સૌ પ્રથમ, આપણે જાણવાની જરૂર છે કેપીઈસીવીડી(પ્લાઝ્મા ઉન્નત રાસાયણિક વરાળ નિક્ષેપ). પ્લાઝ્મા એ પદાર્થના અણુઓની થર્મલ ગતિનું તીવ્રકરણ છે. તેમની વચ્ચેના અથડામણથી વાયુના અણુઓનું આયનીકરણ થશે, અને પદાર્થ મુક્તપણે ફરતા હકારાત્મક આયનો, ઇલેક્ટ્રોન અને તટસ્થ કણોનું મિશ્રણ બનશે જે એકબીજા સાથે ક્રિયાપ્રતિક્રિયા કરે છે.
એવો અંદાજ છે કે સિલિકોન સપાટી પર પ્રકાશનો પ્રતિબિંબ નુકશાન દર લગભગ 35% જેટલો ઊંચો છે. પ્રતિબિંબ વિરોધી ફિલ્મ બેટરી સેલ દ્વારા સૌર પ્રકાશના ઉપયોગ દરમાં ઘણો સુધારો કરી શકે છે, જે ફોટોજનરેટેડ વર્તમાન ઘનતા વધારવામાં મદદ કરે છે અને આમ રૂપાંતર કાર્યક્ષમતામાં સુધારો કરે છે. તે જ સમયે, ફિલ્મમાં રહેલો હાઇડ્રોજન બેટરી સેલની સપાટીને નિષ્ક્રિય કરે છે, ઉત્સર્જક જંકશનના સપાટીના પુનઃસંયોજન દર ઘટાડે છે, શ્યામ પ્રવાહ ઘટાડે છે, ઓપન સર્કિટ વોલ્ટેજ વધારે છે અને ફોટોઇલેક્ટ્રિક રૂપાંતર કાર્યક્ષમતામાં સુધારો કરે છે. બર્ન-થ્રુ પ્રક્રિયામાં ઉચ્ચ-તાપમાન તાત્કાલિક એનિલિંગ કેટલાક Si-H અને NH બોન્ડ્સને તોડે છે, અને મુક્ત H બેટરીના નિષ્ક્રિયતાને વધુ મજબૂત બનાવે છે.
ફોટોવોલ્ટેઇક-ગ્રેડ સિલિકોન સામગ્રીમાં અનિવાર્યપણે મોટી માત્રામાં અશુદ્ધિઓ અને ખામીઓ હોવાથી, સિલિકોનમાં લઘુમતી વાહક જીવનકાળ અને પ્રસરણ લંબાઈ ઓછી થાય છે, જેના પરિણામે બેટરીની રૂપાંતર કાર્યક્ષમતામાં ઘટાડો થાય છે. H સિલિકોનમાં ખામીઓ અથવા અશુદ્ધિઓ સાથે પ્રતિક્રિયા આપી શકે છે, જેનાથી બેન્ડગેપમાં રહેલા ઊર્જા બેન્ડને વેલેન્સ બેન્ડ અથવા વહન બેન્ડમાં સ્થાનાંતરિત કરી શકાય છે.
1. PECVD સિદ્ધાંત
PECVD સિસ્ટમ એ જનરેટરની શ્રેણી છે જેનો ઉપયોગ કરે છેPECVD ગ્રેફાઇટ બોટ અને ઉચ્ચ-આવર્તન પ્લાઝ્મા ઉત્તેજકો. પ્લાઝ્મા જનરેટર સીધા કોટિંગ પ્લેટની મધ્યમાં સ્થાપિત થયેલ છે જેથી તે નીચા દબાણ અને ઊંચા તાપમાને પ્રતિક્રિયા આપે. ઉપયોગમાં લેવાતા સક્રિય વાયુઓ સિલેન SiH4 અને એમોનિયા NH3 છે. આ વાયુઓ સિલિકોન વેફર પર સંગ્રહિત સિલિકોન નાઇટ્રાઇડ પર કાર્ય કરે છે. સિલેન અને એમોનિયાના ગુણોત્તરમાં ફેરફાર કરીને વિવિધ રીફ્રેક્ટિવ સૂચકાંકો મેળવી શકાય છે. ડિપોઝિશન પ્રક્રિયા દરમિયાન, મોટી માત્રામાં હાઇડ્રોજન અણુઓ અને હાઇડ્રોજન આયન ઉત્પન્ન થાય છે, જે વેફરનું હાઇડ્રોજન નિષ્ક્રિયકરણ ખૂબ જ સારી બનાવે છે. શૂન્યાવકાશ અને 480 ડિગ્રી સેલ્સિયસના આસપાસના તાપમાનમાં, સિલિકોન વેફરની સપાટી પર સિક્સએનવાયનો એક સ્તર કોટેડ થાય છે.PECVD ગ્રેફાઇટ બોટ.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
Si3N4 ફિલ્મનો રંગ તેની જાડાઈ સાથે બદલાય છે. સામાન્ય રીતે, આદર્શ જાડાઈ 75 થી 80 nm ની વચ્ચે હોય છે, જે ઘેરો વાદળી દેખાય છે. Si3N4 ફિલ્મનો રીફ્રેક્ટિવ ઇન્ડેક્સ 2.0 અને 2.5 ની વચ્ચે શ્રેષ્ઠ છે. તેના રીફ્રેક્ટિવ ઇન્ડેક્સને માપવા માટે સામાન્ય રીતે આલ્કોહોલનો ઉપયોગ થાય છે.
