Teknụzụ fotolithography na-elekwasị anya na iji sistemụ anya iji kpughee ụkpụrụ sekit na wafer silicon. Izi ezi nke usoro a na-emetụta arụmọrụ na mmepụta nke sekit agbakọtara. Dịka otu n'ime akụrụngwa kachasị elu maka imepụta chip, igwe lithography nwere ihe ruru narị puku narị. Ma akụkụ anya na ihe ndị dị n'ime sistemụ lithography chọrọ ezigbo nkenke iji hụ na arụmọrụ na izi ezi nke sekit ahụ.Seramiki SiCejirila mee ihe nawafer chucksna enyo seramiiki square.
Ọkpọ WaferỌkpọ wafer dị n'ime igwe lithography na-ebu ma na-ebugharị wafer ahụ n'oge a na-ekpughe ya. Nhazi ziri ezi dị n'etiti wafer na chuck dị mkpa iji mee ka usoro ahụ dị n'elu wafer ahụ nke ọma.Wafer SiCA maara chucks maka nkwụsi ike ha dị fechaa, nke dị elu na obere mmụba okpomọkụ, nke nwere ike ibelata ibu inertial ma melite arụmọrụ mmegharị, izi ezi na nkwụsi ike n'ọnọdụ.
Enyo seramiiki. N'ime igwe lithography, njikọ mmegharị n'etiti wafer chuck na ogbo ihe mkpuchi ihu dị oke mkpa, nke na-emetụta kpọmkwem izi ezi na mmepụta lithography. Ihe ngosi square bụ akụkụ dị mkpa nke sistemụ nha nzaghachi nhazi wafer chuck, ihe achọrọ ya dịkwa mfe ma sie ike. Ọ bụ ezie na seramiiki silicon carbide nwere ihe ndị dị mfe dị mma, imepụta ihe ndị dị otú ahụ siri ike. Ugbu a, ndị na-emepụta akụrụngwa sekit agbakwunyere mba ụwa na-ejikarị ihe dị ka fused silica na cordierite. Agbanyeghị, site na ọganihu nke teknụzụ, ndị ọkachamara China enwetala imepụta enyo seramiiki silicon carbide buru ibu, nke dị mgbagwoju anya, nke dị fechaa, nke zuru oke, nke zuru oke na ihe ndị ọzọ na-arụ ọrụ maka igwe photolithography. Ihe mkpuchi foto, nke a makwaara dị ka oghere, na-ebufe ìhè site na ihe mkpuchi ihu iji mepụta ụkpụrụ na ihe na-emetụta foto. Agbanyeghị, mgbe ìhè EUV na-enwu ihe mkpuchi ihu, ọ na-ewepụta okpomọkụ, na-ebuli okpomọkụ ruo ogo 600 ruo 1000 Celsius, nke nwere ike ibute mmebi okpomọkụ. Ya mere, a na-etinyekarị oyi akwa nke ihe nkiri SiC na ihe mkpuchi ihu. Ọtụtụ ụlọ ọrụ mba ofesi, dịka ASML, na-enye ihe nkiri nwere ihe karịrị 90% iji belata nhicha na nyocha n'oge eji ihe mkpuchi foto ma melite arụmọrụ na mmepụta ngwaahịa nke igwe fotolithography EUV.
