SiC કોટેડ ગ્રેફાઇટ હાફમૂન ભાગસેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયાઓમાં વપરાતો મુખ્ય ઘટક છે, ખાસ કરીને SiC એપિટેક્સિયલ સાધનો માટે. અમે અમારી પેટન્ટ ટેકનોલોજીનો ઉપયોગ કરીને હાફમૂન ભાગને અત્યંત ઉચ્ચ શુદ્ધતા, સારી કોટિંગ એકરૂપતા અને ઉત્તમ સેવા જીવન, તેમજ ઉચ્ચ રાસાયણિક પ્રતિકાર અને થર્મલ સ્થિરતા ગુણધર્મો સાથે બનાવીએ છીએ.
બેઝ મટિરિયલ: ઉચ્ચ શુદ્ધતા ગ્રેફાઇટ
શુદ્ધતા જરૂરિયાતો:કાર્બનનું પ્રમાણ ≥99.99%, રાખનું પ્રમાણ ≤5ppm, જેથી ખાતરી કરી શકાય કે ઊંચા તાપમાને એપિટેક્સિયલ સ્તરને દૂષિત કરવા માટે કોઈ અશુદ્ધિઓનો અવક્ષેપ ન થાય.
કામગીરીના ફાયદા:
ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતા:ઓરડાના તાપમાને થર્મલ વાહકતા 150W/(m・K) સુધી પહોંચે છે, જે તાંબાના સ્તરની નજીક છે અને ઝડપથી ગરમી ટ્રાન્સફર કરી શકે છે.
નીચા વિસ્તરણ ગુણાંક:૫×૧૦-6/℃ (25-1000℃), સિલિકોન કાર્બાઇડ સબસ્ટ્રેટ (4.2×10) સાથે મેળ ખાતી-6/℃), થર્મલ તણાવને કારણે કોટિંગની તિરાડ ઘટાડે છે.
પ્રક્રિયા ચોકસાઈ:ચેમ્બરને સીલ કરવાની ખાતરી કરવા માટે CNC મશીનિંગ દ્વારા ±0.05mm ની પરિમાણીય સહિષ્ણુતા પ્રાપ્ત થાય છે.
CVD SiC અને CVD TaC ના વિભિન્ન ઉપયોગો
| કોટિંગ | પ્રક્રિયા | સરખામણી | લાક્ષણિક એપ્લિકેશન |
| સીવીડી-એસઆઈસી | તાપમાન: ૧૦૦૦-૧૨૦૦℃ દબાણ: ૧૦-૧૦૦ ટોર | કઠિનતા HV2500, જાડાઈ 50-100um, ઉત્તમ ઓક્સિડેશન પ્રતિકાર (1600℃ નીચે સ્થિર) | હાઇડ્રોજન અને સિલેન જેવા પરંપરાગત વાતાવરણ માટે યોગ્ય યુનિવર્સલ એપિટેક્સિયલ ભઠ્ઠીઓ |
| સીવીડી-ટીએસી | તાપમાન: ૧૬૦૦-૧૮૦૦℃ દબાણ: ૧-૧૦ ટોર | કઠિનતા HV3000, જાડાઈ 20-50um, અત્યંત કાટ-પ્રતિરોધક (HCl, NH₃, વગેરે જેવા કાટ લાગતા વાયુઓનો સામનો કરી શકે છે) | ખૂબ જ કાટ લાગતા વાતાવરણ (જેમ કે GaN એપિટાક્સી અને એચિંગ સાધનો), અથવા ખાસ પ્રક્રિયાઓ જેમાં 2600°C ના અતિ-ઉચ્ચ તાપમાનની જરૂર હોય છે. |
ગુણવત્તા નિરીક્ષણ
કોટિંગ જાડાઈ: લેસર જાડાઈ ગેજ (ચોકસાઈ ±1um) અથવા SEM ક્રોસ-સેક્શનલ વિશ્લેષણ.
બોન્ડ સ્ટ્રેન્થ: સ્ક્રેચ ટેસ્ટ (ક્રિટિકલ લોડ > 50N) અથવા અલ્ટ્રાસોનિક ટેસ્ટિંગ (ધ્વનિ વેગ > 5000m/s).
કાટ પ્રતિકાર: HCl વાતાવરણમાં પરીક્ષણ કરાયેલ માસ લોસ રેટ (<0.1 mg/cm²・h) (5 વોલ્યુમ%, 1600℃).
VET એનર્જી એક વ્યાવસાયિક ઉત્પાદક છે જે ગ્રેફાઇટ, સિલિકોન કાર્બાઇડ, ક્વાર્ટઝ જેવી ઉચ્ચ-સ્તરીય અદ્યતન સામગ્રીના સંશોધન અને વિકાસ અને ઉત્પાદન પર ધ્યાન કેન્દ્રિત કરે છે, તેમજ SiC કોટિંગ, TaC કોટિંગ, ગ્લાસી કાર્બન કોટિંગ, પાયરોલિટીક કાર્બન કોટિંગ વગેરે જેવી સામગ્રીની સારવાર પર ધ્યાન કેન્દ્રિત કરે છે. આ ઉત્પાદનોનો ફોટોવોલ્ટેઇક, સેમિકન્ડક્ટર, નવી ઊર્જા, ધાતુશાસ્ત્ર વગેરેમાં વ્યાપકપણે ઉપયોગ થાય છે.
અમારી ટેકનિકલ ટીમ ટોચની સ્થાનિક સંશોધન સંસ્થાઓમાંથી આવે છે, જે તમારા માટે વધુ વ્યાવસાયિક સામગ્રી ઉકેલો પ્રદાન કરી શકે છે.
VET એનર્જીના ફાયદાઓમાં શામેલ છે:
• પોતાની ફેક્ટરી અને વ્યાવસાયિક પ્રયોગશાળા;
• ઉદ્યોગ-અગ્રણી શુદ્ધતા સ્તર અને ગુણવત્તા;
• સ્પર્ધાત્મક કિંમત અને ઝડપી ડિલિવરી સમય;
• વિશ્વભરમાં બહુવિધ ઉદ્યોગ ભાગીદારી;
કોઈપણ સમયે અમારી ફેક્ટરી અને પ્રયોગશાળાની મુલાકાત લેવા માટે અમે તમારું સ્વાગત કરીએ છીએ!
