Likarolo tsa graphite tse hloekileng haholo li bohlokoa haholo holits'ebetso indastering ea semiconductor, LED le letsatsi. Tlhahiso ea rona e tloha ho lisebelisoa tse sebelisoang tsa graphite bakeng sa libaka tse chesang tse holisang kristale (li-heater, li-susceptor tse ka sebelisoang ka har'a crucible, insulation), ho ea ho likarolo tsa graphite tse nepahetseng haholo bakeng sa lisebelisoa tsa ho sebetsana le wafer, joalo ka li-susceptor tsa graphite tse koahetsoeng ka silicon carbide bakeng sa Epitaxy kapa MOCVD. Mona ke moo graphite ea rona e ikhethang e sebetsang teng: graphite ea isostatic ke ea bohlokoa bakeng sa tlhahiso ea likarolo tsa semiconductor tse kopaneng. Tsena li hlahisoa "sebakeng se chesang" tlas'a mocheso o feteletseng nakong ea ts'ebetso e bitsoang epitaxy, kapa MOCVD. Sejana se potolohang seo li-wafer li koahetsoeng ho sona ka har'a reactor, se entsoe ka graphite ea isostatic e koahetsoeng ka silicon carbide. Ke graphite ena feela e hloekileng haholo, e ts'oanang e fihlelang litlhoko tse phahameng ts'ebetsong ea ho roala.
TMolao-motheo oa motheo oa kholo ea li-wafer tsa LED epitaxial ke: hodima substrate (haholo-holo safire, SiC le Si) e futhumatsoang ho fihlela mochesong o loketseng, thepa ea khase InGaAlP e isoa holim'a substrate ka mokhoa o laoloang ho holisa filimi e le 'ngoe ea kristale. Hona joale, theknoloji ea kholo ea wafer ea LED epitaxial e sebelisa haholo-holo ho kenngoa ha mouoane oa lik'hemik'hale tsa tšepe ea tlhaho.
Lisebelisoa tsa substrate tsa LED tsa epitaxialke motheo oa nts'etsopele ea theknoloji ea indasteri ea mabone a semiconductor. Lisebelisoa tse fapaneng tsa substrate li hloka theknoloji e fapaneng ea kholo ea LED epitaxial wafer, theknoloji ea ts'ebetso ea chip le theknoloji ea ho paka lisebelisoa. Lisebelisoa tsa substrate li khetholla tsela ea nts'etsopele ea theknoloji ea mabone a semiconductor.
Litšobotsi tsa khetho ea thepa ea substrate ea LED epitaxial wafer:
1. Thepa ea epitaxial e na le sebopeho se tšoanang sa kristale kapa se tšoanang le substrate, ho se lumellane ho sa feleng ha lattice e nyane, kristale e ntle le botenya bo tlase ba sekoli
2. Litšobotsi tse ntle tsa sebopeho, tse thusang ho thehoa ha thepa ea epitaxial le ho khomarela ka matla
3. E na le botsitso bo botle ba lik'hemik'hale 'me ha ho bonolo ho e bola le ho e senya mochesong le sepakapakeng sa kholo ea epitaxial.
4. Tshebetso e ntle ea mocheso, ho kenyeletsoa le ho tsamaisa mocheso hantle le ho se tsamaisane hantle ha mocheso
5. Ho tsamaisa motlakase hantle, ho ka etsoa ka sebopeho se ka holimo le se ka tlase 6, tshebetso e ntle ya optical, mme lesedi le ntshwang ke sesebediswa se entsweng ha le monyehe haholo ke substrate.
7. Thepa e ntle ea mechini le ts'ebetso e bonolo ea lisebelisoa, ho kenyeletsoa ho tšesaane, ho bentša le ho seha
8. Theko e tlase.
9. Boholo bo boholo. Ka kakaretso, bophara ha boa lokela ho ba ka tlase ho lisenthimithara tse 2.
10. Ho bonolo ho fumana substrate e nang le sebopeho se tloaelehileng (ntle le haeba ho na le litlhoko tse ling tse khethehileng), 'me sebopeho sa substrate se tšoanang le lesoba la terei la lisebelisoa tsa epitaxial ha se bonolo ho etsa motlakase o sa tloaelehang oa eddy, e le ho ama boleng ba epitaxial.
11. Ka lebaka la ho se ame boleng ba epitaxial, ho sebetsa ha substrate ho tla fihlela litlhoko tsa ts'ebetso ea chip le sephutheloana e latelang ka hohle kamoo ho ka khonehang.
Ho thata haholo hore khetho ea substrate e fihlelle lintlha tse leshome le motso o mong tse boletsoeng ka holimo ka nako e le 'ngoe.Ka hona, hajoale, re ka ikamahanya le R & D le tlhahiso ea lisebelisoa tse ntšang leseli la semiconductor holim'a li-substrate tse fapaneng ka phetoho ea theknoloji ea kholo ea epitaxial le phetoho ea theknoloji ea ts'ebetso ea lisebelisoa. Ho na le lisebelisoa tse ngata tsa substrate bakeng sa lipatlisiso tsa gallium nitride, empa ho na le li-substrate tse peli feela tse ka sebelisoang bakeng sa tlhahiso, e leng safire Al2O3 le silicon carbide.Li-substrate tsa SiC.
Nako ea poso: Hlakola-28-2022