ئەڭ ئاۋۋال، بىز بىلىشىمىز كېرەكPECVD(پلازما كۈچەيتىلگەن خىمىيىلىك پار چۆكمىسى). پلازما ماتېرىيال مولېكۇلالىرىنىڭ ئىسسىقلىق ھەرىكىتىنىڭ كۈچىيىشى. ئۇلارنىڭ ئۆزئارا سوقۇلۇشى گاز مولېكۇلالىرىنىڭ ئىئونلىشىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ، ھەمدە ماتېرىيال ئەركىن ھەرىكەتلىنىدىغان مۇسبەت ئىئونلار، ئېلېكترونلار ۋە نېيترال زەررىچىلەرنىڭ ئارىلاشمىسىغا ئايلىنىدۇ، بۇلار بىر-بىرى بىلەن ئۆز-ئارا تەسىر كۆرسىتىدۇ.
كرېمنىي يۈزىدىكى نۇرنىڭ قايتۇرۇش يوقىتىش نىسبىتى تەخمىنەن %35 كە يېتىدىغانلىقى مۆلچەرلەنمەكتە. قايتۇرۇشقا قارشى پەردە باتارېيە باتارېيەسىنىڭ قۇياش نۇرىدىن پايدىلىنىش نىسبىتىنى زور دەرىجىدە ياخشىلىيالايدۇ، بۇ فوتو ھاسىل قىلىنغان توك زىچلىقىنى ئاشۇرۇشقا ۋە شۇنىڭ بىلەن ئايلاندۇرۇش ئۈنۈمىنى يۇقىرى كۆتۈرۈشكە ياردەم بېرىدۇ. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا، پەردىدىكى ھىدروگېن باتارېيە باتارېيەسىنىڭ يۈزىنى پاسسىپلاشتۇرىدۇ، ئېمىتتېر تۇتاشتۇرۇش ئېغىزىنىڭ يۈزەكى رېكومبىناسىيە سۈرئىتىنى تۆۋەنلىتىدۇ، قاراڭغۇ توكنى تۆۋەنلىتىدۇ، ئېچىق توك يولى توك بېسىمىنى ئاشۇرىدۇ ۋە فوتوئېلېكتر ئايلاندۇرۇش ئۈنۈمىنى يۇقىرى كۆتۈرىدۇ. كۆيۈش جەريانىدا يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا دەرھال قىزىتىش بەزى Si-H ۋە NH باغلىنىشلىرىنى ئۈزىدۇ، قويۇپ بېرىلگەن H بولسا باتارېيەنىڭ پاسسىپلىشىشىنى تېخىمۇ كۈچەيتىدۇ.
فوتوۋولت دەرىجىلىك كرېمنىي ماتېرىياللىرى چوقۇم كۆپ مىقداردا ئارىلاشما ۋە نۇقسانلارنى ئۆز ئىچىگە ئالغاچقا، كرېمنىيدىكى ئاز سانلىق توشۇغۇچىنىڭ ئۆمرى ۋە تارقىلىش ئۇزۇنلۇقى قىسقىراپ، باتارېيەنىڭ ئايلاندۇرۇش ئۈنۈمى تۆۋەنلەيدۇ. H كرېمنىيدىكى نۇقسانلار ياكى ئارىلاشمىلار بىلەن رېئاكسىيەگە كىرىپ، بەلۋاغ بوشلۇقىدىكى ئېنېرگىيە بەلبېغىنى ۋالېنس بەلبېغى ياكى ئۆتكۈزۈش بەلبېغىغا يۆتكىيەلەيدۇ.
1. PECVD پىرىنسىپى
PECVD سىستېمىسى بىر قاتار گېنېراتورلاردىن تەركىب تاپقان بولۇپ،PECVD گرافىت كېمىسى ۋە يۇقىرى چاستوتىلىق پلازما قوزغىغۇچلىرى. پلازما گېنېراتورى تۆۋەن بېسىم ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرا ئاستىدا رېئاكسىيە قىلىش ئۈچۈن بىۋاسىتە قاپلاش تاختىسىنىڭ ئوتتۇرىسىغا ئورنىتىلىدۇ. ئىشلىتىلگەن ئاكتىپ گازلار سىلان SiH4 ۋە ئاممىياك NH3. بۇ گازلار سىلان لېنتىسىدا ساقلانغان سىلان نىترىدىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ. سىلاننىڭ ئاممىياكقا بولغان نىسبىتىنى ئۆزگەرتىش ئارقىلىق ھەر خىل سىنىش كۆرسەتكۈچلىرىگە ئېرىشكىلى بولىدۇ. چۆكمە جەريانىدا، كۆپ مىقداردا ھىدروگېن ئاتوملىرى ۋە ھىدروگېن ئىئونلىرى ھاسىل بولىدۇ، بۇ لېنتىنىڭ ھىدروگېن پاسسىۋلىشىشىنى ناھايىتى ياخشى قىلىدۇ. ۋاكۇئۇم ۋە 480 سېلسىيە گرادۇسلۇق مۇھىت تېمپېراتۇرىسىدا، سىلان لېنتىسىنىڭ يۈزىگە SixNy قەۋىتى قاپلىنىدۇ.PECVD گرافىت كېمىسى.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
Si3N4 پەردىسىنىڭ رەڭگى ئۇنىڭ قېلىنلىقىغا ئەگىشىپ ئۆزگىرىدۇ. ئادەتتە، ئەڭ ياخشى قېلىنلىقى 75 دىن 80 نانومېتىرغىچە بولۇپ، قېنىق كۆك رەڭدە كۆرۈنىدۇ. Si3N4 پەردىسىنىڭ سىنىش كۆرسەتكۈچى ئەڭ ياخشىسى 2.0 دىن 2.5 گىچە بولىدۇ. ئادەتتە ئۇنىڭ سىنىش كۆرسەتكۈچىنى ئۆلچەش ئۈچۈن ئىسپىرت ئىشلىتىلىدۇ.
