Konpozan grafit ki gen gwo pite yo enpòtan anpil poupwosesis nan endistri semi-kondiktè, LED ak solè. Ofri nou an varye soti nan konsomab grafit pou zòn cho pou kwasans kristal (aparèy chofaj, sisèpteur krisòl, izolasyon), rive nan konpozan grafit wo presizyon pou ekipman pwosesis waf, tankou sisèpteur grafit kouvri ak carbure Silisyòm pou Epitaksi oswa MOCVD. Se la grafit espesyalite nou an antre an jwèt: grafit izostatik fondamantal pou pwodiksyon kouch semi-kondiktè konpoze. Sa yo pwodui nan "zòn cho" a anba tanperati ekstrèm pandan sa yo rele epitaksi a, oswa pwosesis MOCVD. Sipò wotasyon sou ki waf yo kouvri nan reaktè a, konsiste de grafit izostatik kouvri ak carbure Silisyòm. Se sèlman grafit trè pi ak omojèn sa a ki satisfè egzijans ki wo nan pwosesis kouch la.
TPrensip debaz kwasans waf epitaksyèl LED la seSou yon substrat (sitou safi, SiC ak Si) chofe a yon tanperati apwopriye, materyèl gazez InGaAlP a transpòte sou sifas substrat la nan yon fason kontwole pou fè yon fim monokristal espesifik grandi. Kounye a, teknoloji kwasans waf epitaxial LED la sitou itilize depo vapè chimik metal òganik.
Materyèl substrat epitaxial LEDse fondasyon devlopman teknolojik endistri ekleraj semi-kondiktè a. Diferan materyèl substrat bezwen diferan teknoloji kwasans waf epitaksiyal LED, teknoloji pwosesis chip ak teknoloji anbalaj aparèy. Materyèl substrat yo detèmine wout devlopman teknoloji ekleraj semi-kondiktè a.
Karakteristik seleksyon materyèl substrati waf epitaxial LED:
1. Materyèl epitaksyal la gen menm estrikti kristal la oswa yon estrikti ki sanble ak substra a, ti dezekilib konstan rezo a, bon kristalinite ak dansite domaj ki ba.
2. Bon karakteristik koòdone, fezab pou nikleyasyon materyèl epitaxial ak adezyon fò
3. Li gen bon estabilite chimik epi li pa fasil pou dekonpoze ak korode nan tanperati ak atmosfè kwasans epitaksiyal la.
4. Bon pèfòmans tèmik, ki gen ladan bon konduktivite tèmik ak ti diferans tèmik
5. Bon konduktivite, yo ka fè l tounen yon estrikti anwo ak anba 6, bon pèfòmans optik, epi limyè ki emèt pa aparèy la fabrike a mwens absòbe pa substra a
7. Bon pwopriyete mekanik ak fasil pou trete aparèy yo, tankou eklèsi, polisaj ak koupe
8. Pri ki ba.
9. Gwo gwosè. Anjeneral, dyamèt la pa dwe mwens pase 2 pous.
10. Li fasil pou jwenn yon substrat ki gen yon fòm regilye (sof si gen lòt egzijans espesyal), epi yon substrat ki sanble ak twou plato ekipman epitaksyal la pa fasil pou fòme kouran toubiyon iregilye, sa ki ka afekte kalite epitaksyal la.
11. Sou baz pou pa afekte kalite epitaksi a, machinabilite substrat la dwe satisfè egzijans pwosesis chip ak anbalaj ki vin apre yo otank posib.
Li trè difisil pou seleksyon substra a satisfè onz aspè ki anwo yo an menm tan.Se poutèt sa, kounye a, nou ka sèlman adapte nou ak rechèch ak devlopman (R&D) ak pwodiksyon aparèy semi-kondiktè ki emèt limyè sou diferan substrats atravè chanjman nan teknoloji kwasans epitaksi ak ajisteman teknoloji pwosesis aparèy la. Gen anpil materyèl substrats pou rechèch nitrid galyòm, men gen sèlman de substrats ki ka itilize pou pwodiksyon, sètadi safi Al2O3 ak carbure Silisyòm.Substra SiC yo.
Dat piblikasyon: 28 Fevriye 2022