كرېمنىي كاربىد كېرامىكىسى: يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەريانلىرى ئۈچۈن زۆرۈر بولغان ئېنىقلىق زاپچاسلىرى

فوتولىتوگرافىيە تېخنىكىسى ئاساسلىقى ئوپتىكىلىق سىستېمىلارنى ئىشلىتىپ كرېمنىيلىق تاختايلاردا توك يولى شەكىللىرىنى ئاشكارىلاشقا مەركەزلەشكەن. بۇ جەرياننىڭ توغرىلىقى بىۋاسىتە بىرلەشتۈرۈلگەن توك يولىنىڭ ئىقتىدارى ۋە ئۈنۈمىگە تەسىر كۆرسىتىدۇ. چىپ ئىشلەپچىقىرىشتىكى ئالدىنقى قاتاردىكى ئۈسكۈنىلەرنىڭ بىرى بولۇش سۈپىتى بىلەن، لىتوگرافىيە ماشىنىسى يۈز مىڭلىغان زاپچاسلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. ئوپتىكىلىق زاپچاسلار ۋە لىتوگرافىيە سىستېمىسىدىكى زاپچاسلارنىڭ ھەر ئىككىسى توك يولىنىڭ ئىقتىدارى ۋە توغرىلىقىنى كاپالەتلەندۈرۈش ئۈچۈن ئىنتايىن يۇقىرى ئېنىقلىقنى تەلەپ قىلىدۇ.SiC كېرامىكائىشلىتىلگەنۋافېر چاكلىرىۋە كېرامىكا چاسا ئەينەكلەر.

ۋافېر چاكىلىتوگرافىيە ماشىنىسىدىكى لېفتىلىق رەسىم تارتىش ماشىنىسى ئاشكارلاش جەريانىدا لېفتىنى كۆتۈرۈپ ھەرىكەتلەندۈرىدۇ. لېفتىلىق رەسىمنىڭ يۈزىدىكى نەقىشنى توغرا كۆپەيتىش ئۈچۈن، لېفتىلىق رەسىم بىلەن لېفتىلىق رەسىمنىڭ ئېنىق ماسلىشىشى ئىنتايىن مۇھىم.SiC ۋافلىسىچاق يېنىك، يۇقىرى ئۆلچەملىك مۇقىملىق ۋە تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى بىلەن داڭلىق، بۇ ئىنېرتسىيە يۈكىنى ئازايتىپ، ھەرىكەت ئۈنۈمى، ئورۇن بەلگىلەش ئېنىقلىقى ۋە مۇقىملىقىنى ياخشىلىيالايدۇ.

كېرامىك چاسا ئەينەك لىتوگرافىيە ماشىنىسىدا، ۋافېر چاق بىلەن ماسكا باسقۇچى ئوتتۇرىسىدىكى ھەرىكەت ماسلىشىشى ناھايىتى مۇھىم بولۇپ، بۇ لىتوگرافىيەنىڭ توغرىلىقى ۋە ئۈنۈمىگە بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ. چاسا ئەينەك ۋافېر چاق سىكانىرلاش ئورنى قايتۇرۇش ئۆلچەش سىستېمىسىنىڭ مۇھىم تەركىبىي قىسمى بولۇپ، ئۇنىڭ ماتېرىيال تەلىپى يېنىك ۋە قاتتىق. كرېمنىي كاربىد كېرامىكىسى ئەڭ ياخشى يېنىك خۇسۇسىيەتكە ئىگە بولسىمۇ، بۇ خىل زاپچاسلارنى ئىشلەپچىقىرىش قىيىن. ھازىر، خەلقئارادا ئالدىنقى قاتاردىكى بىر گەۋدىلەشكەن توك يولى ئۈسكۈنىلىرى ئىشلەپچىقارغۇچىلار ئاساسلىقى ئېرىتىلگەن كرېمنىي ۋە كوردىئېرىت قاتارلىق ماتېرىياللارنى ئىشلىتىدۇ. قانداقلا بولمىسۇن، تېخنىكىنىڭ تەرەققىي قىلىشىغا ئەگىشىپ، جۇڭگولۇق مۇتەخەسسىسلەر فوتولىتوگرافىيە ماشىنىلىرى ئۈچۈن چوڭ نومۇرلۇق، مۇرەككەپ شەكىللىك، ئىنتايىن يېنىك، تولۇق يېپىق كرېمنىي كاربىد كېرامىك چاسا ئەينەك ۋە باشقا ئىقتىدارلىق ئوپتىكىلىق زاپچاسلارنى ئىشلەپچىقىرىشنى ئەمەلگە ئاشۇردى. فوتو ماسكا، يەنى دىئافراگما، نۇرنى ماسكا ئارقىلىق ئۆتكۈزۈپ، نۇرغا سەزگۈر ماتېرىيالدا بىر خىل ئەندىزە ھاسىل قىلىدۇ. قانداقلا بولمىسۇن، EUV نۇرى ماسكىنى نۇرلاندۇرغاندا، ئىسسىقلىق تارقىتىپ، تېمپېراتۇرىنى 600 دىن 1000 سېلسىيە گرادۇسقىچە كۆتۈرىدۇ، بۇ ئىسسىقلىق زىيىنىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن. شۇڭا، ئادەتتە فوتو ماسكىغا بىر قەۋەت SiC پىلاستىنكىسى قويۇلىدۇ. ASML قاتارلىق نۇرغۇن چەتئەل شىركەتلىرى ھازىر فوتو ماسكىنى ئىشلىتىش جەريانىدا تازىلاش ۋە تەكشۈرۈشنى ئازايتىش، EUV فوتولىتوگرافىيە ماشىنىلىرىنىڭ ئۈنۈمى ۋە مەھسۇلات مىقدارىنى ئاشۇرۇش ئۈچۈن ئۆتكۈزۈشچانلىقى %90 تىن يۇقىرى بولغان پىلاستىنكىلارنى تەمىنلەۋاتىدۇ.