Ịcha Plasmana ihe mkpuchi foto, nke a makwaara dị ka ihe mkpuchi ihu, nwere ọrụ bụ isi nke izipu ìhè site na ihe mkpuchi ahụ ma mepụta ụkpụrụ na ihe na-eme ka foto sie ike. Agbanyeghị, mgbe ìhè EUV (oke ultraviolet) na-enwu ihe mkpuchi foto, ọ na-ewepụta okpomọkụ, na-ebuli okpomọkụ ahụ ruo n'etiti ogo Celsius 600 na 1000, nke nwere ike ibute mmebi okpomọkụ. Ya mere, a na-etinyekarị ihe mkpuchi silicon carbide (SiC) na ihe mkpuchi foto iji belata nsogbu a. Ugbu a, ọtụtụ ụlọ ọrụ mba ofesi, dị ka ASML, amalitela inye ihe nkiri ihe ngosi nke ihe karịrị 90% iji belata mkpa ọ dị ihicha na inyocha n'oge eji ihe mkpuchi foto, si otú a na-eme ka arụmọrụ na mmepụta ngwaahịa nke igwe lithography EUV ka mma. Ịcha Plasma naMgbaaka Ndozi Nchekwana ndị ọzọ N'ime mmepụta semiconductor, usoro ịkpụcha ihe na-eji ihe e ji mmiri mmiri ma ọ bụ gas (dịka gas nwere fluorine) nke e tinyere ion n'ime plasma iji tụba wafer ahụ ma wepụ ihe ndị a na-achọghị nke ọma ruo mgbe usoro sekit achọrọ ka dị na ya.waferelu. N'ụzọ dị iche, ihe mkpuchi dị gịrịgịrị yiri akụkụ azụ nke ihe mkpuchi, na-eji usoro ihe mkpuchi iji tinye ihe mkpuchi n'etiti akwa ígwè iji mepụta ihe mkpuchi dị gịrịgịrị. Ebe ọ bụ na usoro abụọ a na-eji teknụzụ plasma, ha na-enwekarị mmetụta na-emebi emebi na ụlọ na akụkụ. Ya mere, ihe ndị dị n'ime akụrụngwa a chọrọ ka ha nwee ezigbo iguzogide plasma, obere mmeghachi omume na gas ihe mkpuchi fluorine, na obere conductivity. A na-ejikarị ihe ndị dị n'ime ihe mkpuchi na ihe mkpuchi ọdịnala, dị ka mgbaaka ihe mkpuchi, eme ihe dịka silicon ma ọ bụ quartz. Agbanyeghị, na ọganihu nke obere sekit agbakwunyere, ọchịchọ na mkpa nke usoro ihe mkpuchi na mmepụta sekit agbakwunyere na-abawanye. Na ọkwa microscopic, ihe mkpuchi silicon wafer ziri ezi chọrọ plasma ike dị elu iji nweta obere obosara ahịrị na nhazi ngwaọrụ dị mgbagwoju anya karị. Ya mere, ihe mkpuchi kemịkalụ (CVD) silicon carbide (SiC) aghọọla ihe mkpuchi kachasị mma maka ihe mkpuchi na ihe mkpuchi yana ihe onwunwe anụ ahụ na kemịkalụ ya dị mma, ịdị ọcha dị elu na otu. Ugbu a, ihe CVD silicon carbide na akụrụngwa ihe mkpuchi gụnyere mgbaaka ihe mkpuchi, isi ịsa ahụ gas, tray na mgbaaka ọnụ. N'ime ngwa nchekwa ihe, enwere mkpuchi ụlọ, ihe mkpuchi ụlọ naIhe ndị e ji graphite kpuchie SIC.
N'ihi obere mmeghachi omume na ike ya na-enye gas ndị na-egweri chlorine na fluorine,Carbide silicon CVDaghọọla ihe dị mma maka ihe ndị dị ka mgbaaka lekwasịrị anya na ngwa e ji etinye ihe na plasma.Carbide silicon CVDIhe ndị dị na ngwa e ji emechi ihe gụnyere mgbanaka anya, isi mmiri ịsa ahụ gas, tray, mgbanaka ọnụ, wdg. Were mgbaaka anya dịka ihe atụ, ha bụ ihe ndị dị mkpa a na-etinye n'èzí wafer ma na-emetụ wafer ahụ aka ozugbo. Site n'itinye voltaji na mgbanaka ahụ, a na-elekwasị plasma anya site na mgbanaka ahụ na wafer ahụ, na-eme ka usoro ahụ dịkwuo mma. Dịka ọ dị na mbụ, a na-eji silicon ma ọ bụ quartz eme mgbaaka anya. Agbanyeghị, ka obere sekit agbakwunyere na-aga n'ihu, ọchịchọ na mkpa nke usoro e ji emechi ihe na mmepụta sekit agbakwunyere na-aga n'ihu na-abawanye. Ike na mkpa ike e ji emechi ihe na plasma na-aga n'ihu na-abawanye, karịsịa na ngwa e ji emechi ihe na plasma (CCP), nke chọrọ ike plasma dị elu. N'ihi ya, ojiji nke mgbaaka anya nke ejiri ihe silicon carbide mee na-amụba.
Oge ozi: Ọktoba-29-2024