ପ୍ରଥମେ, ଆମକୁ ଜାଣିବା ଆବଶ୍ୟକପିଇସିଭିଡି(ପ୍ଲାଜମା ଉନ୍ନତ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା)। ପ୍ଲାଜମା ହେଉଛି ଭୌତିକ ଅଣୁଗୁଡ଼ିକର ତାପଜ ଗତିର ତୀବ୍ରତା। ସେମାନଙ୍କ ମଧ୍ୟରେ ଧକ୍କା ହେବା ଦ୍ୱାରା ଗ୍ୟାସ ଅଣୁଗୁଡ଼ିକ ଆୟନିତ ହେବେ, ଏବଂ ଭୌତିକ ଅଣୁଗୁଡ଼ିକ ମୁକ୍ତ ଭାବରେ ଗତିଶୀଳ ସକାରାତ୍ମକ ଆୟନ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ ଏବଂ ପରସ୍ପର ସହିତ ପାରସ୍ପରିକ କ୍ରିୟା କରୁଥିବା ନିରପେକ୍ଷ କଣିକାର ମିଶ୍ରଣରେ ପରିଣତ ହେବ।
ଏହା ଆକଳନ କରାଯାଇଛି ଯେ ସିଲିକନ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଆଲୋକର ପ୍ରତିଫଳନ କ୍ଷତି ହାର ପ୍ରାୟ 35% ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଅଧିକ। ପ୍ରତିଫଳନ-ପ୍ରତିଫଳନ ଫିଲ୍ମ ବ୍ୟାଟେରୀ ସେଲ୍ ଦ୍ୱାରା ସୌର ଆଲୋକର ବ୍ୟବହାର ହାରକୁ ବହୁଳ ଭାବରେ ଉନ୍ନତ କରିପାରିବ, ଯାହା ଫଟୋଜେନେରେଟେଡ୍ କରେଣ୍ଟ ଘନତା ବୃଦ୍ଧି କରିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ କରେ ଏବଂ ଏହିପରି ରୂପାନ୍ତର ଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରେ। ସେହି ସମୟରେ, ଫିଲ୍ମରେ ଥିବା ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ ବ୍ୟାଟେରୀ ସେଲ୍ର ପୃଷ୍ଠକୁ ନିଷ୍କ୍ରିୟ କରିଥାଏ, ଏମିଟର୍ ଜଙ୍କସନ୍ର ପୃଷ୍ଠ ପୁନଃସଂଯୋଗ ହାରକୁ ହ୍ରାସ କରିଥାଏ, ଅନ୍ଧକାର କରେଣ୍ଟକୁ ହ୍ରାସ କରିଥାଏ, ଖୋଲା ସର୍କିଟ୍ ଭୋଲଟେଜ୍ ବୃଦ୍ଧି କରିଥାଏ ଏବଂ ଫଟୋଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ରୂପାନ୍ତର ଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିଥାଏ। ବର୍ଣ୍ଣ-ଥ୍ରୁ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନର ତାତ୍କାଳିକ ଆନିଲିଂ କିଛି Si-H ଏବଂ NH ବନ୍ଧନକୁ ଭାଙ୍ଗିଥାଏ, ଏବଂ ମୁକ୍ତ H ବ୍ୟାଟେରୀର ନିଷ୍କ୍ରିୟତାକୁ ଆହୁରି ଦୃଢ଼ କରିଥାଏ।
ଯେହେତୁ ଫଟୋଭୋଲ୍ଟାଇକ୍-ଗ୍ରେଡ୍ ସିଲିକନ୍ ସାମଗ୍ରୀଗୁଡ଼ିକରେ ଅନିବାର୍ଯ୍ୟ ଭାବରେ ପ୍ରଚୁର ପରିମାଣର ଅଶୁଦ୍ଧତା ଏବଂ ତ୍ରୁଟି ଥାଏ, ସିଲିକନ୍ରେ ସଂଖ୍ୟାଲଘୁ ବାହକ ଜୀବନକାଳ ଏବଂ ପ୍ରସାରଣ ଲମ୍ବ ହ୍ରାସ ପାଏ, ଯାହା ଫଳରେ ବ୍ୟାଟେରୀର ରୂପାନ୍ତର ଦକ୍ଷତା ହ୍ରାସ ପାଏ। H ସିଲିକନ୍ରେ ଥିବା ତ୍ରୁଟି କିମ୍ବା ଅଶୁଦ୍ଧତା ସହିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରିପାରେ, ଏହାଦ୍ୱାରା ବ୍ୟାଣ୍ଡଗ୍ୟାପ୍ରେ ଥିବା ଶକ୍ତି ବ୍ୟାଣ୍ଡକୁ ଭାଲେନ୍ସ ବ୍ୟାଣ୍ଡ କିମ୍ବା ପରିବହନ ବ୍ୟାଣ୍ଡକୁ ସ୍ଥାନାନ୍ତରିତ କରିଥାଏ।
1. PECVD ନୀତି
