Taba ea pele, re hloka ho tsebaPECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Plasma ke ho matlafala ha motsamao wa mocheso wa dimolek'hule tsa thepa. Ho thulana ha tsona ho tla etsa hore dimolek'hule tsa khase di fetolwe di-ion, mme thepa e tla fetoha motswako wa di-ion tse ntle tse tsamayang ka bolokolohi, dielektrone le dikarolwana tse sa nke lehlakore tse sebelisanang.
Ho hakanngoa hore sekhahla sa tahlehelo ea khanya ea khanya holim'a silicon se phahame hoo e ka bang 35%. Filimi e thibelang ho bonahatsa e ka ntlafatsa haholo sekhahla sa ts'ebeliso ea leseli la letsatsi ke sele ea betri, e leng se thusang ho eketsa bongata ba hona joale bo hlahisoang ke photogenerated mme ka hona ho ntlafatsa katleho ea phetoho. Ka nako e ts'oanang, haedrojene e filiming e fetisa bokaholimo ba sele ea betri, e fokotsa sekhahla sa ho kopanya bokaholimo ba komporo ea emitter, e fokotsa hona joale e lefifi, e eketsa motlakase oa potoloho e bulehileng, 'me e ntlafatsa katleho ea phetoho ea photoelectric. Ho kenella ha mocheso o phahameng hang-hang ts'ebetsong ea ho chesa ho roba litlamo tse ling tsa Si-H le NH, 'me H e lokolotsoeng e matlafatsa ho feta ho fetisa ha betri.
Kaha thepa ea silicon ea sehlopha sa photovoltaic e na le litšila le mefokolo e mengata ka ho sa feleng, nako ea bophelo ea sesebelisoa sa ho jara le ho hasana ha silicon e fokotsehile, e leng se fellang ka phokotseho ea katleho ea phetoho ea betri. H e ka arabela le mefokolo kapa litšila ka silicon, ka hona e fetisetsa sehlopha sa matla ka har'a lekhalo la bandgap ho sehlopha sa valence kapa sehlopha sa conduction.
1. Molao-motheo oa PECVD
Sistimi ea PECVD ke letoto la lijenereithara tse sebelisangSekepe sa graphite sa PECVD le di-exciters tsa plasma tse nang le maqhubu a phahameng. Jenereithara ya plasma e kentswe ka ho toba bohareng ba poleiti ya ho roala ho arabela tlasa kgatello e tlase le mocheso o phahameng. Dikhase tse sebetsang tse sebediswang ke silane SiH4 le ammonia NH3. Dikhase tsena di sebetsa hodima silicon nitride e bolokilweng hodima wafer ya silicon. Di-indices tse fapaneng tsa refractive di ka fumanwa ka ho fetola karolelano ya silane ho ammonia. Nakong ya tshebetso ya ho bewa, palo e kgolo ya diathomo tsa hydrogen le di-ion tsa hydrogen di a hlahiswa, e leng se etsang hore ho se sebetse ha hydrogen ha wafer ho be ntle haholo. Ka hara vacuum le mocheso o potolohileng wa 480 degrees Celsius, lera la SixNy le kwahetswe hodima wafer ya silicon ka ho tsamaisaSekepe sa graphite sa PECVD.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
'Mala oa filimi ea Si3N4 oa fetoha ka botenya ba eona. Ka kakaretso, botenya bo loketseng bo pakeng tsa 75 le 80 nm, e leng se bonahalang se le putsoa bo lefifi. Tekanyo ea refractive ea filimi ea Si3N4 e molemo ka ho fetisisa pakeng tsa 2.0 le 2.5. Hangata joala bo sebelisoa ho lekanya index ea eona ea refractive.
Tšusumetso e ntle ea ho fetisa khanya holim'a metsi, ts'ebetso e sebetsang hantle ea ho thibela ponahalo ea mahlo (ho bapisa botenya ba index ea refractive), ts'ebetso ea mocheso o tlase (e fokotsa litšenyehelo ka katleho), le li-ion tsa H tse hlahisitsoeng li fetisa khanya holim'a silicon wafer.
3. Litaba tse tloaelehileng setsing sa ho betla
Botenya ba filimi:
Nako ea ho beha filimi e fapane bakeng sa botenya bo fapaneng. Nako ea ho beha filimi e lokela ho eketsoa kapa ho fokotsoa ka nepo ho latela 'mala oa seaparo. Haeba filimi e le tšoeu, nako ea ho beha filimi e lokela ho fokotsoa. Haeba e le khubelu, e lokela ho eketsoa ka nepo. Seketsoana se seng le se seng sa lifilimi se lokela ho netefatsoa ka botlalo, 'me lihlahisoa tse nang le sekoli ha li lumelloe ho phalla ts'ebetsong e latelang. Mohlala, haeba seaparo se le mpe, joalo ka matheba a mebala le matšoao a metsi, ho soeufala ho tloaelehileng ha bokaholimo, phapang ea 'mala, le matheba a masoeu moleng oa tlhahiso li lokela ho khethoa ka nako. Ho soeufala ha bokaholimo ho bakoa haholo-holo ke filimi e teteaneng ea silicon nitride, e ka fetoloang ka ho fetola nako ea ho beha filimi; filimi ea phapang ea 'mala e bakoa haholo-holo ke ho thijoa ha tsela ea khase, ho lutla ha tube ea quartz, ho hloleha ha microwave, jj.; matheba a masoeu a bakoa haholo-holo ke matheba a manyane a matšo ts'ebetsong e fetileng. Ho beha leihlo ho bonahatsa, index ea refractive, jj., polokeho ea likhase tse khethehileng, jj.
Matheba a masoeu holim'a metsi:
PECVD ke ts'ebetso ea bohlokoa liseleng tsa letsatsi 'me ke sesupo sa bohlokoa sa katleho ea lisele tsa letsatsi tsa k'hamphani. Ts'ebetso ea PECVD ka kakaretso e maphathaphathe, 'me sehlopha se seng le se seng sa lisele se hloka ho beoa leihlo. Ho na le liphaephe tse ngata tsa setofo sa ho koahela, 'me phaephe ka 'ngoe ka kakaretso e na le lisele tse makholo (ho latela lisebelisoa). Kamora ho fetola liparamente tsa ts'ebetso, potoloho ea netefatso e telele. Theknoloji ea ho koahela ke theknoloji eo indasteri eohle ea photovoltaic e e nkang e le ea bohlokoa haholo. Bokhoni ba lisele tsa letsatsi bo ka ntlafatsoa ka ho ntlafatsa theknoloji ea ho koahela. Nakong e tlang, theknoloji ea bokaholimo ba lisele tsa letsatsi e ka ba tsoelo-pele katlehong ea khopolo-taba ea lisele tsa letsatsi.
Nako ea poso: Tshitwe-23-2024