Ar an gcéad dul síos, ní mór dúinn a fhios a bheith againnPECVD(Taisceadh Ceimiceach Gaile Feabhsaithe le Plasma). Is éard atá i plasma ná gluaiseacht theirmeach mhóilíní ábhair a dhéanamh níos déine. Mar thoradh ar an imbhualadh eatarthu, déanfar na móilíní gáis a ianú, agus beidh an t-ábhar ina mheascán d'ian dearfacha, leictreoin agus cáithníní neodracha atá ag gluaiseacht go saor agus a idirghníomhaíonn lena chéile.
Meastar go bhfuil ráta caillteanais frithchaite solais ar dhromchla an tsiliceáin chomh hard le thart ar 35%. Is féidir leis an scannán frithchaite feabhas mór a chur ar ráta úsáide sholas na gréine ag an gcill ceallraí, rud a chabhraíonn le dlús reatha an fhótaghinte a mhéadú agus dá bhrí sin an éifeachtúlacht chomhshó a fheabhsú. Ag an am céanna, déanann an hidrigin sa scannán éighníomhú ar dhromchla na cille ceallraí, laghdaíonn sé ráta athchomhcheangail dromchla an acomhail astaíre, laghdaíonn sé an sruth dorcha, méadaíonn sé an voltas ciorcaid oscailte, agus feabhsaíonn sé éifeachtúlacht chomhshó fótaileictreach. Bristear roinnt bannaí Si-H agus NH3 leis an annealing meandarach ardteochta sa phróiseas dóite, agus neartaíonn an H2 saortha éighníomhú na ceallraí tuilleadh.
Ós rud é go mbíonn méid mór eisíontais agus lochtanna in ábhair sileacain ghrád fótavoltach go dosheachanta, laghdaítear saolré an iompróra mhionlaigh agus fad scaipthe an cheallraí, rud a fhágann go laghdaítear éifeachtúlacht chomhshó na ceallraí. Is féidir le H₂ imoibriú le lochtanna nó eisíontais an cheallraí, agus ar an gcaoi sin an banda fuinnimh sa bhearna banna a aistriú isteach sa bhanda vaileins nó sa bhanda seoltachta.
1. Prionsabal PECVD
Is sraith gineadóirí é córas PECVD a úsáideannBád graifíte PECVD agus spreagthóirí plasma ardmhinicíochta. Tá an gineadóir plasma suiteáilte go díreach i lár an phláta sciath chun imoibriú faoi bhrú íseal agus teocht ardaithe. Is iad na gáis ghníomhacha a úsáidtear ná silán SiH4 agus amóinia NH3. Gníomhaíonn na gáis seo ar an níotráit sileacain atá stóráilte ar an slisneoir sileacain. Is féidir innéacsanna athraonta éagsúla a fháil trí chóimheas an tsiláin le hamóinia a athrú. Le linn an phróisis taiscthe, gintear méid mór adamh hidrigine agus ian hidrigine, rud a fhágann go bhfuil pasiviú hidrigine an tslisneoir an-mhaith. I bhfolús agus teocht chomhthimpeallach de 480 céim Celsius, brataítear sraith de SixNy ar dhromchla an tslisneoir sileacain tríd anBád graifíte PECVD.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
Athraíonn dath an scannáin Si3N4 de réir a thiús. Go ginearálta, is é an tiús idéalach ná idir 75 agus 80 nm, agus is cosúil go bhfuil sé gorm dorcha. Is fearr comhéifeacht athraonta an scannáin Si3N4 a bheith idir 2.0 agus 2.5. De ghnáth, úsáidtear alcól chun a chomhéifeacht athraonta a thomhas.
Éifeacht pasivithe dromchla den scoth, feidhmíocht frith-mhachnamhach optúil éifeachtach (meaitseáil innéacs athraonta tiús), próiseas ísealteochta (ag laghdú costais go héifeachtach), agus na hiain H2 a ghintear a dhéanann éighníomhú ar dhromchla an sceallóige sileacain.
3. Ábhair choitianta i gceardlann sciath
Tiús scannáin:
Bíonn an t-am taiscthe difriúil do thiús scannán éagsúil. Ba cheart an t-am taiscthe a mhéadú nó a laghdú go cuí de réir dath an sciath. Má tá an scannán bán, ba cheart an t-am taiscthe a laghdú. Má tá sé deargach, ba cheart é a mhéadú go cuí. Ba cheart gach bád scannán a dheimhniú go hiomlán, agus ní cheadaítear do tháirgí lochtacha sreabhadh isteach sa chéad phróiseas eile. Mar shampla, má tá an sciath lag, amhail spotaí datha agus uiscemharcanna, ba cheart na bánú dromchla, an difríocht datha, agus na spotaí bána is coitianta ar an líne táirgthe a aithint in am. Is é an scannán níotráit sileacain tiubh is cúis leis an mbánú dromchla den chuid is mó, agus is féidir é seo a choigeartú trí am taiscthe an scannáin a choigeartú; is é an scannán difríochta datha is cúis leis an scannán den chuid is mó ná bac ar chonair gháis, sceitheadh feadán grianchloch, teip micreathonnta, srl.; is iad spotaí beaga dubha sa phróiseas roimhe seo is cúis leis na spotaí bána den chuid is mó. Monatóireacht ar fhrithchaiteacht, innéacs athraonta, srl., sábháilteacht gás speisialta, srl.
Spotaí bána ar an dromchla:
Is próiseas sách tábhachtach é PECVD i gcealla gréine agus is táscaire tábhachtach é ar éifeachtúlacht cealla gréine cuideachta. Bíonn an próiseas PECVD gnóthach i gcoitinne, agus ní mór monatóireacht a dhéanamh ar gach baisc cealla. Tá go leor feadáin foirnéise brataithe ann, agus bíonn na céadta cealla i ngach feadán i gcoitinne (ag brath ar an trealamh). Tar éis paraiméadair an phróisis a athrú, bíonn an timthriall fíoraithe fada. Is teicneolaíocht í an teicneolaíocht brataithe a chuireann an tionscal fótavoltach ar fad tábhacht mhór léi. Is féidir éifeachtúlacht na gcealla gréine a fheabhsú trí theicneolaíocht brataithe a fheabhsú. Amach anseo, d'fhéadfadh teicneolaíocht dhromchla cealla gréine a bheith ina dul chun cinn in éifeachtúlacht theoiriciúil na gcealla gréine.
Am an phoist: 23 Nollaig 2024