يۈزەكى پاسسىپلاشتۇرۇش ئۈنۈمى ناھايىتى ياخشى، ئوپتىكىلىق ئەكس ئەتتۈرۈشكە قارشى تۇرۇش ئۈنۈمى ئۈنۈملۈك (قېلىنلىقنىڭ سىنىش كۆرسەتكۈچىنى ماسلاشتۇرۇش)، تۆۋەن تېمپېراتۇرا جەريانى (تەننەرخنى ئۈنۈملۈك تۆۋەنلىتىدۇ) ۋە ھاسىل بولغان H ئىئونلىرى كرېمنىي ۋافېر يۈزىنى پاسسىپلاشتۇرىدۇ.
3. قاپلاش سېخىدىكى ئورتاق مەسىلىلەر
پىلاستىنكا قېلىنلىقى:
پەردە قېلىنلىقىنىڭ ھەر خىللىقى ئۈچۈن قاپلاش ۋاقتى ئوخشىمايدۇ. قاپلاش ۋاقتىنى قاپلاش رەڭگىگە ئاساسەن مۇۋاپىق ئۇزارتىش ياكى ئازايتىش كېرەك. ئەگەر پەردە ئاق بولسا، قاپلاش ۋاقتىنى قىسقارتىش كېرەك. ئەگەر قىزىل بولسا، مۇۋاپىق ئۇزارتىش كېرەك. ھەر بىر پەردە تولۇق جەزملەشتۈرۈلۈشى كېرەك، ھەمدە نۇقسانلىق مەھسۇلاتلارنىڭ كېيىنكى جەريانغا ئېقىپ كىرىشىگە يول قويۇلماسلىقى كېرەك. مەسىلەن، قاپلاش ناچار بولسا، مەسىلەن رەڭ داغلىرى ۋە سۇ ئىزلىرى، ئىشلەپچىقىرىش لىنىيىسىدىكى ئەڭ كۆپ ئۇچرايدىغان يۈزە ئاقارتىش، رەڭ پەرقى ۋە ئاق داغلارنى ۋاقتىدا تاللاش كېرەك. يۈزە ئاقارتىش ئاساسلىقى قېلىن كرېمنىي نىترىد پەردىسىدىن كېلىپ چىقىدۇ، بۇنى پەردە قاپلاش ۋاقتىنى تەڭشەش ئارقىلىق تەڭشىگىلى بولىدۇ؛ رەڭ پەرقى پەردىسى ئاساسلىقى گاز يولى توسۇلۇش، كۋارتس تۇرۇبىسى ئېقىش، مىكرو دولقۇنلۇق ئوچاقنىڭ مەغلۇب بولۇشى قاتارلىقلاردىن كېلىپ چىقىدۇ؛ ئاق داغلار ئاساسلىقى ئالدىنقى جەرياندىكى كىچىك قارا داغلاردىن كېلىپ چىقىدۇ. نۇر قايتۇرۇش، سىنىش كۆرسەتكۈچى قاتارلىقلارنى نازارەت قىلىش، ئالاھىدە گازلارنىڭ بىخەتەرلىكى قاتارلىقلارنى نازارەت قىلىش.
يۈزىدىكى ئاق داغلار:
PECVD قۇياش ئېنېرگىيەسى باتارېيەلىرىدىكى نىسبەتەن مۇھىم جەريان بولۇپ، شىركەتنىڭ قۇياش ئېنېرگىيەسى باتارېيەلىرىنىڭ ئۈنۈمىنىڭ مۇھىم كۆرسەتكۈچى. PECVD جەريانى ئادەتتە ئالدىراش بولۇپ، ھەر بىر باتارېيە گۇرۇپپىسىنى نازارەت قىلىشقا توغرا كېلىدۇ. نۇرغۇن قاپلاش ئوچاق تۇرۇبىسى بار، ھەر بىر تۇرۇبا ئادەتتە يۈزلىگەن باتارېيەگە ئىگە (ئۈسكۈنىلەرگە ئاساسەن). جەريان پارامېتىرلىرىنى ئۆزگەرتكەندىن كېيىن، تەكشۈرۈش دەۋرى ئۇزۇن بولىدۇ. قاپلاش تېخنىكىسى پۈتكۈل فوتوۋولت سانائىتىنىڭ ئەھمىيەت بېرىدىغان تېخنىكىسى. قاپلاش تېخنىكىسىنى ياخشىلاش ئارقىلىق قۇياش ئېنېرگىيەسى باتارېيەلىرىنىڭ ئۈنۈمىنى يۇقىرى كۆتۈرگىلى بولىدۇ. كەلگۈسىدە، قۇياش ئېنېرگىيەسى باتارېيەسىنىڭ يۈز تېخنىكىسى قۇياش ئېنېرگىيەسى باتارېيەلىرىنىڭ نەزەرىيەۋى ئۈنۈمىدە بۆسۈش ھاسىل قىلىشى مۇمكىن.
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2024-يىلى 12-ئاينىڭ 23-كۈنى