سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪس: سيمي ڪنڊڪٽر عملن لاءِ ضروري درستگي وارا جزا

فوٽو ليٿوگرافي ٽيڪنالاجي بنيادي طور تي سلڪون ويفرز تي سرڪٽ جي نمونن کي ظاهر ڪرڻ لاءِ آپٽيڪل سسٽم استعمال ڪرڻ تي ڌيان ڏئي ٿي. هن عمل جي درستگي سڌو سنئون انٽيگريٽڊ سرڪٽ جي ڪارڪردگي ۽ پيداوار تي اثر انداز ٿئي ٿي. چپ جي پيداوار لاءِ اعليٰ سامان مان هڪ جي طور تي، ليٿوگرافي مشين ۾ سوين هزارين جزا شامل آهن. ليٿوگرافي سسٽم اندر آپٽيڪل حصن ۽ اجزاء ٻنهي کي سرڪٽ جي ڪارڪردگي ۽ درستگي کي يقيني بڻائڻ لاءِ انتهائي اعليٰ درستگي جي ضرورت آهي.سي سي سيرامڪس۾ استعمال ڪيا ويا آهنويفر چڪس۽ سيرامڪ چورس آئينا.

ويفر چڪلٿوگرافي مشين ۾ ويفر چڪ نمائش جي عمل دوران ويفر کي برداشت ڪري ٿو ۽ منتقل ڪري ٿو. ويفر جي مٿاڇري تي نموني کي صحيح طور تي نقل ڪرڻ لاءِ ويفر ۽ چڪ جي وچ ۾ صحيح ترتيب ضروري آهي.سي سي ويفرچڪس پنهنجي هلڪي وزن، اعليٰ طول و عرض جي استحڪام ۽ گهٽ حرارتي توسيع جي کوٽائي لاءِ سڃاتا وڃن ٿا، جيڪي انرشيل لوڊ کي گهٽائي سگهن ٿا ۽ حرڪت جي ڪارڪردگي، پوزيشننگ جي درستگي ۽ استحڪام کي بهتر بڻائي سگهن ٿا.

سيرامڪ چورس آئينو لٿوگرافي مشين ۾، ويفر چڪ ۽ ماسڪ اسٽيج جي وچ ۾ حرڪت جي هم وقت سازي انتهائي اهم آهي، جيڪا سڌو سنئون لٿوگرافي جي درستگي ۽ پيداوار تي اثر انداز ٿئي ٿي. چورس ريفلڪٽر ويفر چڪ اسڪيننگ پوزيشننگ فيڊ بيڪ ماپ سسٽم جو هڪ اهم جزو آهي، ۽ ان جي مواد جون گهرجون هلڪو ۽ سخت آهن. جيتوڻيڪ سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪس ۾ مثالي هلڪو وزن جون خاصيتون آهن، پر اهڙن حصن جي پيداوار چئلينجنگ آهي. في الحال، معروف بين الاقوامي انٽيگريٽڊ سرڪٽ سامان ٺاهيندڙ بنيادي طور تي فيوزڊ سليڪا ۽ ڪارڊيئرائٽ جهڙا مواد استعمال ڪندا آهن. بهرحال، ٽيڪنالاجي جي ترقي سان، چيني ماهرن وڏي سائيز، پيچيده شڪل، انتهائي هلڪو وزن، مڪمل طور تي بند ٿيل سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ چورس آئيني ۽ فوٽو ليٿوگرافي مشينن لاءِ ٻين فنڪشنل آپٽيڪل حصن جي تياري حاصل ڪئي آهي. فوٽو ماسڪ، جنهن کي ايپرچر پڻ چيو ويندو آهي، فوٽو حساس مواد تي هڪ نمونو ٺاهڻ لاءِ ماسڪ ذريعي روشني منتقل ڪري ٿو. بهرحال، جڏهن EUV روشني ماسڪ کي روشن ڪري ٿي، ته اهو گرمي خارج ڪري ٿو، گرمي پد کي 600 کان 1000 درجا سينٽي گريڊ تائين وڌائي ٿو، جيڪو حرارتي نقصان جو سبب بڻجي سگهي ٿو. تنهن ڪري، SiC فلم جي هڪ پرت عام طور تي فوٽو ماسڪ تي جمع ڪئي ويندي آهي. ڪيتريون ئي پرڏيهي ڪمپنيون، جهڙوڪ ASML، هاڻي 90 سيڪڙو کان وڌيڪ ٽرانسميشن سان فلمون پيش ڪن ٿيون ته جيئن فوٽو ماسڪ جي استعمال دوران صفائي ۽ معائنو گهٽجي وڃي ۽ EUV فوٽو ليٿوگرافي مشينن جي ڪارڪردگي ۽ پيداوار جي پيداوار کي بهتر بڻائي سگهجي.

