Ni akọkọ, a nilo lati mọPECVD(Ìdínà Afẹ́fẹ́ Kẹ́míkà Tí a Mú Pílásmà Dáradára). Plasma jẹ́ ìfúnpọ̀ ìṣípo ooru ti àwọn molecule ohun èlò. Ìkọlù láàárín wọn yóò fa kí àwọn molecule gaasi di ion, ohun èlò náà yóò sì di àdàpọ̀ àwọn ion rere tí ń gbéra láìsí ìdíwọ́, electrons àti àwọn patikulu aláìlágbára tí wọ́n ń bá ara wọn lò.
A ṣírò pé ìwọ̀n ìpàdánù ìmọ́lẹ̀ lórí ojú ohun èlò silicon ga tó nǹkan bí 35%. Fíìmù ìdènà-ìtànmọ́lẹ̀ lè mú kí ìwọ̀n lílo ìmọ́lẹ̀ oòrùn láti ọwọ́ sẹ́ẹ̀lì batiri pọ̀ sí i, èyí tí ó ń ran lọ́wọ́ láti mú kí ìwọ̀n ìṣàn iná tí a ti ṣẹ̀dá láti inú fọ́tò pọ̀ sí i, èyí sì ń mú kí ìyípadà náà sunwọ̀n sí i. Ní àkókò kan náà, hydrogen nínú fíìmù náà ń pa ojú sẹ́ẹ̀lì batiri náà, ó ń dín ìwọ̀n ìdàpọ̀ ojú ilẹ̀ ti ìsopọ̀ emitter kù, ó ń dín ìṣàn dúdú kù, ó ń mú kí fóltéèjì àyíká ṣíṣí pọ̀ sí i, ó sì ń mú kí ìyípadà fọ́tòelectric sunwọ̀n sí i. Ìyípadà ojú ọjọ́ tí ó ga ní ojú ọjọ́ tí ó ń jóná fọ́ àwọn ìdè Si-H àti NH díẹ̀, H tí a ti tú sílẹ̀ sì tún ń mú kí passivation ti bátírì náà túbọ̀ lágbára sí i.
Nítorí pé àwọn ohun èlò silikoni onípele photovoltaic ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn àìmọ́ àti àbùkù, ìgbésí ayé àwọn onígbèsè kékeré àti gígùn ìtànkálẹ̀ nínú silikoni dínkù, èyí tí ó ń yọrí sí ìdínkù nínú ìyípadà agbára bátírì náà. H lè dáhùn padà pẹ̀lú àbùkù tàbí àìmọ́ nínú silikoni, nípa bẹ́ẹ̀ yíyí okun agbára nínú bandgap náà padà sínú band valence tàbí conduction band.
1. Ìlànà PECVD
Ètò PECVD jẹ́ ọ̀wọ́ àwọn ẹ̀rọ amúṣẹ́dá tí ń loỌkọ̀ ojú omi PECVD graphite àti àwọn ohun èlò ìfúnni ní plasma onígbà púpọ̀. A fi ẹ̀rọ ìpèsè plasma náà sí àárín àwo ìbòrí náà láti ṣe àtúnṣe lábẹ́ ìfúnni kékeré àti iwọ̀n otútù gíga. Àwọn gáàsì tí ń ṣiṣẹ́ tí a lò ni silane SiH4 àti ammonia NH3. Àwọn gáàsì wọ̀nyí ń ṣiṣẹ́ lórí silicon nitride tí a kó pamọ́ sórí silicon wafer. Oríṣiríṣi àwọn àmì ìfàmọ́ra ni a lè rí nípa yíyípadà ìpíndọ́gba silane sí ammonia. Nígbà ìgbésẹ̀ ìfipamọ́, a ń ṣe ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn átọ̀mù hydrogen àti àwọn ion hydrogen, èyí tí ó mú kí hydrogen passivation ti wafer náà dára gan-an. Nínú òtútù àti iwọ̀n otútù àyíká ti 480 degrees Celsius, a fi ìpele SixNy bo ojú silicon wafer nípa ṣíṣe àtúnṣeỌkọ̀ ojú omi PECVD graphite.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
Àwọ̀ fíìmù Si3N4 máa ń yípadà pẹ̀lú sísanra rẹ̀. Ní gbogbogbòò, sísanra tó dára jùlọ wà láàrín 75 sí 80 nm, èyí tó dà bí àwọ̀ búlúù dúdú. Àtọ́ka sísísísísísísísísísísísísísísísísísísì Si3N4 dára jùlọ láàrín 2.0 àti 2.5. A sábà máa ń lo ọtí láti wọn àtọ́ka sísí ...
