በመጀመሪያ ደረጃ፣ ማወቅ ያለብንPECVD(የፕላዝማ የተሻሻለ የኬሚካል ትነት ዲፖዚሽን)። ፕላዝማ የቁሳቁስ ሞለኪውሎች የሙቀት እንቅስቃሴ ማጠናከር ነው። በመካከላቸው ያለው ግጭት የጋዝ ሞለኪውሎች አዮናይዝድ እንዲሆኑ ያደርጋል፣ እና ቁሱ እርስ በእርስ የሚገናኙ በነፃነት የሚንቀሳቀሱ አወንታዊ አዮኖች፣ ኤሌክትሮኖች እና ገለልተኛ ቅንጣቶች ድብልቅ ይሆናል።
በሲሊኮን ወለል ላይ ያለው የብርሃን ነጸብራቅ የመጥፋት መጠን እስከ 35% እንደሚደርስ ይገመታል። ፀረ-ነጸብራቅ ፊልም በባትሪ ሴል የፀሐይ ብርሃን አጠቃቀም መጠን በእጅጉ ሊያሻሽል ይችላል፣ ይህም የፎቶ ማመንጫውን የጅረት ጥግግት ለመጨመር እና በዚህም የልወጣ ቅልጥፍናን ለማሻሻል ይረዳል። በተመሳሳይ ጊዜ፣ በፊልሙ ውስጥ ያለው ሃይድሮጂን የባትሪ ሴልን ገጽ ያታልላል፣ የኢምተር መጋጠሚያውን የገጽታ ዳግም ውህደት መጠን ይቀንሳል፣ የጨለማውን ፍሰት ይቀንሳል፣ የክፍት ዑደት ቮልቴጅን ይጨምራል እና የፎቶኤሌክትሪክ ልወጣ ቅልጥፍናን ያሻሽላል። በማቃጠል ሂደት ውስጥ ያለው ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው ፈጣን ማነቂያ አንዳንድ የSi-H እና NH ቦንዶችን ይሰብራል፣ እና የተለቀቀው H የባትሪውን ፓሲቭዥን የበለጠ ያጠናክራል።
የፎቶቮልታይክ ደረጃ ያላቸው የሲሊኮን ቁሳቁሶች ከፍተኛ መጠን ያለው ቆሻሻ እና ጉድለት ስለያዙ፣ በሲሊኮን ውስጥ ያለው አናሳ ተሸካሚ የህይወት ዘመን እና የስርጭት ርዝመት ይቀንሳል፣ ይህም የባትሪውን የመቀየር ብቃት ይቀንሳል። H በሲሊኮን ውስጥ ካሉ ጉድለቶች ወይም ቆሻሻዎች ጋር ምላሽ ሊሰጥ ይችላል፣ በዚህም በባንድ ክፍተት ውስጥ ያለውን የኃይል ባንድ ወደ ቫለንሲንግ ባንድ ወይም ኮንዳክሽን ባንድ ያስተላልፋል።
1. የPECVD መርህ
የPECVD ሲስተም የጄነሬተሮችን ተከታታይነት የሚጠቀም ነው።የPECVD ግራፋይት ጀልባ እና ከፍተኛ ድግግሞሽ ያላቸው የፕላዝማ ማነቃቂያዎች። የፕላዝማ ጀነሬተሩ በቀጥታ በዝቅተኛ ግፊት እና ከፍ ባለ የሙቀት መጠን ምላሽ ለመስጠት በሽፋን ሰሌዳው መሃል ላይ ተጭኗል። ጥቅም ላይ የዋሉት ንቁ ጋዞች ሲላን ሲኤች4 እና አሞኒያ ኤንኤች3 ናቸው። እነዚህ ጋዞች በሲሊኮን ዋፈር ላይ በተከማቸው የሲሊኮን ናይትሬድ ላይ ይሰራሉ። የተለያዩ የማጣቀሻ ኢንዴክሶች የሲላንን ወደ አሞኒያ ጥምርታ በመቀየር ማግኘት ይቻላል። በማስቀመጥ ሂደት ውስጥ ከፍተኛ መጠን ያለው የሃይድሮጂን አቶሞች እና የሃይድሮጂን አየኖች ይፈጠራሉ፣ ይህም የዋፈርን ሃይድሮጂን ማለፊያ በጣም ጥሩ ያደርገዋል። በቫክዩም እና በ480 ዲግሪ ሴልሺየስ አካባቢ ባለው የሙቀት መጠን፣ የSixNy ንብርብር በሲሊኮን ዋፈር ወለል ላይ ተሸፍኗል።የPECVD ግራፋይት ጀልባ.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