ઉત્તમ સપાટી નિષ્ક્રિયકરણ અસર, કાર્યક્ષમ ઓપ્ટિકલ એન્ટિ-રિફ્લેક્શન કામગીરી (જાડાઈ રીફ્રેક્ટિવ ઇન્ડેક્સ મેચિંગ), નીચા તાપમાન પ્રક્રિયા (અસરકારક રીતે ખર્ચ ઘટાડે છે), અને ઉત્પન્ન થયેલ H આયનો સિલિકોન વેફર સપાટીને નિષ્ક્રિય કરે છે.
૩. કોટિંગ વર્કશોપમાં સામાન્ય બાબતો
ફિલ્મની જાડાઈ:
વિવિધ ફિલ્મ જાડાઈ માટે ડિપોઝિશન સમય અલગ અલગ હોય છે. કોટિંગના રંગ અનુસાર ડિપોઝિશન સમય યોગ્ય રીતે વધારવો અથવા ઘટાડવો જોઈએ. જો ફિલ્મ સફેદ હોય, તો ડિપોઝિશન સમય ઘટાડવો જોઈએ. જો તે લાલ રંગની હોય, તો તે યોગ્ય રીતે વધારવો જોઈએ. ફિલ્મની દરેક બોટની સંપૂર્ણ પુષ્ટિ થવી જોઈએ, અને ખામીયુક્ત ઉત્પાદનોને આગામી પ્રક્રિયામાં વહેવા દેવામાં આવતા નથી. ઉદાહરણ તરીકે, જો કોટિંગ ખરાબ હોય, જેમ કે રંગના ફોલ્લીઓ અને વોટરમાર્ક, તો સૌથી સામાન્ય સપાટી સફેદ થવી, રંગ તફાવત અને ઉત્પાદન લાઇન પર સફેદ ફોલ્લીઓ સમયસર પસંદ કરવી જોઈએ. સપાટી સફેદ થવી મુખ્યત્વે જાડા સિલિકોન નાઇટ્રાઇડ ફિલ્મને કારણે થાય છે, જેને ફિલ્મ ડિપોઝિશન સમયને સમાયોજિત કરીને ગોઠવી શકાય છે; રંગ તફાવત ફિલ્મ મુખ્યત્વે ગેસ પાથ બ્લોકેજ, ક્વાર્ટઝ ટ્યુબ લિકેજ, માઇક્રોવેવ નિષ્ફળતા, વગેરેને કારણે થાય છે; સફેદ ફોલ્લીઓ મુખ્યત્વે પાછલી પ્રક્રિયામાં નાના કાળા ફોલ્લીઓને કારણે થાય છે. પ્રતિબિંબ, રીફ્રેક્ટિવિટી ઇન્ડેક્સ, વગેરેનું નિરીક્ષણ, ખાસ વાયુઓની સલામતી, વગેરે.
સપાટી પર સફેદ ફોલ્લીઓ:
PECVD એ સૌર કોષોમાં પ્રમાણમાં મહત્વપૂર્ણ પ્રક્રિયા છે અને કંપનીના સૌર કોષોની કાર્યક્ષમતાનું એક મહત્વપૂર્ણ સૂચક છે. PECVD પ્રક્રિયા સામાન્ય રીતે વ્યસ્ત હોય છે, અને કોષોના દરેક બેચ પર દેખરેખ રાખવાની જરૂર હોય છે. ઘણી કોટિંગ ફર્નેસ ટ્યુબ હોય છે, અને દરેક ટ્યુબમાં સામાન્ય રીતે સેંકડો કોષો હોય છે (સાધનોના આધારે). પ્રક્રિયા પરિમાણો બદલ્યા પછી, ચકાસણી ચક્ર લાંબો હોય છે. કોટિંગ ટેકનોલોજી એ એક એવી ટેકનોલોજી છે જેને સમગ્ર ફોટોવોલ્ટેઇક ઉદ્યોગ ખૂબ મહત્વ આપે છે. કોટિંગ ટેકનોલોજીમાં સુધારો કરીને સૌર કોષોની કાર્યક્ષમતામાં સુધારો કરી શકાય છે. ભવિષ્યમાં, સૌર કોષ સપાટી ટેકનોલોજી સૌર કોષોની સૈદ્ધાંતિક કાર્યક્ષમતામાં એક સફળતા બની શકે છે.
પોસ્ટ સમય: ડિસેમ્બર-23-2024