پلازما ايچنگ۽ ڊپوزيشن فوٽو ماسڪ، جن کي ڪراس هيئر پڻ چيو ويندو آهي، انهن جو مکيه ڪم ماسڪ ذريعي روشني منتقل ڪرڻ ۽ فوٽو حساس مواد تي هڪ نمونو ٺاهڻ آهي. جڏهن ته، جڏهن EUV (انتهائي الٽراوائليٽ) روشني فوٽو ماسڪ کي روشن ڪري ٿي، ته اهو گرمي خارج ڪري ٿو، جنهن سان گرمي پد 600 ۽ 1000 درجا سينٽي گريڊ تائين وڌي ٿو، جيڪو حرارتي نقصان جو سبب بڻجي سگهي ٿو. تنهن ڪري، سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) فلم جي هڪ پرت عام طور تي هن مسئلي کي گهٽائڻ لاءِ فوٽو ماسڪ تي جمع ڪئي ويندي آهي. هن وقت، ڪيتريون ئي پرڏيهي ڪمپنيون، جهڙوڪ ASML، فوٽو ماسڪ جي استعمال دوران صفائي ۽ معائني جي ضرورت کي گهٽائڻ لاءِ 90٪ کان وڌيڪ شفافيت سان فلمون فراهم ڪرڻ شروع ڪيون آهن، جنهن سان EUV ليٿوگرافي مشينن جي ڪارڪردگي ۽ پيداوار جي پيداوار بهتر ٿي رهي آهي. پلازما ايچنگ ۽جمع ڪرڻ جو ڌيان ڏيڻ وارو رنگ۽ ٻيا سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾، ايچنگ جي عمل ۾ مائع يا گيس ايچينٽس (جهڙوڪ فلورين تي مشتمل گيسون) استعمال ڪيا ويندا آهن جيڪي پلازما ۾ آئنائيز ڪيا ويندا آهن ته جيئن ويفر تي بمباري ڪري سگهجي ۽ چونڊيل طور تي ناپسنديده مواد کي هٽايو وڃي جيستائين گهربل سرڪٽ جو نمونو نه رهي.ويفرمٿاڇري. ان جي ابتڙ، پتلي فلم جمع ڪرڻ ايچنگ جي الٽي پاسي وانگر آهي، هڪ جمع ڪرڻ جو طريقو استعمال ڪندي ڌاتو جي تہن جي وچ ۾ موصلي مواد کي اسٽيڪ ڪرڻ لاءِ هڪ پتلي فلم ٺاهڻ لاءِ. ڇاڪاڻ ته ٻئي عمل پلازما ٽيڪنالاجي استعمال ڪندا آهن، اهي چيمبرن ۽ حصن تي corrosive اثرات جو شڪار هوندا آهن. تنهن ڪري، سامان جي اندر حصن کي سٺي پلازما مزاحمت، فلورين ايچنگ گيسن جي گهٽ رد عمل، ۽ گهٽ چالکائي جي ضرورت هوندي آهي. روايتي ايچنگ ۽ جمع ڪرڻ جي سامان جا حصا، جهڙوڪ فوڪس رِنگز، عام طور تي سلڪون يا ڪوارٽز جهڙن مواد مان ٺهيل آهن. بهرحال، انٽيگريٽڊ سرڪٽ مينيچرائيزيشن جي ترقي سان، انٽيگريٽڊ سرڪٽ جي پيداوار ۾ ايچنگ جي عملن جي طلب ۽ اهميت وڌي رهي آهي. خوردبيني سطح تي، درست سلڪون ويفر ايچنگ کي ننڍين لائين ويڪر ۽ وڌيڪ پيچيده ڊوائيس جي جوڙجڪ حاصل ڪرڻ لاءِ اعليٰ توانائي پلازما جي ضرورت هوندي آهي. تنهن ڪري، ڪيميائي وانپ ڊيپوزيشن (CVD) سلڪون ڪاربائڊ (SiC) بتدريج پنهنجي بهترين جسماني ۽ ڪيميائي خاصيتن، اعليٰ پاڪائي ۽ هڪجهڙائي سان ايچنگ ۽ جمع ڪرڻ جي سامان لاءِ ترجيحي ڪوٽنگ مواد بڻجي ويو آهي. هن وقت، ايچنگ سامان ۾ CVD سلڪون ڪاربائڊ اجزاء ۾ فوڪس رِنگز، گيس شاور هيڊ، ٽري ۽ ايج رِنگز شامل آهن. جمع ڪرڻ جي سامان ۾، چيمبر ڪَوَر، چيمبر لائنر ۽ آهنSIC-ڪوٽيڊ گريفائيٽ سبسٽريٽس.

ڪلورين ۽ فلورين ايچنگ گيسن جي گهٽ رد عمل ۽ چالکائي جي ڪري،سي وي ڊي سلڪون ڪاربائيڊپلازما ايچنگ سامان ۾ فوڪس رِنگز جهڙن حصن لاءِ هڪ مثالي مواد بڻجي چڪو آهي.سي وي ڊي سلڪون ڪاربائيڊايچنگ سامان ۾ موجود حصن ۾ فوڪس رِنگز، گيس شاور هيڊز، ٽري، ايج رِنگز وغيره شامل آهن. مثال طور فوڪس رِنگز وٺو، اهي اهم جزا آهن جيڪي ويفر کان ٻاهر ۽ ويفر سان سڌو رابطي ۾ رکيل آهن. رنگ تي وولٽيج لاڳو ڪرڻ سان، پلازما رنگ ذريعي ويفر تي مرڪوز ڪيو ويندو آهي، جنهن سان عمل جي هڪجهڙائي بهتر ٿيندي آهي. روايتي طور تي، فوڪس رِنگز سلڪون يا ڪوارٽز مان ٺهيل آهن. جڏهن ته، جيئن انٽيگريٽڊ سرڪٽ ميني ايچرائيزيشن اڳتي وڌندي آهي، انٽيگريٽڊ سرڪٽ جي پيداوار ۾ ايچنگ جي عملن جي طلب ۽ اهميت وڌندي رهندي آهي. پلازما ايچنگ پاور ۽ توانائي جون گهرجون وڌنديون رهنديون آهن، خاص طور تي ڪيپيسٽيولي ڪوپلڊ پلازما (سي سي پي) ايچنگ سامان ۾، جنهن کي وڌيڪ پلازما توانائي جي ضرورت هوندي آهي. نتيجي طور، سلڪون ڪاربائيڊ مواد مان ٺهيل فوڪس رِنگز جو استعمال وڌي رهيو آهي.