የSi3N4 ፊልም ቀለም ከውፍረቱ ጋር ይለወጣል። በአጠቃላይ ተስማሚው ውፍረት ከ75 እስከ 80 nm ሲሆን ይህም ጥቁር ሰማያዊ ይመስላል። የSi3N4 ፊልም የማጣቀሻ መረጃ ጠቋሚ ከ2.0 እስከ 2.5 መካከል ምርጥ ነው። አልኮል ብዙውን ጊዜ የማጣቀሻ መረጃ ጠቋሚውን ለመለካት ያገለግላል።
እጅግ በጣም ጥሩ የወለል ፓስቪዥን ውጤት፣ ቀልጣፋ የኦፕቲካል ፀረ-ነጸብራቅ አፈፃፀም (ውፍረት የማንጸባረቅ ኢንዴክስ ማዛመድ)፣ ዝቅተኛ የሙቀት መጠን ሂደት (ወጪዎችን በብቃት በመቀነስ) እና የተፈጠሩት የኤች ion ዎች የሲሊኮን ዋፈር ወለልን ያጸዳሉ።
3. በሽፋን አውደ ጥናት ውስጥ የተለመዱ ጉዳዮች
የፊልም ውፍረት:
የመቀመጫ ጊዜ ለተለያዩ የፊልም ውፍረትዎች የተለየ ነው። የመቀመጫ ጊዜ እንደ ሽፋኑ ቀለም በአግባቡ መጨመር ወይም መቀነስ አለበት። ፊልሙ ነጭ ከሆነ የመቀመጫ ጊዜ መቀነስ አለበት። ቀይ ከሆነ በተገቢው መጠን መጨመር አለበት። እያንዳንዱ የፊልሞች ጀልባ ሙሉ በሙሉ መረጋገጥ አለበት፣ እና ጉድለት ያለባቸው ምርቶች ወደሚቀጥለው ሂደት እንዲፈስ አይፈቀድላቸውም። ለምሳሌ፣ ሽፋኑ ደካማ ከሆነ፣ እንደ የቀለም ነጠብጣቦች እና የውሃ ምልክቶች፣ በምርት መስመር ላይ በጣም የተለመደው የገጽታ ነጭነት፣ የቀለም ልዩነት እና ነጭ ነጠብጣቦች በጊዜ መመረጥ አለባቸው። የገጽታ ነጭነት በዋናነት የሚከሰተው ወፍራም የሲሊኮን ናይትሬድ ፊልም ሲሆን ይህም የፊልም የመቀመጫ ጊዜን በማስተካከል ሊስተካከል ይችላል፤ የቀለም ልዩነት ፊልሙ በዋናነት የሚከሰተው በጋዝ መንገድ መዘጋት፣ የኳርትዝ ቱቦ መፍሰስ፣ የማይክሮዌቭ ውድቀት፣ ወዘተ ነው፤ ነጭ ነጠብጣቦች በዋናነት የሚከሰቱት በቀድሞው ሂደት ውስጥ በነበሩ ትናንሽ ጥቁር ነጠብጣቦች ነው። የማንጸባረቅ ክትትል፣ የማንጸባረቅ መረጃ ጠቋሚ፣ ወዘተ፣ የልዩ ጋዞች ደህንነት፣ ወዘተ.
በላዩ ላይ ነጭ ነጠብጣቦች:
PECVD በፀሐይ ሴሎች ውስጥ በአንጻራዊ ሁኔታ አስፈላጊ ሂደት ሲሆን የኩባንያውን የፀሐይ ሴሎች ውጤታማነት የሚያሳይ አስፈላጊ አመላካች ነው። የ PECVD ሂደት በአጠቃላይ ስራ የበዛበት ሲሆን እያንዳንዱ የሕዋስ ስብስብ ክትትል ሊደረግበት ይገባል። ብዙ የሽፋን ምድጃ ቱቦዎች አሉ፣ እና እያንዳንዱ ቱቦ በአጠቃላይ በመቶዎች የሚቆጠሩ ሴሎች አሉት (እንደ መሳሪያው ይለያያል)። የሂደቱን መለኪያዎች ከቀየሩ በኋላ የማረጋገጫ ዑደቱ ረጅም ነው። የሽፋን ቴክኖሎጂ መላው የፎቶቮልታይክ ኢንዱስትሪ ትልቅ ቦታ የሚሰጠው ቴክኖሎጂ ነው። የፀሐይ ሴሎች ውጤታማነት የሽፋን ቴክኖሎጂን በማሻሻል ሊሻሻል ይችላል። ወደፊት የፀሐይ ሴሎች የገጽታ ቴክኖሎጂ በፀሐይ ሴሎች የቲዎሬቲካል ቅልጥፍና ውስጥ ትልቅ ለውጥ ሊያመጣ ይችላል።
የፖስታ ሰዓት፡- ታህሳስ 23-2024