ਸਭ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ, ਸਾਨੂੰ ਇਹ ਜਾਣਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੈਪੀਈਸੀਵੀਡੀ(ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਨਹਾਂਸਡ ਕੈਮੀਕਲ ਵਾਸ਼ਪ ਜਮ੍ਹਾ)। ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪਦਾਰਥ ਦੇ ਅਣੂਆਂ ਦੀ ਥਰਮਲ ਗਤੀ ਦੀ ਤੀਬਰਤਾ ਹੈ। ਉਹਨਾਂ ਵਿਚਕਾਰ ਟੱਕਰ ਗੈਸ ਦੇ ਅਣੂਆਂ ਨੂੰ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ਡ ਕਰਨ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣੇਗੀ, ਅਤੇ ਪਦਾਰਥ ਸੁਤੰਤਰ ਤੌਰ 'ਤੇ ਘੁੰਮਦੇ ਸਕਾਰਾਤਮਕ ਆਇਨਾਂ, ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨਾਂ ਅਤੇ ਨਿਰਪੱਖ ਕਣਾਂ ਦਾ ਮਿਸ਼ਰਣ ਬਣ ਜਾਵੇਗਾ ਜੋ ਇੱਕ ਦੂਜੇ ਨਾਲ ਪਰਸਪਰ ਪ੍ਰਭਾਵ ਪਾਉਂਦੇ ਹਨ।
ਇਹ ਅੰਦਾਜ਼ਾ ਲਗਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ ਕਿ ਸਿਲੀਕਾਨ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ ਦੀ ਪ੍ਰਤੀਬਿੰਬ ਨੁਕਸਾਨ ਦਰ ਲਗਭਗ 35% ਜਿੰਨੀ ਉੱਚੀ ਹੈ। ਐਂਟੀ-ਰਿਫਲੈਕਸ਼ਨ ਫਿਲਮ ਬੈਟਰੀ ਸੈੱਲ ਦੁਆਰਾ ਸੂਰਜੀ ਰੌਸ਼ਨੀ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਦਰ ਨੂੰ ਬਹੁਤ ਸੁਧਾਰ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਫੋਟੋਜਨਰੇਟਿਡ ਕਰੰਟ ਘਣਤਾ ਨੂੰ ਵਧਾਉਣ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ ਪਰਿਵਰਤਨ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਇਸਦੇ ਨਾਲ ਹੀ, ਫਿਲਮ ਵਿੱਚ ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ ਬੈਟਰੀ ਸੈੱਲ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ ਨੂੰ ਪੈਸੀਵੇਟ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਐਮੀਟਰ ਜੰਕਸ਼ਨ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ ਰੀਕੰਬੀਨੇਸ਼ਨ ਦਰ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਡਾਰਕ ਕਰੰਟ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਓਪਨ ਸਰਕਟ ਵੋਲਟੇਜ ਨੂੰ ਵਧਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਫੋਟੋਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਪਰਿਵਰਤਨ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਬਰਨ-ਥਰੂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਤਤਕਾਲ ਐਨੀਲਿੰਗ ਕੁਝ Si-H ਅਤੇ NH ਬਾਂਡਾਂ ਨੂੰ ਤੋੜਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਮੁਕਤ H ਬੈਟਰੀ ਦੇ ਪੈਸੀਵੇਸ਼ਨ ਨੂੰ ਹੋਰ ਮਜ਼ਬੂਤ ਕਰਦਾ ਹੈ।
ਕਿਉਂਕਿ ਫੋਟੋਵੋਲਟੇਇਕ-ਗ੍ਰੇਡ ਸਿਲੀਕਾਨ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਵਿੱਚ ਅਟੱਲ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵੱਡੀ ਮਾਤਰਾ ਵਿੱਚ ਅਸ਼ੁੱਧੀਆਂ ਅਤੇ ਨੁਕਸ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਇਸ ਲਈ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵਿੱਚ ਘੱਟ ਗਿਣਤੀ ਕੈਰੀਅਰ ਜੀਵਨ ਕਾਲ ਅਤੇ ਪ੍ਰਸਾਰ ਦੀ ਲੰਬਾਈ ਘੱਟ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਜਿਸਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਬੈਟਰੀ ਦੀ ਪਰਿਵਰਤਨ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਵਿੱਚ ਕਮੀ ਆਉਂਦੀ ਹੈ। H ਸਿਲੀਕਾਨ ਵਿੱਚ ਨੁਕਸ ਜਾਂ ਅਸ਼ੁੱਧੀਆਂ ਨਾਲ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ ਬੈਂਡਗੈਪ ਵਿੱਚ ਊਰਜਾ ਬੈਂਡ ਨੂੰ ਵੈਲੈਂਸ ਬੈਂਡ ਜਾਂ ਕੰਡਕਸ਼ਨ ਬੈਂਡ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ।
1. PECVD ਸਿਧਾਂਤ
