប្រេកង់ទៅក្នុងក្រុមវ៉ាឡង់ ឬក្រុមចរន្ត។
១. គោលការណ៍ PECVD
ប្រព័ន្ធ PECVD គឺជាស៊េរីនៃម៉ាស៊ីនភ្លើងដែលប្រើប្រាស់ទូកក្រាហ្វីត PECVD និងឧបករណ៍រំញោចប្លាស្មាប្រេកង់ខ្ពស់។ ម៉ាស៊ីនបង្កើតប្លាស្មាត្រូវបានដំឡើងដោយផ្ទាល់នៅចំកណ្តាលបន្ទះថ្នាំកូតដើម្បីធ្វើប្រតិកម្មក្រោមសម្ពាធទាប និងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ ឧស្ម័នសកម្មដែលប្រើគឺស៊ីឡាន SiH4 និងអាម៉ូញាក់ NH3។ ឧស្ម័នទាំងនេះធ្វើសកម្មភាពលើស៊ីលីកុននីទ្រីតដែលរក្សាទុកនៅលើបន្ទះស៊ីលីកុន។ សន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរផ្សេងៗគ្នាអាចទទួលបានដោយការផ្លាស់ប្តូរសមាមាត្រនៃស៊ីឡានទៅនឹងអាម៉ូញាក់។ ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការដាក់ប្រាក់ អាតូមអ៊ីដ្រូសែន និងអ៊ីយ៉ុងអ៊ីដ្រូសែនមួយចំនួនធំត្រូវបានបង្កើតឡើង ដែលធ្វើឱ្យអ៊ីដ្រូសែនអសកម្មនៃបន្ទះស៊ីលីកុនល្អណាស់។ នៅក្នុងកន្លែងទំនេរ និងសីតុណ្ហភាពព័ទ្ធជុំវិញ 480 អង្សាសេ ស្រទាប់ SixNy ត្រូវបានស្រោបលើផ្ទៃនៃបន្ទះស៊ីលីកុនដោយធ្វើទូកក្រាហ្វីត PECVD.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
២. ស៊ី៣អិន៤
ពណ៌នៃខ្សែភាពយន្ត Si3N4 ផ្លាស់ប្តូរទៅតាមកម្រាស់របស់វា។ ជាទូទៅ កម្រាស់ដ៏ល្អគឺចន្លោះពី 75 ទៅ 80 nm ដែលមើលទៅមានពណ៌ខៀវចាស់។ សន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរនៃខ្សែភាពយន្ត Si3N4 គឺល្អបំផុតរវាង 2.0 និង 2.5។ ជាធម្មតា អាល់កុលត្រូវបានប្រើដើម្បីវាស់សន្ទស្សន៍ចំណាំងបែររបស់វា។
ប្រសិទ្ធភាពធ្វើឲ្យផ្ទៃស្រអាប់ល្អឥតខ្ចោះ ប្រសិទ្ធភាពប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះបញ្ចាំងអុបទិកប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព (ការផ្គូផ្គងសន្ទស្សន៍ចំណាំងពន្លឺកម្រាស់) ដំណើរការសីតុណ្ហភាពទាប (កាត់បន្ថយថ្លៃដើមប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព) និងអ៊ីយ៉ុង H ដែលបង្កើតធ្វើឲ្យផ្ទៃបន្ទះស៊ីលីកុនស្រអាប់។
៣. បញ្ហាទូទៅនៅក្នុងសិក្ខាសាលាថ្នាំកូត
កម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត:
ពេលវេលាដាក់ស្រទាប់ការពារគឺខុសគ្នាសម្រាប់កម្រាស់ខ្សែភាពយន្តផ្សេងៗគ្នា។ ពេលវេលាដាក់ស្រទាប់ការពារគួរតែត្រូវបានបង្កើន ឬបន្ថយឱ្យសមស្របទៅតាមពណ៌នៃថ្នាំកូត។ ប្រសិនបើខ្សែភាពយន្តមានពណ៌ស ពេលវេលាដាក់ស្រទាប់ការពារគួរតែត្រូវបានកាត់បន្ថយ។ ប្រសិនបើវាមានពណ៌ក្រហម វាគួរតែត្រូវបានបង្កើនឱ្យសមស្រប។ ខ្សែភាពយន្តនីមួយៗគួរតែត្រូវបានបញ្ជាក់យ៉ាងពេញលេញ ហើយផលិតផលដែលមានបញ្ហាមិនត្រូវបានអនុញ្ញាតឱ្យហូរចូលទៅក្នុងដំណើរការបន្ទាប់ទេ។ ឧទាហរណ៍ ប្រសិនបើថ្នាំកូតមិនល្អ ដូចជាចំណុចពណ៌ និងស្នាមទឹក ការធ្វើឱ្យផ្ទៃស ភាពខុសគ្នានៃពណ៌ និងចំណុចពណ៌សទូទៅបំផុតនៅលើខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្មគួរតែត្រូវបានជ្រើសរើសទាន់ពេលវេលា។ ការធ្វើឱ្យផ្ទៃសភាគច្រើនបណ្តាលមកពីខ្សែភាពយន្តស៊ីលីកុននីទ្រីតក្រាស់ ដែលអាចត្រូវបានកែតម្រូវដោយការកែតម្រូវពេលវេលាដាក់ស្រទាប់ការពារ។ ខ្សែភាពយន្តភាពខុសគ្នានៃពណ៌ភាគច្រើនបណ្តាលមកពីការស្ទះផ្លូវឧស្ម័ន ការលេចធ្លាយបំពង់ក្វាតវូដ ការបរាជ័យមីក្រូវ៉េវ។ល។ ចំណុចពណ៌សភាគច្រើនបណ្តាលមកពីចំណុចខ្មៅតូចៗនៅក្នុងដំណើរការមុន។ ការត្រួតពិនិត្យការឆ្លុះបញ្ចាំង សន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរ។ល។ សុវត្ថិភាពនៃឧស្ម័នពិសេស។ល។
ចំណុចពណ៌សនៅលើផ្ទៃ:
PECVD គឺជាដំណើរការដ៏សំខាន់មួយនៅក្នុងកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ និងជាសូចនាករសំខាន់មួយនៃប្រសិទ្ធភាពនៃកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យរបស់ក្រុមហ៊ុន។ ដំណើរការ PECVD ជាទូទៅមានភាពមមាញឹក ហើយកោសិកានីមួយៗត្រូវការត្រួតពិនិត្យ។ មានបំពង់ឡសម្រាប់ស្រោបជាច្រើន ហើយបំពង់នីមួយៗជាទូទៅមានកោសិការាប់រយ (អាស្រ័យលើឧបករណ៍)។ បន្ទាប់ពីផ្លាស់ប្តូរប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការ វដ្តផ្ទៀងផ្ទាត់មានរយៈពេលយូរ។ បច្ចេកវិទ្យាស្រោបគឺជាបច្ចេកវិទ្យាមួយដែលឧស្សាហកម្ម photovoltaic ទាំងមូលយកចិត្តទុកដាក់យ៉ាងខ្លាំង។ ប្រសិទ្ធភាពនៃកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យអាចត្រូវបានកែលម្អដោយការកែលម្អបច្ចេកវិទ្យាស្រោប។ នៅពេលអនាគត បច្ចេកវិទ្យាផ្ទៃកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យអាចក្លាយជារបកគំហើញមួយនៅក្នុងប្រសិទ្ធភាពទ្រឹស្តីនៃកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៣ ខែធ្នូ ឆ្នាំ ២០២៤