PECVD ସିଷ୍ଟମ ହେଉଛି ଜେନେରେଟରର ଏକ ଶୃଙ୍ଖଳା ଯାହା ବ୍ୟବହାର କରେPECVD ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ଆବୃତ୍ତି ପ୍ଲାଜ୍ମା ଉତ୍ତେଜକ। ପ୍ଲାଜ୍ମା ଜେନେରେଟରକୁ କମ୍ ଚାପ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରିବା ପାଇଁ ଆବରଣ ପ୍ଲେଟର ମଝିରେ ସିଧାସଳଖ ସ୍ଥାପିତ କରାଯାଏ। ବ୍ୟବହୃତ ସକ୍ରିୟ ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକ ହେଉଛି ସିଲେନ୍ SiH4 ଏବଂ ଆମୋନିଆ NH3। ଏହି ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକ ସିଲିକନ୍ ୱେଫରରେ ସଂରକ୍ଷିତ ସିଲିକନ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଉପରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ। ସିଲେନ୍ ଏବଂ ଆମୋନିଆର ଅନୁପାତକୁ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରି ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରତିସରଣ ସୂଚକାଙ୍କ ପ୍ରାପ୍ତ କରାଯାଇପାରିବ। ଜମା ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ, ବହୁ ପରିମାଣରେ ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ ପରମାଣୁ ଏବଂ ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ ଆୟନ୍ ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ, ଯାହା ୱେଫରର ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ ପାସିଭେସନ୍କୁ ବହୁତ ଭଲ କରିଥାଏ। ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ଏବଂ 480 ଡିଗ୍ରୀ ସେଲସିୟସ୍ ପରିବେଷ୍ଟିତ ତାପମାତ୍ରାରେ, ସିଲିକନ୍ ୱେଫରର ପୃଷ୍ଠରେ SixNy ର ଏକ ସ୍ତର ଆବରଣ କରାଯାଏ।PECVD ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
୨. Si3N4
Si3N4 ଫିଲ୍ମର ରଙ୍ଗ ଏହାର ଘନତା ସହିତ ପରିବର୍ତ୍ତନ ହୁଏ। ସାଧାରଣତଃ, ଆଦର୍ଶ ଘନତା 75 ରୁ 80 nm ମଧ୍ୟରେ ଥାଏ, ଯାହା ଗାଢ଼ ନୀଳ ଦେଖାଯାଏ। Si3N4 ଫିଲ୍ମର ପ୍ରତିସରଣ ସୂଚକାଙ୍କ 2.0 ରୁ 2.5 ମଧ୍ୟରେ ସର୍ବୋତ୍ତମ। ଏହାର ପ୍ରତିସରଣ ସୂଚକାଙ୍କ ମାପିବା ପାଇଁ ସାଧାରଣତଃ ଆଲକୋହଲ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ।
ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ପୃଷ୍ଠ ନିଷ୍କ୍ରିୟତା ପ୍ରଭାବ, ଦକ୍ଷ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ପ୍ରତିଫଳନ ବିରୋଧୀ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା (ଘନତା ପ୍ରତିସରଣ ସୂଚକାଙ୍କ ମେଳ), ନିମ୍ନ ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରକ୍ରିୟା (ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ଖର୍ଚ୍ଚ ହ୍ରାସ କରିବା), ଏବଂ ଉତ୍ପନ୍ନ H ଆୟନଗୁଡ଼ିକ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର ପୃଷ୍ଠକୁ ନିଷ୍କ୍ରିୟ କରିଥାଏ।
3. ଆବରଣ କର୍ମଶାଳାରେ ସାଧାରଣ ବିଷୟଗୁଡ଼ିକ
ଫିଲ୍ମ ଘନତା:
