SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ హాఫ్మూన్ పార్ట్సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలలో, ముఖ్యంగా SiC ఎపిటాక్సియల్ పరికరాల కోసం ఉపయోగించే కీలకమైన భాగం. హాఫ్మూన్ భాగాన్ని చాలా ఎక్కువ స్వచ్ఛత, మంచి పూత ఏకరూపత మరియు అద్భుతమైన సేవా జీవితం, అలాగే అధిక రసాయన నిరోధకత మరియు ఉష్ణ స్థిరత్వ లక్షణాలతో తయారు చేయడానికి మేము మా పేటెంట్ పొందిన సాంకేతికతను ఉపయోగిస్తాము.
మూల పదార్థం: అధిక స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్
పరిశుభ్రత అవసరాలు:అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద ఎపిటాక్సియల్ పొరను కలుషితం చేయడానికి ఎటువంటి మలినాలు అవక్షేపించబడకుండా చూసుకోవడానికి కార్బన్ కంటెంట్ ≥99.99%, బూడిద కంటెంట్ ≤5ppm.
పనితీరు ప్రయోజనాలు:
అధిక ఉష్ణ వాహకత:గది ఉష్ణోగ్రత వద్ద ఉష్ణ వాహకత 150W/(m・K)కి చేరుకుంటుంది, ఇది రాగి స్థాయికి దగ్గరగా ఉంటుంది మరియు త్వరగా వేడిని బదిలీ చేయగలదు.
తక్కువ విస్తరణ గుణకం:5 × 10-6/℃ (25-1000℃), సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్స్ట్రేట్ (4.2×10) కు సరిపోలుతుంది.-6/℃), ఉష్ణ ఒత్తిడి వల్ల పూత పగుళ్లను తగ్గిస్తుంది.
ప్రాసెసింగ్ ఖచ్చితత్వం:చాంబర్ యొక్క సీలింగ్ను నిర్ధారించడానికి CNC మ్యాచింగ్ ద్వారా ±0.05mm డైమెన్షనల్ టాలరెన్స్ సాధించబడుతుంది.
CVD SiC మరియు CVD TaC యొక్క విభిన్న అనువర్తనాలు
| పూత | ప్రక్రియ | పోలిక | సాధారణ అప్లికేషన్ |
| సివిడి-ఎస్ఐసి | ఉష్ణోగ్రత: 1000-1200℃పీడనం: 10-100 టోర్ | కాఠిన్యం HV2500, మందం 50-100um, అద్భుతమైన ఆక్సీకరణ నిరోధకత (1600℃ కంటే తక్కువ స్థిరంగా ఉంటుంది) | హైడ్రోజన్ మరియు సిలేన్ వంటి సాంప్రదాయ వాతావరణాలకు అనువైన యూనివర్సల్ ఎపిటాక్సియల్ ఫర్నేసులు |
| సివిడి-టాక్ | ఉష్ణోగ్రత: 1600-1800℃పీడనం: 1-10 టోర్ | కాఠిన్యం HV3000, మందం 20-50um, అత్యంత తుప్పు నిరోధకత (HCl, NH₃, మొదలైన తినివేయు వాయువులను తట్టుకోగలదు) | అత్యంత క్షయకర వాతావరణాలు (GaN ఎపిటాక్సీ మరియు ఎచింగ్ పరికరాలు వంటివి), లేదా 2600°C అల్ట్రా-హై ఉష్ణోగ్రతలు అవసరమయ్యే ప్రత్యేక ప్రక్రియలు |
నాణ్యత తనిఖీ
పూత మందం: లేజర్ మందం గేజ్ (ఖచ్చితత్వం ±1um) లేదా SEM క్రాస్-సెక్షనల్ విశ్లేషణ.
బాండ్ బలం: స్క్రాచ్ టెస్ట్ (క్రిటికల్ లోడ్ > 50N) లేదా అల్ట్రాసోనిక్ టెస్టింగ్ (ధ్వని వేగం > 5000మీ/సె).
తుప్పు నిరోధకత: HCl వాతావరణంలో పరీక్షించబడిన ద్రవ్యరాశి నష్టం రేటు (<0.1 mg/cm²・h) (5 vol%, 1600℃).
VET ఎనర్జీ అనేది గ్రాఫైట్, సిలికాన్ కార్బైడ్, క్వార్ట్జ్ వంటి అత్యాధునిక అధునాతన పదార్థాల R&D మరియు ఉత్పత్తిపై దృష్టి సారించే ఒక ప్రొఫెషనల్ తయారీదారు, అలాగే SiC పూత, TaC పూత, గ్లాసీ కార్బన్ పూత, పైరోలైటిక్ కార్బన్ పూత మొదలైన మెటీరియల్ ట్రీట్మెంట్పై దృష్టి సారిస్తుంది. ఈ ఉత్పత్తులు ఫోటోవోల్టాయిక్, సెమీకండక్టర్, న్యూ ఎనర్జీ, మెటలర్జీ మొదలైన వాటిలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి.
మా సాంకేతిక బృందం అగ్రశ్రేణి దేశీయ పరిశోధనా సంస్థల నుండి వచ్చింది, మీ కోసం మరింత ప్రొఫెషనల్ మెటీరియల్ పరిష్కారాలను అందించగలదు.
VET శక్తి ప్రయోజనాలు:
• సొంత కర్మాగారం మరియు ప్రొఫెషనల్ ప్రయోగశాల;
• పరిశ్రమలో అగ్రగామిగా ఉన్న స్వచ్ఛత స్థాయిలు మరియు నాణ్యత;
• పోటీ ధర & వేగవంతమైన డెలివరీ సమయం;
• ప్రపంచవ్యాప్తంగా బహుళ పరిశ్రమ భాగస్వామ్యాలు;
మా ఫ్యాక్టరీ మరియు ప్రయోగశాలను ఎప్పుడైనా సందర్శించడానికి మేము మిమ్మల్ని స్వాగతిస్తున్నాము!
