SiC প্রলেপযুক্ত গ্রাফাইট অর্ধচন্দ্রাকার অংশএটি সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন প্রক্রিয়ায়, বিশেষ করে SiC এপিট্যাক্সিয়াল যন্ত্রপাতিতে ব্যবহৃত একটি মূল উপাদান। আমরা আমাদের পেটেন্ট করা প্রযুক্তি ব্যবহার করে অত্যন্ত উচ্চ বিশুদ্ধতা, ভালো কোটিং সমরূপতা এবং চমৎকার কার্যকালের পাশাপাশি উচ্চ রাসায়নিক প্রতিরোধ ক্ষমতা ও তাপীয় স্থিতিশীলতা সম্পন্ন অর্ধচন্দ্রাকার অংশটি তৈরি করি।
মূল উপাদান: উচ্চ-বিশুদ্ধ গ্রাফাইট
বিশুদ্ধতার প্রয়োজনীয়তা:কার্বনের পরিমাণ ≥৯৯.৯৯%, ছাইয়ের পরিমাণ ≤৫ পিপিএম, যাতে উচ্চ তাপমাত্রায় কোনো অশুদ্ধি অধঃক্ষিপ্ত হয়ে এপিথেক্সিয়াল স্তরকে দূষিত করতে না পারে।
কর্মক্ষমতার সুবিধা:
উচ্চ তাপ পরিবাহিতা:কক্ষ তাপমাত্রায় এর তাপ পরিবাহিতা 150W/(m・K) পর্যন্ত পৌঁছায়, যা তামার মাত্রার কাছাকাছি এবং দ্রুত তাপ স্থানান্তর করতে পারে।
নিম্ন প্রসারণ সহগ:৫×১০-6/℃ (২৫-১০০০℃), সিলিকন কার্বাইড সাবস্ট্রেটের (৪.২×১০) সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ-6/℃), যা তাপীয় পীড়নের কারণে আবরণের ফাটল হ্রাস করে।
প্রক্রিয়াকরণের নির্ভুলতা:চেম্বারের সিলিং নিশ্চিত করার জন্য সিএনসি মেশিনিংয়ের মাধ্যমে ±০.০৫ মিমি-এর একটি মাত্রিক সহনশীলতা অর্জন করা হয়।
CVD SiC এবং CVD TaC এর পৃথক প্রয়োগ
| আবরণ | প্রক্রিয়া | তুলনা | সাধারণ প্রয়োগ |
| CVD-SiC | তাপমাত্রা: ১০০০-১২০০℃ চাপ: ১০-১০০ টর | কাঠিন্য HV2500, পুরুত্ব ৫০-১০০ মাইক্রোমিটার, চমৎকার জারণ প্রতিরোধ ক্ষমতা (১৬০০℃-এর নিচে স্থিতিশীল) | সর্বজনীন এপিট্যাক্সিয়াল চুল্লি, যা হাইড্রোজেন এবং সিলেনের মতো প্রচলিত বায়ুমণ্ডলের জন্য উপযুক্ত। |
| সিভিডি-ট্যাক | তাপমাত্রা: ১৬০০-১৮০০℃ চাপ: ১-১০ টর | কাঠিন্য HV3000, পুরুত্ব ২০-৫০ মাইক্রোমিটার, অত্যন্ত ক্ষয়রোধী (HCl, NH₃ ইত্যাদির মতো ক্ষয়কারী গ্যাস প্রতিরোধ করতে পারে)। | অত্যন্ত ক্ষয়কারী পরিবেশ (যেমন GaN এপিট্যাক্সি এবং এচিং সরঞ্জাম), অথবা বিশেষ প্রক্রিয়া যার জন্য ২৬০০°C-এর মতো অতি-উচ্চ তাপমাত্রার প্রয়োজন হয়। |
গুণমান পরিদর্শন
আবরণের পুরুত্ব: লেজার থিকনেস গেজ (সঠিকতা ±১ মাইক্রোমিটার) অথবা এসইএম ক্রস-সেকশনাল বিশ্লেষণ।
বন্ধন শক্তি: স্ক্র্যাচ টেস্ট (ক্রিটিক্যাল লোড > ৫০ নিউটন) অথবা আল্ট্রাসনিক টেস্টিং (শব্দ বেগ > ৫০০০ মিটার/সেকেন্ড)।
ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা: HCl পরিবেশে (৫ ভলিউম%, ১৬০০℃) পরীক্ষিত ভর হ্রাসের হার (<০.১ মিলিগ্রাম/সেমি²・ঘণ্টা)।
VET এনার্জি একটি পেশাদার প্রস্তুতকারক প্রতিষ্ঠান, যা গ্রাফাইট, সিলিকন কার্বাইড, কোয়ার্টজের মতো উচ্চমানের উন্নত উপকরণের গবেষণা ও উন্নয়ন (R&D) এবং উৎপাদনের পাশাপাশি SiC কোটিং, TaC কোটিং, গ্লাসি কার্বন কোটিং, পাইরোলিটিক কার্বন কোটিং ইত্যাদির মতো উপকরণ প্রক্রিয়াকরণে বিশেষজ্ঞ। এই পণ্যগুলি ফটোভোল্টাইক, সেমিকন্ডাক্টর, নতুন শক্তি, ধাতুবিদ্যা ইত্যাদি ক্ষেত্রে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।
আমাদের কারিগরি দল দেশের শীর্ষস্থানীয় গবেষণা প্রতিষ্ঠান থেকে এসেছেন এবং তারা আপনাকে আরও পেশাদার মানের উপকরণগত সমাধান প্রদান করতে পারেন।
VET এনার্জির সুবিধাগুলোর মধ্যে রয়েছে:
• নিজস্ব কারখানা এবং পেশাদার পরীক্ষাগার;
• শিল্পে শীর্ষস্থানীয় বিশুদ্ধতার মাত্রা ও গুণমান;
• প্রতিযোগিতামূলক মূল্য ও দ্রুত ডেলিভারি;
• বিশ্বজুড়ে একাধিক শিল্প অংশীদারিত্ব;
যেকোনো সময় আমাদের কারখানা ও গবেষণাগার পরিদর্শনে আপনাকে স্বাগত জানাই!