PECVD ਸਿਸਟਮ ਜਨਰੇਟਰਾਂ ਦੀ ਇੱਕ ਲੜੀ ਹੈ ਜੋ ਵਰਤਦੇ ਹਨPECVD ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ ਅਤੇ ਉੱਚ-ਆਵਿਰਤੀ ਵਾਲੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਕਸਾਈਟਰ। ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਜਨਰੇਟਰ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਕੋਟਿੰਗ ਪਲੇਟ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਸਥਾਪਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਤਾਂ ਜੋ ਘੱਟ ਦਬਾਅ ਅਤੇ ਉੱਚੇ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕੇ। ਵਰਤੀਆਂ ਜਾਣ ਵਾਲੀਆਂ ਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਗੈਸਾਂ ਸਿਲੇਨ SiH4 ਅਤੇ ਅਮੋਨੀਆ NH3 ਹਨ। ਇਹ ਗੈਸਾਂ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ 'ਤੇ ਸਟੋਰ ਕੀਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਨਾਈਟਰਾਈਡ 'ਤੇ ਕੰਮ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ। ਸਿਲੇਨ ਦੇ ਅਮੋਨੀਆ ਦੇ ਅਨੁਪਾਤ ਨੂੰ ਬਦਲ ਕੇ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਰਿਫ੍ਰੈਕਟਿਵ ਸੂਚਕਾਂਕ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕੀਤੇ ਜਾ ਸਕਦੇ ਹਨ। ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੌਰਾਨ, ਵੱਡੀ ਮਾਤਰਾ ਵਿੱਚ ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ ਪਰਮਾਣੂ ਅਤੇ ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ ਆਇਨ ਪੈਦਾ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਵੇਫਰ ਦਾ ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ ਪੈਸੀਵੇਸ਼ਨ ਬਹੁਤ ਵਧੀਆ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਵੈਕਿਊਮ ਅਤੇ 480 ਡਿਗਰੀ ਸੈਲਸੀਅਸ ਦੇ ਵਾਤਾਵਰਣ ਤਾਪਮਾਨ ਵਿੱਚ, ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ SixNy ਦੀ ਇੱਕ ਪਰਤ ਲੇਪ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।PECVD ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. ਸੀ3ਐਨ4
Si3N4 ਫਿਲਮ ਦਾ ਰੰਗ ਇਸਦੀ ਮੋਟਾਈ ਦੇ ਨਾਲ ਬਦਲਦਾ ਹੈ। ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ, ਆਦਰਸ਼ ਮੋਟਾਈ 75 ਅਤੇ 80 nm ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਗੂੜ੍ਹਾ ਨੀਲਾ ਦਿਖਾਈ ਦਿੰਦਾ ਹੈ। Si3N4 ਫਿਲਮ ਦਾ ਰਿਫ੍ਰੈਕਟਿਵ ਇੰਡੈਕਸ 2.0 ਅਤੇ 2.5 ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਸਭ ਤੋਂ ਵਧੀਆ ਹੈ। ਅਲਕੋਹਲ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਇਸਦੇ ਰਿਫ੍ਰੈਕਟਿਵ ਇੰਡੈਕਸ ਨੂੰ ਮਾਪਣ ਲਈ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।
ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਸਤਹ ਪੈਸੀਵੇਸ਼ਨ ਪ੍ਰਭਾਵ, ਕੁਸ਼ਲ ਆਪਟੀਕਲ ਐਂਟੀ-ਰਿਫਲੈਕਸ਼ਨ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ (ਮੋਟਾਈ ਰਿਫ੍ਰੈਕਟਿਵ ਇੰਡੈਕਸ ਮੈਚਿੰਗ), ਘੱਟ ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ (ਲਾਗਤਾਂ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਘਟਾਉਣਾ), ਅਤੇ ਤਿਆਰ ਕੀਤੇ H ਆਇਨ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਸਤਹ ਨੂੰ ਪੈਸੀਵੇਟ ਕਰਦੇ ਹਨ।
3. ਕੋਟਿੰਗ ਵਰਕਸ਼ਾਪ ਵਿੱਚ ਆਮ ਮਾਮਲੇ
ਫਿਲਮ ਦੀ ਮੋਟਾਈ:
ਵੱਖ-ਵੱਖ ਫ਼ਿਲਮਾਂ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਲਈ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ ਦਾ ਸਮਾਂ ਵੱਖਰਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ ਦਾ ਸਮਾਂ ਕੋਟਿੰਗ ਦੇ ਰੰਗ ਦੇ ਅਨੁਸਾਰ ਢੁਕਵੇਂ ਢੰਗ ਨਾਲ ਵਧਾਇਆ ਜਾਂ ਘਟਾਇਆ ਜਾਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ। ਜੇਕਰ ਫ਼ਿਲਮ ਚਿੱਟੀ ਹੈ, ਤਾਂ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ ਦਾ ਸਮਾਂ ਘਟਾਇਆ ਜਾਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ। ਜੇਕਰ ਇਹ ਲਾਲ ਹੈ, ਤਾਂ ਇਸਨੂੰ ਢੁਕਵੇਂ ਢੰਗ ਨਾਲ ਵਧਾਇਆ ਜਾਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ। ਫ਼ਿਲਮਾਂ ਦੀ ਹਰੇਕ ਕਿਸ਼ਤੀ ਦੀ ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਪੁਸ਼ਟੀ ਕੀਤੀ ਜਾਣੀ ਚਾਹੀਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਨੁਕਸਦਾਰ ਉਤਪਾਦਾਂ ਨੂੰ ਅਗਲੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਵਹਿਣ ਦੀ ਇਜਾਜ਼ਤ ਨਹੀਂ ਦਿੱਤੀ ਜਾਂਦੀ। ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਜੇਕਰ ਕੋਟਿੰਗ ਮਾੜੀ ਹੈ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਰੰਗ ਦੇ ਧੱਬੇ ਅਤੇ ਵਾਟਰਮਾਰਕ, ਤਾਂ ਸਭ ਤੋਂ ਆਮ ਸਤਹ ਨੂੰ ਚਿੱਟਾ ਕਰਨਾ, ਰੰਗ ਦਾ ਅੰਤਰ, ਅਤੇ ਉਤਪਾਦਨ ਲਾਈਨ 'ਤੇ ਚਿੱਟੇ ਧੱਬੇ ਸਮੇਂ ਸਿਰ ਚੁਣੇ ਜਾਣੇ ਚਾਹੀਦੇ ਹਨ। ਸਤਹ ਨੂੰ ਚਿੱਟਾ ਕਰਨਾ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਮੋਟੀ ਸਿਲੀਕਾਨ ਨਾਈਟਰਾਈਡ ਫਿਲਮ ਕਾਰਨ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਜਿਸਨੂੰ ਫਿਲਮ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ ਦੇ ਸਮੇਂ ਨੂੰ ਐਡਜਸਟ ਕਰਕੇ ਐਡਜਸਟ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ; ਰੰਗ ਦਾ ਅੰਤਰ ਫਿਲਮ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਗੈਸ ਮਾਰਗ ਰੁਕਾਵਟ, ਕੁਆਰਟਜ਼ ਟਿਊਬ ਲੀਕੇਜ, ਮਾਈਕ੍ਰੋਵੇਵ ਅਸਫਲਤਾ, ਆਦਿ ਕਾਰਨ ਹੁੰਦਾ ਹੈ; ਚਿੱਟੇ ਧੱਬੇ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪਿਛਲੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਛੋਟੇ ਕਾਲੇ ਧੱਬਿਆਂ ਕਾਰਨ ਹੁੰਦੇ ਹਨ। ਪ੍ਰਤੀਬਿੰਬਤਾ, ਰਿਫ੍ਰੈਕਟਿਵ ਇੰਡੈਕਸ, ਆਦਿ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ, ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਗੈਸਾਂ ਦੀ ਸੁਰੱਖਿਆ, ਆਦਿ।
ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਚਿੱਟੇ ਧੱਬੇ:
PECVD ਸੋਲਰ ਸੈੱਲਾਂ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਮੁਕਾਬਲਤਨ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਹੈ ਅਤੇ ਇੱਕ ਕੰਪਨੀ ਦੇ ਸੋਲਰ ਸੈੱਲਾਂ ਦੀ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਦਾ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਸੂਚਕ ਹੈ। PECVD ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਿਅਸਤ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਸੈੱਲਾਂ ਦੇ ਹਰੇਕ ਬੈਚ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਬਹੁਤ ਸਾਰੀਆਂ ਕੋਟਿੰਗ ਫਰਨੇਸ ਟਿਊਬਾਂ ਹਨ, ਅਤੇ ਹਰੇਕ ਟਿਊਬ ਵਿੱਚ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸੈਂਕੜੇ ਸੈੱਲ ਹੁੰਦੇ ਹਨ (ਉਪਕਰਨ 'ਤੇ ਨਿਰਭਰ ਕਰਦਾ ਹੈ)। ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਨੂੰ ਬਦਲਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਤਸਦੀਕ ਚੱਕਰ ਲੰਬਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਕੋਟਿੰਗ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਇੱਕ ਅਜਿਹੀ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਹੈ ਜਿਸ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਫੋਟੋਵੋਲਟੇਇਕ ਉਦਯੋਗ ਬਹੁਤ ਮਹੱਤਵ ਦਿੰਦਾ ਹੈ। ਕੋਟਿੰਗ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਕੇ ਸੋਲਰ ਸੈੱਲਾਂ ਦੀ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਭਵਿੱਖ ਵਿੱਚ, ਸੋਲਰ ਸੈੱਲ ਸਤਹ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਸੋਲਰ ਸੈੱਲਾਂ ਦੀ ਸਿਧਾਂਤਕ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਸਫਲਤਾ ਬਣ ਸਕਦੀ ਹੈ।
ਪੋਸਟ ਸਮਾਂ: ਦਸੰਬਰ-23-2024