Ipa passivation dada ti o tayọ, iṣẹ ṣiṣe anti-reflection opitika ti o munadoko (ibaramu itọka refractive nipọn), ilana iwọn otutu kekere (dinku awọn idiyele ni imunadoko), ati awọn ions H ti a ṣẹda passivate dada wafer silicon.
3. Àwọn ọ̀ràn tó wọ́pọ̀ nínú iṣẹ́ ìkọ́lé ìbòrí
Fíìmù náà nípọn:
Àkókò ìfipamọ́ fíìmù yàtọ̀ síra fún àwọn ìwúwo tó yàtọ̀ síra. Àkókò ìfipamọ́ fíìmù náà gbọ́dọ̀ pọ̀ sí i tàbí kí ó dínkù ní ìbámu pẹ̀lú àwọ̀ ìbòrí náà. Tí fíìmù náà bá funfun, àkókò ìfipamọ́ náà gbọ́dọ̀ dínkù. Tí ó bá pupa, ó yẹ kí a mú un pọ̀ sí i dáadáa. A gbọ́dọ̀ fi gbogbo agbára ìfìpamọ́ fíìmù kọ̀ọ̀kan hàn, a kò sì ní jẹ́ kí àwọn ọjà tó ní àbùkù wọ inú ìlànà tó tẹ̀lé e. Fún àpẹẹrẹ, tí ìbòrí náà kò bá dára, bíi àwọn àmì àwọ̀ àti àmì omi, ó yẹ kí a yan ìfúnfun ojú ilẹ̀ tó wọ́pọ̀ jùlọ, ìyàtọ̀ àwọ̀, àti àwọn àmì funfun lórí ìlà ìṣiṣẹ́ náà ní àkókò. Fíìmù silicon nitride tó nípọn ló fa fífúnfun ojú ilẹ̀ náà, èyí tí a lè ṣàtúnṣe nípa ṣíṣe àtúnṣe àkókò ìfipamọ́ fíìmù náà; fíìmù ìyàtọ̀ àwọ̀ náà sábà máa ń jẹ́ nítorí ìdènà ọ̀nà gaasi, jíjó nínú tube quartz, ìkùnà microwave, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ; àwọn àmì funfun ni ó sábà máa ń jẹ́ nítorí àwọn àmì dúdú kékeré nínú ìlànà tó ti kọjá. Àbójútó ìfọ́mọ́, àtọ́ka ìfọ́mọ́, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ, ààbò àwọn gáàsì pàtàkì, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
Àwọn àmì funfun lórí ojú:
PECVD jẹ́ ilana pataki ninu awọn sẹẹli oorun ati itọkasi pataki ti ṣiṣe awọn sẹẹli oorun ile-iṣẹ kan. Ilana PECVD nigbagbogbo n ṣiṣẹ, ati pe o nilo lati ṣe abojuto ipele kọọkan ti awọn sẹẹli. Ọpọlọpọ awọn tube ina ti a fi awọ bo wa, ati pe tube kọọkan nigbagbogbo ni ọgọọgọrun awọn sẹẹli (da lori ẹrọ naa). Lẹhin iyipada awọn paramita ilana, iyipo idaniloju naa gun. Imọ-ẹrọ ti a fi awọ bo jẹ imọ-ẹrọ ti gbogbo ile-iṣẹ fọtovoltaic ṣe pataki si. A le mu ṣiṣe awọn sẹẹli oorun dara si nipa imudarasi imọ-ẹrọ ti a fi awọ bo. Ni ọjọ iwaju, imọ-ẹrọ dada sẹẹli oorun le di ilọsiwaju ninu ṣiṣe ti imọ-jinlẹ ti awọn sẹẹli oorun.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kejìlá-23-2024