SiC লেপা গ্রাফাইট হাফমুন পার্টসেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত একটি মূল উপাদান, বিশেষ করে SiC এপিট্যাক্সিয়াল সরঞ্জামের জন্য। আমরা আমাদের পেটেন্ট প্রযুক্তি ব্যবহার করে অত্যন্ত উচ্চ বিশুদ্ধতা, ভাল আবরণ অভিন্নতা এবং একটি চমৎকার পরিষেবা জীবন, সেইসাথে উচ্চ রাসায়নিক প্রতিরোধ এবং তাপীয় স্থিতিশীলতা বৈশিষ্ট্য সহ হাফমুন অংশ তৈরি করি।
বেস উপাদান: উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্রাফাইট
বিশুদ্ধতার প্রয়োজনীয়তা:উচ্চ তাপমাত্রায় এপিট্যাক্সিয়াল স্তরকে দূষিত করার জন্য কোনও অমেধ্য যাতে না থাকে তা নিশ্চিত করার জন্য কার্বনের পরিমাণ ≥99.99%, ছাইয়ের পরিমাণ ≤5ppm।
কর্মক্ষমতা সুবিধা:
উচ্চ তাপ পরিবাহিতা:ঘরের তাপমাত্রায় তাপ পরিবাহিতা 150W/(m・K) এ পৌঁছায়, যা তামার স্তরের কাছাকাছি এবং দ্রুত তাপ স্থানান্তর করতে পারে।
কম সম্প্রসারণ সহগ:৫×১০-6/℃ (25-1000℃), সিলিকন কার্বাইড সাবস্ট্রেটের সাথে মিলে (4.2×10)-6/℃), তাপীয় চাপের কারণে আবরণের ফাটল কমাতে।
প্রক্রিয়াকরণের নির্ভুলতা:চেম্বারটি সিল করা নিশ্চিত করার জন্য CNC মেশিনিংয়ের মাধ্যমে ±0.05 মিমি মাত্রিক সহনশীলতা অর্জন করা হয়।
সিভিডি সিআইসি এবং সিভিডি টিএসির পৃথক প্রয়োগ
| আবরণ | প্রক্রিয়া | তুলনা | সাধারণ প্রয়োগ |
| সিভিডি-সিসি | তাপমাত্রা: ১০০০-১২০০℃চাপ: ১০-১০০ টর | কঠোরতা HV2500, বেধ 50-100um, চমৎকার জারণ প্রতিরোধ ক্ষমতা (1600℃ এর নিচে স্থিতিশীল) | হাইড্রোজেন এবং সিলেনের মতো প্রচলিত বায়ুমণ্ডলের জন্য উপযুক্ত সর্বজনীন এপিট্যাক্সিয়াল চুল্লি |
| সিভিডি-টিএসি | তাপমাত্রা: ১৬০০-১৮০০℃চাপ: ১-১০ টর | কঠোরতা HV3000, পুরুত্ব 20-50um, অত্যন্ত ক্ষয়-প্রতিরোধী (HCl, NH₃ ইত্যাদি ক্ষয়কারী গ্যাস সহ্য করতে পারে) | অত্যন্ত ক্ষয়কারী পরিবেশ (যেমন GaN এপিট্যাক্সি এবং এচিং সরঞ্জাম), অথবা বিশেষ প্রক্রিয়া যার জন্য 2600°C অতি-উচ্চ তাপমাত্রা প্রয়োজন |
মান পরিদর্শন
আবরণের পুরুত্ব: লেজারের পুরুত্ব পরিমাপক (নির্ভুলতা ±1um) অথবা SEM ক্রস-বিভাগীয় বিশ্লেষণ।
বন্ধনের শক্তি: স্ক্র্যাচ পরীক্ষা (ক্রিটিকাল লোড > 50N) অথবা অতিস্বনক পরীক্ষা (শব্দ বেগ > 5000m/s)।
ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা: ভর ক্ষয় হার (<0.1 mg/cm²・h) HCl বায়ুমণ্ডলে পরীক্ষিত (5 vol%, 1600℃)।
VET Energy হল একটি পেশাদার প্রস্তুতকারক যা গ্রাফাইট, সিলিকন কার্বাইড, কোয়ার্টজের মতো উচ্চমানের উন্নত উপকরণের গবেষণা ও উন্নয়ন এবং উৎপাদনের উপর দৃষ্টি নিবদ্ধ করে, সেইসাথে SiC আবরণ, TaC আবরণ, কাঁচের কার্বন আবরণ, পাইরোলাইটিক কার্বন আবরণ ইত্যাদির মতো উপাদানের চিকিত্সার উপরও মনোযোগ দেয়। পণ্যগুলি ফটোভোলটাইক, সেমিকন্ডাক্টর, নতুন শক্তি, ধাতুবিদ্যা ইত্যাদিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।
আমাদের প্রযুক্তিগত দলটি শীর্ষস্থানীয় দেশীয় গবেষণা প্রতিষ্ঠান থেকে আসে, আপনার জন্য আরও পেশাদার উপাদান সমাধান প্রদান করতে পারে।
VET এনার্জির সুবিধার মধ্যে রয়েছে:
• নিজস্ব কারখানা এবং পেশাদার পরীক্ষাগার;
• শিল্প-নেতৃস্থানীয় বিশুদ্ধতা স্তর এবং গুণমান;
• প্রতিযোগিতামূলক মূল্য এবং দ্রুত ডেলিভারি সময়;
• বিশ্বব্যাপী একাধিক শিল্প অংশীদারিত্ব;
আমাদের কারখানা এবং পরীক্ষাগারটি যেকোনো সময় পরিদর্শন করতে আপনাকে স্বাগত জানাই!