پلازما ئويۇشۋە چۆكمە فوتوماسكىلار، يەنە كرېست شەكىللىك دەپمۇ ئاتىلىدۇ، ئاساسلىق رولى ماسكا ئارقىلىق نۇر ئۆتكۈزۈش ۋە نۇرغا سەزگۈر ماتېرىيالدا شەكىل ھاسىل قىلىش. قانداقلا بولمىسۇن، EUV (ئېكسسېرۋىلفىرا نۇر) نۇرى فوتوماسكىغا چۈشكەندە، ئۇ ئىسسىقلىق تارقىتىپ، تېمپېراتۇرىنى 600 دىن 1000 سېلسىيە گرادۇسقىچە كۆتۈرىدۇ، بۇ ئىسسىقلىق زىيىنىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن. شۇڭا، بۇ مەسىلىنى ھەل قىلىش ئۈچۈن، ئادەتتە فوتوماسكىغا بىر قەۋەت كرېمنىي كاربىد (SiC) پەردىسى چۆكتۈرۈلىدۇ. ھازىر، ASML قاتارلىق نۇرغۇن چەتئەل شىركەتلىرى فوتوماسكىنىڭ ئىشلىتىلىش جەريانىدا تازىلاش ۋە تەكشۈرۈش ئېھتىياجىنى ئازايتىش ئۈچۈن، %90 تىن يۇقىرى سۈزۈكلۈككە ئىگە پەردىلەرنى تەمىنلەشكە باشلىدى، بۇ ئارقىلىق EUV لىتوگرافىيە ماشىنىلىرىنىڭ ئۈنۈمى ۋە مەھسۇلات مىقدارىنى ئاشۇردى. پلازما ئويۇش ۋەچۆكمە فوكۇس ھالقىسىۋە باشقىلار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا، ئويۇش جەريانى سۇيۇق ياكى گاز ئويۇش ماددىلارنى (مەسىلەن، فتور تەركىبلىك گازلار) ئىشلىتىپ، پلازماغا ئىئونلاشتۇرۇلغان ھالدا لېنتىنى بومباردىمان قىلىدۇ ۋە كېرەكلىك توك يولى شەكلى ئۆزگەرگۈچە كېرەكسىز ماتېرىياللارنى تاللاپ چىقىرىۋېتىدۇ.варельيۈزە. ئەكسىچە، نېپىز پەردە چۆكمىسى ئويۇشنىڭ تەتۈر تەرىپىگە ئوخشايدۇ، ئۇ يەردە مېتال قەۋەتلەر ئارىسىغا ئىزولياتورلۇق ماتېرىياللارنى يىغىپ نېپىز پەردە ھاسىل قىلىش ئۈچۈن چۆكمە ئۇسۇلى ئىشلىتىلىدۇ. ھەر ئىككى جەرياندا پلازما تېخنىكىسى قوللىنىلغاچقا، ئۇلار كامېرا ۋە زاپچاسلارغا چىرىش تەسىرىگە ئۇچرايدۇ. شۇڭا، ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىچىدىكى زاپچاسلارنىڭ ياخشى پلازما قارشىلىقى، فلور ئويۇش گازلىرىغا تۆۋەن رېئاكسىيەچانلىقى ۋە تۆۋەن ئۆتكۈزۈشچانلىقى بولۇشى تەلەپ قىلىنىدۇ. ئەنئەنىۋى ئويۇش ۋە چۆكمە ئۈسكۈنىلىرىنىڭ زاپچاسلىرى، مەسىلەن فوكۇس ھالقىسى، ئادەتتە كرېمنىي ياكى كۋارتس قاتارلىق ماتېرىياللاردىن ياسىلىدۇ. قانداقلا بولمىسۇن، ئىنتېگرال توك يولىنى كىچىكلىتىشنىڭ تەرەققىياتىغا ئەگىشىپ، ئىنتېگرال توك يولى ئىشلەپچىقىرىشتا ئويۇش جەريانلىرىنىڭ ئېھتىياجى ۋە ئەھمىيىتى ئاشماقتا. مىكروسكوپ سەۋىيىسىدە، ئېنىق كرېمنىي ۋاپپېر ئويۇش كىچىك سىزىق كەڭلىكى ۋە تېخىمۇ مۇرەككەپ ئۈسكۈنە قۇرۇلمىسىغا ئېرىشىش ئۈچۈن يۇقىرى ئېنېرگىيەلىك پلازما تەلەپ قىلىدۇ. شۇڭا، خىمىيىلىك پار چۆكمىسى (CVD) كرېمنىي كاربىدى (SiC) ئۆزىنىڭ ئېسىل فىزىكىلىق ۋە خىمىيىلىك خۇسۇسىيىتى، يۇقىرى ساپلىقى ۋە بىردەكلىكى بىلەن ئاستا-ئاستا ئويۇش ۋە چۆكمە ئۈسكۈنىلىرى ئۈچۈن ئەڭ ياخشى قاپلاش ماتېرىيالىغا ئايلاندى. ھازىر، ئويۇش ئۈسكۈنىلىرىدىكى CVD كرېمنىي كاربىد زاپچاسلىرى فوكۇس ھالقىسى، گاز دۇش بېشى، تەخسە ۋە گىرۋەك ھالقىلىرىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. چۆكمە ئۈسكۈنىلىرىدە، كامېرا قاپقىقى، كامېرا ئاستى قەۋىتى ۋە باشقا نەرسىلەر بار.SIC بىلەن قاپلانغان گرافىت ئاساسىي قەۋىتى.

