SiC লেপা গ্রাফাইট হাফমুন পার্টএটি সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত একটি মূল উপাদান, বিশেষ করে SiC এপিট্যাক্সিয়াল সরঞ্জামের জন্য। এর কাঠামোগত নকশা এবং উপাদান বৈশিষ্ট্য সরাসরি এপিট্যাক্সিয়াল ওয়েফারের গুণমান এবং উৎপাদন দক্ষতা নির্ধারণ করে।
বিক্রিয়া চেম্বার নির্মাণ:
অর্ধচন্দ্রাকার অংশটি দুটি অংশ নিয়ে গঠিত, উপরের এবং নীচের অংশ, যা একসাথে বাকল করে একটি বদ্ধ বৃদ্ধি কক্ষ তৈরি করে, যা সিলিকন কার্বাইড সাবস্ট্রেট (সাধারণত 4H-SiC বা 6H-SiC) ধারণ করে এবং গ্যাস প্রবাহ ক্ষেত্র (যেমন SiH₄, C₃H₈ এবং H₂ এর মিশ্রণ) সুনির্দিষ্টভাবে নিয়ন্ত্রণ করে এপিট্যাক্সিয়াল স্তর বৃদ্ধি অর্জন করে।
তাপমাত্রা ক্ষেত্র নিয়ন্ত্রণ:
উচ্চ-বিশুদ্ধতা সম্পন্ন গ্রাফাইট বেস এবং ইন্ডাকশন হিটিং কয়েল ১৫০০-১৭০০°C উচ্চ তাপমাত্রায় চেম্বারের তাপমাত্রার অভিন্নতা (±৫°C এর মধ্যে) বজায় রাখতে পারে, যা এপিট্যাক্সিয়াল স্তরের পুরুত্বের ধারাবাহিকতা নিশ্চিত করে।
বায়ুপ্রবাহ নির্দেশিকা:
বায়ু প্রবেশপথ এবং নির্গমনপথের অবস্থান (যেমন অনুভূমিক চুল্লির দেহের পার্শ্বীয় বায়ু প্রবেশপথ এবং উপরের বায়ু নির্গমনপথ) নকশা করে, বিক্রিয়া গ্যাস ল্যামিনার প্রবাহকে স্তর পৃষ্ঠের মধ্য দিয়ে পরিচালিত করা হয় যাতে অশান্তিজনিত বৃদ্ধির ত্রুটি হ্রাস পায়।
বেস উপাদান: উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্রাফাইট
বিশুদ্ধতার প্রয়োজনীয়তা:উচ্চ তাপমাত্রায় এপিট্যাক্সিয়াল স্তরকে দূষিত করার জন্য কোনও অমেধ্য যাতে না থাকে তা নিশ্চিত করার জন্য কার্বনের পরিমাণ ≥99.99%, ছাইয়ের পরিমাণ ≤5ppm।
কর্মক্ষমতা সুবিধা:
উচ্চ তাপ পরিবাহিতা:ঘরের তাপমাত্রায় তাপ পরিবাহিতা 150W/(m・K) এ পৌঁছায়, যা তামার স্তরের কাছাকাছি এবং দ্রুত তাপ স্থানান্তর করতে পারে।
কম সম্প্রসারণ সহগ:৫×১০-6/℃ (25-1000℃), সিলিকন কার্বাইড সাবস্ট্রেটের সাথে মিলে (4.2×10)-6/℃), তাপীয় চাপের কারণে আবরণের ফাটল কমাতে।
প্রক্রিয়াকরণের নির্ভুলতা:চেম্বারটি সিল করা নিশ্চিত করার জন্য CNC মেশিনিংয়ের মাধ্যমে ±0.05 মিমি মাত্রিক সহনশীলতা অর্জন করা হয়।
সিভিডি সিআইসি এবং সিভিডি টিএসির পৃথক প্রয়োগ
| আবরণ | প্রক্রিয়া | তুলনা | সাধারণ প্রয়োগ |
| সিভিডি-সিসি | তাপমাত্রা: ১০০০-১২০০℃চাপ: ১০-১০০ টর | কঠোরতা HV2500, বেধ 50-100um, চমৎকার জারণ প্রতিরোধ ক্ষমতা (1600℃ এর নিচে স্থিতিশীল) | হাইড্রোজেন এবং সিলেনের মতো প্রচলিত বায়ুমণ্ডলের জন্য উপযুক্ত সর্বজনীন এপিট্যাক্সিয়াল চুল্লি |
| সিভিডি-টিএসি | তাপমাত্রা: ১৬০০-১৮০০℃চাপ: ১-১০ টর | কঠোরতা HV3000, পুরুত্ব 20-50um, অত্যন্ত ক্ষয়-প্রতিরোধী (HCl, NH₃ ইত্যাদি ক্ষয়কারী গ্যাস সহ্য করতে পারে) | অত্যন্ত ক্ষয়কারী পরিবেশ (যেমন GaN এপিট্যাক্সি এবং এচিং সরঞ্জাম), অথবা বিশেষ প্রক্রিয়া যার জন্য 2600°C অতি-উচ্চ তাপমাত্রা প্রয়োজন |
VET Energy হল একটি পেশাদার প্রস্তুতকারক যা গ্রাফাইট, সিলিকন কার্বাইড, কোয়ার্টজের মতো উচ্চমানের উন্নত উপকরণের গবেষণা ও উন্নয়ন এবং উৎপাদনের উপর দৃষ্টি নিবদ্ধ করে, সেইসাথে SiC আবরণ, TaC আবরণ, কাঁচের কার্বন আবরণ, পাইরোলাইটিক কার্বন আবরণ ইত্যাদির মতো উপাদানের চিকিত্সার উপরও মনোযোগ দেয়। পণ্যগুলি ফটোভোলটাইক, সেমিকন্ডাক্টর, নতুন শক্তি, ধাতুবিদ্যা ইত্যাদিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।
আমাদের প্রযুক্তিগত দলটি শীর্ষস্থানীয় দেশীয় গবেষণা প্রতিষ্ঠান থেকে আসে, আপনার জন্য আরও পেশাদার উপাদান সমাধান প্রদান করতে পারে।
VET এনার্জির সুবিধার মধ্যে রয়েছে:
• নিজস্ব কারখানা এবং পেশাদার পরীক্ষাগার;
• শিল্প-নেতৃস্থানীয় বিশুদ্ধতা স্তর এবং গুণমান;
• প্রতিযোগিতামূলক মূল্য এবং দ্রুত ডেলিভারি সময়;
• বিশ্বব্যাপী একাধিক শিল্প অংশীদারিত্ব;
আমাদের কারখানা এবং পরীক্ষাগারটি যেকোনো সময় পরিদর্শন করতে আপনাকে স্বাগত জানাই!
