Muamua lava, e tatau ona tatou iloaPECVD(Fa'aputuga o le Ausa Kemikolo Fa'aleleia Plasma). O le Plasma o le fa'amalosia lea o le gaioiga fa'avevela o molela'au o meafaitino. O le feto'ai i le va o latou o le a mafua ai ona fa'aionaina molela'au o le kesi, ma o le a avea le meafaitino ma se fa'afefiloi o ion lelei e fe'avea'i sa'oloto, eletise ma vaega e le fa'aitu'au e fegalegaleai le tasi ma le isi.
Ua fuafua o le fua faatatau o le leiloa o le malamalama i luga o le silicon surface e maualuga atu i le tusa ma le 35%. O le anti-reflection film e mafai ona faaleleia atili ai le fua faatatau o le faaaogaina o le malamalama o le la e le battery cell, lea e fesoasoani e faateleina ai le photogenerated current density ma faaleleia atili ai le lelei o le liua. I le taimi lava e tasi, o le hydrogen i totonu o le film e faapassive le surface o le battery cell, faaitiitia ai le fua faatatau o le toe tuufaatasi o le surface o le emitter junction, faaitiitia ai le dark current, faateleina ai le open circuit voltage, ma faaleleia atili ai le photoelectric conversion efficiency. O le annealing vave i le vevela maualuga i le faagasologa o le burn-through e motusia ai nisi o Si-H ma le NH fusi, ma o le H saoloto e faamalosia atili ai le passivation o le battery.
Talu ai o meafaitino silicon e iai le photovoltaic-grade e mautinoa lava e tele naua mea leaga ma mea sese, o le umi e ola ai le vaega itiiti o le avefeau ma le umi e sosolo ai i le silicon e faʻaitiitia ai, ma iʻu ai ina faʻaitiitia le lelei o le liua o le maa. E mafai e le H ona tali atu i mea sese poʻo mea leaga i le silicon, ma faʻaliliuina atu ai le fusi o le malosi i le vaeluaga o le fusi i totonu o le fusi valence poʻo le fusi faʻasolo.
1. Mataupu Faavae o le PECVD
O le faiga PECVD o se faasologa o generators e faʻaaogainaVa'a karapite PECVD ma mea fa'aosofia plasma maualuga-taimi. O le masini fa'aosofia plasma e fa'apipi'i sa'o i le ogatotonu o le laupapa ufiufi e tali atu i lalo o le mamafa maualalo ma le vevela maualuga. O kasa aoga e fa'aaogaina o le silane SiH4 ma le ammonia NH3. O nei kasa e galulue i luga o le silicon nitride o lo'o teuina i luga o le silicon wafer. E mafai ona maua ni fa'ailoga fa'afo'i eseese e ala i le suia o le fua fa'atatau o le silane i le ammonia. I le taimi o le fa'agasologa o le fa'aputuina, e tele naua atomu hydrogen ma ion hydrogen e gaosia, ma avea ai le hydrogen passivation o le wafer e matua lelei lava. I totonu o se vacuum ma se vevela ambient o le 480 tikeri Celsius, o se vaega o le SixNy e ufiufi i luga o le silicon wafer e ala i le fa'atinoina o leVa'a karapite PECVD.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
E suia le lanu o le ata tifaga Si3N4 e tusa ai ma lona mafiafia. I se tulaga lautele, o le mafiafia lelei e va i le 75 ma le 80 nm, lea e foliga mai e lanumoana pogisa. O le fa'asinomaga o le tioata Si3N4 e sili ona lelei i le va o le 2.0 ma le 2.5. E masani ona fa'aaogaina le 'ava malosi e fua ai lona fa'asinomaga o le tioata.
E sili ona lelei le aafiaga o le fa'asa'olotoina o luga, fa'atinoga lelei o le tete'e atu i le atagia mai o foliga (tutusa o le fa'asinomaga o le fa'ata'ita'iga o le mafiafia), fa'agasologa o le vevela maualalo (fa'aitiitia lelei tau), ma o le H ions na gaosia e fa'asa'olotoina ai le luga o le silicon wafer.
3. Mataupu masani i le fale faigaluega vali
Mafiafia o le ata tifaga:
E eseese le taimi e fa'aputu ai mo mafiafia eseese o ata tifaga. E tatau ona fa'ateleina pe fa'aitiitia le taimi e fa'aputu ai e tusa ai ma le lanu o le ufiufi. Afai e pa'epa'e le ata tifaga, e tatau ona fa'aitiitia le taimi e fa'aputu ai. Afai e mumu, e tatau ona fa'ateleina i se auala talafeagai. E tatau ona fa'amaonia atoatoa ata tifaga ta'itasi, ma e le fa'atagaina oloa leaga e tafe atu i le isi faiga. Mo se fa'ata'ita'iga, afai e le lelei le ufiufi, e pei o togitogi lanu ma fa'ailoga vai, e tatau ona vave ona iloa le pa'epa'e o luga, eseesega o lanu, ma togitogi papa'e i luga o le laina gaosiga. O le pa'epa'e o luga e mafua tele lava i le ata mafiafia o le silicon nitride, lea e mafai ona fetu'una'i e ala i le fetu'una'i o le taimi e fa'aputu ai le ata tifaga; o le ata tifaga eseesega o lanu e mafua tele lava i le poloka o le ala kesi, tafega o le paipa kuata, fa'aletonu o le microwave, ma isi mea fa'apena; o togitogi papa'e e mafua tele lava i togitogi uliuli laiti i le faiga muamua. Mata'ituina o le atagia mai, fa'asinomaga o le refractive, ma isi mea fa'apena, saogalemu o kesi fa'apitoa, ma isi mea fa'apena.
O ila pa'epa'e i luga o le fogā'ele'ele:
O le PECVD o se faiga taua tele i totonu o sela o le la ma o se faʻailoga taua o le lelei o sela o le la a se kamupani. E masani ona pisi le faiga o le PECVD, ma e manaʻomia ona mataʻituina vaega taʻitasi o sela. E tele paipa ogaumu ufiufi, ma e masani ona iai i paipa taʻitasi le selau o sela (e fuafua i le masini). A maeʻa ona suia faʻasologa o le faiga, e umi le taamilosaga faʻamaonia. O le tekinolosi ufiufi o se tekinolosi e faʻatauaina tele e le pisinisi photovoltaic atoa. E mafai ona faʻaleleia le lelei o sela o le la e ala i le faʻaleleia atili o le tekinolosi ufiufi. I le lumanaʻi, o le tekinolosi o luga o sela o le la e ono avea ma se alualu i luma i le lelei faʻavae o sela o le la.
Taimi na lafoina ai: Tesema-23-2024