خلور ۋە فلورنىڭ ئۆپۈش گازلىرىغا بولغان رېئاكسىيەچانلىقى ۋە ئۆتكۈزۈشچانلىقى تۆۋەن بولغاچقا،CVD كرېمنىي كاربىدىپلازما ئويۇش ئۈسكۈنىلىرىدىكى فوكۇس ھالقىسى قاتارلىق زاپچاسلار ئۈچۈن ئەڭ ياخشى ماتېرىيالغا ئايلاندى.CVD كرېمنىي كاربىدىئويۇش ئۈسكۈنىلىرىدىكى زاپچاسلار فوكۇس ھالقىسى، گاز دۇش بېشى، تەخسە، گىرۋەك ھالقىسى قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. فوكۇس ھالقىسىنى مىسالغا ئالساق، ئۇلار ۋافلىنىڭ سىرتىغا قويۇلغان ۋە ۋافلى بىلەن بىۋاسىتە تېگىشىدىغان مۇھىم زاپچاسلار. ھالقىغا توك بېرىش ئارقىلىق، پلازما ھالقىسى ئارقىلىق ۋافلىغا فوكۇسلىنىدۇ، بۇ جەرياننىڭ بىردەكلىكىنى ياخشىلايدۇ. ئەنئەنىۋى جەھەتتىن فوكۇس ھالقىسى كرېمنىي ياكى كۋارتستىن ياسىلىدۇ. قانداقلا بولمىسۇن، بىرلەشتۈرۈلگەن توك يولىنى كىچىكلىتىش ئىلگىرى سۈرۈلۈشكە ئەگىشىپ، بىرلەشتۈرۈلگەن توك يولى ئىشلەپچىقىرىشتا ئويۇش جەريانلىرىنىڭ ئېھتىياجى ۋە مۇھىملىقى ئۈزلۈكسىز ئاشماقتا. پلازما ئويۇش كۈچى ۋە ئېنېرگىيە تەلىپى ئۈزلۈكسىز ئاشماقتا، بولۇپمۇ سىغىملىق باغلىنىشلىق پلازما (CCP) ئويۇش ئۈسكۈنىلىرىدە، بۇ ئۈسكۈنىلەر يۇقىرى پلازما ئېنېرگىيەسىنى تەلەپ قىلىدۇ. نەتىجىدە، كرېمنىي كاربىد ماتېرىياللىرىدىن ياسالغان فوكۇس ھالقىسىنىڭ ئىشلىتىلىشى بارغانسېرى ئاشماقتا.