SiC పూత పూసిన గ్రాఫైట్ హాఫ్మూన్ భాగంసెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలలో, ముఖ్యంగా SiC ఎపిటాక్సియల్ పరికరాలలో ఉపయోగించే ఒక కీలకమైన భాగం. మేము మా పేటెంట్ పొందిన సాంకేతికతను ఉపయోగించి, అత్యంత అధిక స్వచ్ఛత, మంచి పూత ఏకరూపత, అద్భుతమైన సేవా జీవితం, అలాగే అధిక రసాయన నిరోధకత మరియు ఉష్ణ స్థిరత్వ లక్షణాలతో హాఫ్మూన్ భాగాన్ని తయారు చేస్తాము.
ఆధార పదార్థం: అధిక స్వచ్ఛత గల గ్రాఫైట్
స్వచ్ఛత అవసరాలు:అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద ఎపిటాక్సియల్ పొరను కలుషితం చేసే మలినాలు ఏవీ అవక్షేపించబడకుండా ఉండేలా చూసుకోవడానికి, కార్బన్ శాతం ≥99.99%, బూడిద శాతం ≤5ppm ఉండాలి.
పనితీరు ప్రయోజనాలు:
అధిక ఉష్ణ వాహకత:గది ఉష్ణోగ్రత వద్ద ఉష్ణ వాహకత 150W/(m・K)కి చేరుకుంటుంది, ఇది రాగి స్థాయికి దగ్గరగా ఉండి, వేడిని వేగంగా బదిలీ చేయగలదు.
తక్కువ విస్తరణ గుణకం:5×10-6/℃ (25-1000℃), సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్స్ట్రేట్ (4.2×10) కు సరిపోలుతుంది-6/℃), ఉష్ణ ఒత్తిడి వలన పూతలో ఏర్పడే పగుళ్లను తగ్గిస్తుంది.
ప్రాసెసింగ్ ఖచ్చితత్వం:ఛాంబర్ సీలింగ్ను నిర్ధారించడానికి, CNC మెషీనింగ్ ద్వారా ±0.05mm కొలత సహనం సాధించబడుతుంది.
CVD SiC మరియు CVD TaC యొక్క విభిన్న అనువర్తనాలు
| పూత | ప్రక్రియ | పోలిక | సాధారణ అప్లికేషన్ |
| సివిడి-ఎస్ఐసి | ఉష్ణోగ్రత: 1000-1200℃ పీడనం: 10-100 టార్ | కాఠిన్యం HV2500, మందం 50-100um, అద్భుతమైన ఆక్సీకరణ నిరోధకత (1600℃ కంటే తక్కువ ఉష్ణోగ్రతలో స్థిరంగా ఉంటుంది) | హైడ్రోజన్ మరియు సిలేన్ వంటి సాంప్రదాయ వాతావరణాలకు అనువైన యూనివర్సల్ ఎపిటాక్సియల్ ఫర్నేసులు |
| సివిడి-టాసి | ఉష్ణోగ్రత: 1600-1800℃ పీడనం: 1-10 టార్ | కాఠిన్యం HV3000, మందం 20-50um, అత్యంత తుప్పు నిరోధకత (HCl, NH₃ మొదలైన తినివేసే వాయువులను తట్టుకోగలదు) | అత్యంత క్షయకారక వాతావరణాలు (GaN ఎపిటాక్సీ మరియు ఎచింగ్ పరికరాలు వంటివి), లేదా 2600°C అత్యధిక ఉష్ణోగ్రతలు అవసరమయ్యే ప్రత్యేక ప్రక్రియలు |
నాణ్యత తనిఖీ
పూత మందం: లేజర్ మందం కొలిచే పరికరం (ఖచ్చితత్వం ±1um) లేదా SEM క్రాస్-సెక్షనల్ విశ్లేషణ.
బంధ బలం: స్క్రాచ్ టెస్ట్ (క్రిటికల్ లోడ్ > 50N) లేదా అల్ట్రాసోనిక్ టెస్టింగ్ (ధ్వని వేగం > 5000m/s).
తుప్పు నిరోధకత: HCl వాతావరణంలో (5 వాల్యూమ్%, 1600℃) పరీక్షించిన ద్రవ్యరాశి నష్టపు రేటు (<0.1 mg/cm²・h).
VET ఎనర్జీ అనేది గ్రాఫైట్, సిలికాన్ కార్బైడ్, క్వార్ట్జ్ వంటి ఉన్నత శ్రేణి అధునాతన పదార్థాల పరిశోధన, అభివృద్ధి మరియు ఉత్పత్తిపై దృష్టి సారించే ఒక వృత్తిపరమైన తయారీ సంస్థ. అలాగే SiC కోటింగ్, TaC కోటింగ్, గ్లాసీ కార్బన్ కోటింగ్, పైరోలిటిక్ కార్బన్ కోటింగ్ మొదలైన పదార్థ శుద్ధి ప్రక్రియలను కూడా ఇది నిర్వహిస్తుంది. ఈ ఉత్పత్తులు ఫోటోవోల్టాయిక్, సెమీకండక్టర్, నూతన శక్తి, లోహశాస్త్రం మొదలైన రంగాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడతాయి.
మా సాంకేతిక బృందం దేశంలోని అగ్రశ్రేణి పరిశోధనా సంస్థల నుండి వచ్చింది, మీకు మరింత వృత్తిపరమైన మెటీరియల్ పరిష్కారాలను అందించగలదు.
VET ఎనర్జీ ప్రయోజనాలలో ఇవి ఉన్నాయి:
• సొంత ఫ్యాక్టరీ మరియు వృత్తిపరమైన ప్రయోగశాల;
• పరిశ్రమలో అగ్రగామి స్వచ్ఛత స్థాయిలు మరియు నాణ్యత;
పోటీ ధర మరియు వేగవంతమైన డెలివరీ సమయం;
• ప్రపంచవ్యాప్తంగా బహుళ పరిశ్రమ భాగస్వామ్యాలు;
మీరు ఎప్పుడైనా మా ఫ్యాక్టరీ మరియు ప్రయోగశాలను సందర్శించవచ్చు!
