Ihe mejupụtara SiC nke uto wafer epitaxial LED, ihe mkpuchi graphite SiC

Ihe ndị dị na graphite dị ọcha dị oke mkpaUsoro dị na semiconductor, LED na ụlọ ọrụ anyanwụ. Ihe anyị na-enye sitere na ihe oriri graphite maka mpaghara ọkụ na-eto kristal (ihe na-ekpo ọkụ, ihe na-egbochi ihe, mkpuchi), ruo na ihe ndị dị na graphite dị oke mma maka ngwa nhazi wafer, dị ka ihe na-egbochi ...

TỤkpụrụ bụ isi nke uto wafer epitaxial LED bụ: n'elu ihe e ji eme ihe (karịsịa sapphire, SiC na Si) nke a na-ekpo ọkụ ruo okpomọkụ kwesịrị ekwesị, a na-ebuga ihe gas InGaAlP gaa n'elu ihe e ji eme ihe n'ụzọ a na-achịkwa iji too otu ihe nkiri kristal kpọmkwem. Ugbu a, teknụzụ uto nke wafer epitaxial LED na-ejikarị ihe ndị e ji emepụta uzuoku kemịkalụ organic metal eme ihe.
Ihe e ji emepụta ihe na-emepụta ihe na-emepụta ihe na LED epitaxialbụ isi ihe dị mkpa maka mmepe teknụzụ nke ụlọ ọrụ ọkụ semiconductor. Ihe dị iche iche dị na substrate chọrọ teknụzụ uto epitaxial wafer LED dị iche iche, teknụzụ nhazi chip na teknụzụ nkwakọ ngwaahịa ngwaọrụ. Ihe ndị dị na substrate na-ekpebi ụzọ mmepe nke teknụzụ ọkụ semiconductor.

Njirimara nke nhọrọ ihe eji emepụta ihe mkpuchi epitaxial nke LED:

1. Ihe epitaxial ahụ nwere otu ma ọ bụ usoro kristal yiri ya na substrate ahụ, obere ọdịiche dị n'etiti lattice na-adịgide adịgide, ezigbo kristal na obere njupụta ntụpọ.

2. Ezigbo njirimara njikọ, na-eme ka ihe epitaxial nucleation na njikọ siri ike

3. O nwere ezigbo nkwụsi ike kemịkalụ, ọ dịghịkwa mfe ire ere ma mebie n'ọnọdụ okpomọkụ na ikuku nke uto epitaxial.

4. Ezigbo arụmọrụ okpomọkụ, gụnyere ezigbo njikwa okpomọkụ na obere enweghị ike na okpomọkụ

5. Ọ na-arụ ọrụ nke ọma, enwere ike ime ka ọ bụrụ ihe owuwu dị elu na nke ala 6, arụmọrụ anya dị mma, ìhè nke ngwaọrụ e ji aka rụọ anaghị amịkọrọ ya site na ihe ndị dị n'ime ya.

7. Ezigbo ihe eji arụ ọrụ na nhazi dị mfe nke ngwaọrụ, gụnyere ịcha, ịchacha na ịcha

8. Ọnụ ego dị ala.

9. Nnukwu nha. N'ozuzu, dayameta agaghị eru sentimita abụọ.

10. Ọ dị mfe inweta ihe ndabere ọdịdị nkịtị (ọ gwụla ma enwere ihe ndị ọzọ dị mkpa), ọdịdị ihe ndabere ahụ dịkwa ka oghere tray nke ngwa epitaxial adịghị mfe ịmepụta eddy current na-adịghị mma, iji metụta àgwà epitaxial.

11. N'ihi na ọ gaghị emetụta àgwà epitaxial, ike nke substrate ga-emezu ihe achọrọ maka nhazi chip na nkwakọ ngwaahịa na-esote ruo n'ókè o kwere mee.

Ọ na-esiri ike nke ukwuu maka nhọrọ nke substrate izute akụkụ iri na otu ahụ dị n'elu n'otu oge ahụ.Ya mere, ugbu a, anyị nwere ike ịgbanwe naanị maka R & D na mmepụta nke ngwaọrụ ọkụ na-ewepụta ọkụ semiconductor na substrates dị iche iche site na mgbanwe nke teknụzụ uto epitaxial na mgbanwe nke teknụzụ nhazi ngwaọrụ. E nwere ọtụtụ ihe substrates maka nyocha gallium nitride, mana enwere naanị substrates abụọ enwere ike iji maka mmepụta, ya bụ sapphire Al2O3 na silicon carbide.Ihe ndị dị na SiC.