ବିଭିନ୍ନ ଫିଲ୍ମ ଘନତା ପାଇଁ ଜମା ସମୟ ଭିନ୍ନ। ଆବରଣର ରଙ୍ଗ ଅନୁସାରେ ଜମା ସମୟ ଉପଯୁକ୍ତ ଭାବରେ ବୃଦ୍ଧି କିମ୍ବା ହ୍ରାସ କରାଯିବା ଉଚିତ। ଯଦି ଫିଲ୍ମ ଧଳା ରଙ୍ଗର ହୋଇଥାଏ, ତେବେ ଜମା ସମୟ ହ୍ରାସ କରାଯିବା ଉଚିତ। ଯଦି ଏହା ଲାଲ ରଙ୍ଗର ହୋଇଥାଏ, ତେବେ ଏହାକୁ ଉପଯୁକ୍ତ ଭାବରେ ବୃଦ୍ଧି କରାଯିବା ଉଚିତ। ଫିଲ୍ମର ପ୍ରତ୍ୟେକ ଡଙ୍ଗାକୁ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାବରେ ନିଶ୍ଚିତ କରାଯିବା ଉଚିତ, ଏବଂ ତ୍ରୁଟିପୂର୍ଣ୍ଣ ଉତ୍ପାଦଗୁଡ଼ିକୁ ପରବର୍ତ୍ତୀ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ପ୍ରବାହିତ ହେବାକୁ ଦିଆଯିବ ନାହିଁ। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ଯଦି ଆବରଣ ଖରାପ ଥାଏ, ଯେପରିକି ରଙ୍ଗ ଦାଗ ଏବଂ ୱାଟରମାର୍କ, ତେବେ ସବୁଠାରୁ ସାଧାରଣ ପୃଷ୍ଠ ଧଳାକରଣ, ରଙ୍ଗ ପାର୍ଥକ୍ୟ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ଲାଇନରେ ଧଳା ଦାଗଗୁଡ଼ିକୁ ସମୟ ମଧ୍ୟରେ ବାଛିବା ଉଚିତ। ପୃଷ୍ଠ ଧଳାକରଣ ମୁଖ୍ୟତଃ ଘନ ସିଲିକନ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଫିଲ୍ମ ଦ୍ୱାରା ହୋଇଥାଏ, ଯାହାକୁ ଫିଲ୍ମ ଦାଗ ସମୟକୁ ଆଡଜଷ୍ଟ କରି ଆଡଜଷ୍ଟ କରାଯାଇପାରିବ; ରଙ୍ଗ ପାର୍ଥକ୍ୟ ଫିଲ୍ମ ମୁଖ୍ୟତଃ ଗ୍ୟାସ୍ ପଥ ଅବରୋଧ, କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ଟ୍ୟୁବ୍ ଲିକେଜ୍, ମାଇକ୍ରୋୱେଭ୍ ବିଫଳତା, ଇତ୍ୟାଦି ଯୋଗୁଁ ହୋଇଥାଏ; ଧଳା ଦାଗ ମୁଖ୍ୟତଃ ପୂର୍ବ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଛୋଟ କଳା ଦାଗ ଯୋଗୁଁ ହୋଇଥାଏ। ପ୍ରତିଫଳନ, ପ୍ରତିସରଣ ସୂଚକାଙ୍କ, ଇତ୍ୟାଦିର ତଦାରଖ, ବିଶେଷ ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକର ସୁରକ୍ଷା, ଇତ୍ୟାଦି।
ପୃଷ୍ଠରେ ଧଳା ଦାଗ:
PECVD ହେଉଛି ସୌର କୋଷରେ ଏକ ଅପେକ୍ଷାକୃତ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଏବଂ ଏକ କମ୍ପାନୀର ସୌର କୋଷର ଦକ୍ଷତାର ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ସୂଚକ। PECVD ପ୍ରକ୍ରିୟା ସାଧାରଣତଃ ବ୍ୟସ୍ତ ଥାଏ, ଏବଂ ପ୍ରତ୍ୟେକ ବ୍ୟାଚ୍ କୋଷକୁ ନିରୀକ୍ଷଣ କରିବାକୁ ପଡ଼ିଥାଏ। ଅନେକ ଆବରଣ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍ ଟ୍ୟୁବ୍ ଅଛି, ଏବଂ ପ୍ରତ୍ୟେକ ଟ୍ୟୁବ୍ରେ ସାଧାରଣତଃ ଶହ ଶହ କୋଷ ଥାଏ (ଉପକରଣ ଉପରେ ନିର୍ଭର କରି)। ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାରାମିଟର ପରିବର୍ତ୍ତନ କରିବା ପରେ, ଯାଞ୍ଚ ଚକ୍ର ଲମ୍ବା। ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ହେଉଛି ଏକ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଯାହାକୁ ସମଗ୍ର ଫଟୋଭୋଲ୍ଟାଇକ୍ ଶିଳ୍ପ ବହୁତ ଗୁରୁତ୍ୱ ଦିଏ। ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟାକୁ ଉନ୍ନତ କରି ସୌର କୋଷର ଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରାଯାଇପାରିବ। ଭବିଷ୍ୟତରେ, ସୌର କୋଷ ପୃଷ୍ଠ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ସୌର କୋଷର ତାତ୍ତ୍ୱିକ ଦକ୍ଷତାରେ ଏକ ସଫଳତା ହୋଇପାରେ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଡିସେମ୍ବର-୨୩-୨୦୨୪