تُعد مكونات الجرافيت عالية النقاء ضرورية لـنُقدم خدماتنا في عمليات صناعة أشباه الموصلات، ومصابيح LED، والطاقة الشمسية. تشمل منتجاتنا مواد الجرافيت الاستهلاكية لمناطق التسخين في عملية نمو البلورات (السخانات، وحوامل البوتقات، والعوازل)، بالإضافة إلى مكونات الجرافيت عالية الدقة لمعدات معالجة الرقائق، مثل حوامل الجرافيت المطلية بكربيد السيليكون لعمليات الترسيب الطبقي (Epitaxy) أو الترسيب الكيميائي للبخار العضوي المعدني (MOCVD). وهنا يبرز دور الجرافيت المتخصص لدينا: فالجرافيت المتساوي الضغط أساسي لإنتاج طبقات أشباه الموصلات المركبة. يتم إنتاج هذه الطبقات في "منطقة التسخين" تحت درجات حرارة عالية للغاية خلال عملية الترسيب الطبقي (Epitaxy) أو الترسيب الكيميائي للبخار العضوي المعدني (MOCVD). يتكون الحامل الدوار الذي تُطلى عليه الرقائق في المفاعل من جرافيت متساوي الضغط مطلي بكربيد السيليكون. هذا النوع من الجرافيت النقي والمتجانس هو الوحيد الذي يلبي المتطلبات العالية في عملية الطلاء.
Tالمبدأ الأساسي لنمو رقائق LED فوقية هوعلى ركيزة (مكونة أساسًا من الياقوت، أو كربيد السيليكون، أو السيليكون) يتم تسخينها إلى درجة حرارة مناسبة، تُنقل مادة InGaAlP الغازية إلى سطح الركيزة بطريقة مضبوطة لإنماء طبقة بلورية أحادية محددة. حاليًا، تعتمد تقنية إنماء رقائق LED فوقية بشكل أساسي على الترسيب الكيميائي للبخار للمعادن العضوية.
مادة الركيزة فوقية LEDتُعدّ هذه التقنية حجر الزاوية في التطور التكنولوجي لصناعة إضاءة أشباه الموصلات. وتتطلب المواد المختلفة للركائز تقنيات نمو رقائق LED فوقية مختلفة، وتقنيات معالجة الرقائق، وتقنيات تغليف الأجهزة. وتُحدد المواد المستخدمة في الركائز مسار تطور تقنية إضاءة أشباه الموصلات.
خصائص اختيار مادة ركيزة رقاقة LED المترسبة:
1. تتميز المادة المترسبة فوقيًا بنفس البنية البلورية أو بنية بلورية مشابهة للركيزة، مع تباين طفيف في ثابت الشبكة، وبلورية جيدة، وكثافة عيوب منخفضة.
2. خصائص سطحية جيدة، مواتية لتكوين نوى المواد المترسبة بالتناظر الجزيئي والالتصاق القوي
3. يتميز بثبات كيميائي جيد، ولا يتحلل أو يتآكل بسهولة في درجة حرارة وظروف النمو الطبقي.
4. أداء حراري جيد، بما في ذلك التوصيل الحراري الجيد وانخفاض عدم التوافق الحراري
5. موصلية جيدة، ويمكن تصنيعها في هيكل علوي وسفلي. 6. أداء بصري جيد، والضوء المنبعث من الجهاز المصنّع يمتصه الركيزة بشكل أقل.
7. خصائص ميكانيكية جيدة وسهولة في معالجة الأجهزة، بما في ذلك التخفيف والتلميع والقطع
8. سعر منخفض.
9. الحجم الكبير. بشكل عام، يجب ألا يقل القطر عن بوصتين.
10. من السهل الحصول على ركيزة ذات شكل منتظم (ما لم تكن هناك متطلبات خاصة أخرى)، وشكل الركيزة المشابه لفتحة صينية معدات الترسيب الطبقي ليس من السهل أن يشكل تيارًا دواميًا غير منتظم، وبالتالي يؤثر على جودة الترسيب الطبقي.
11. على أساس عدم التأثير على جودة الطبقة الرقيقة، يجب أن تلبي قابلية تشغيل الركيزة متطلبات معالجة الرقائق والتغليف اللاحقة قدر الإمكان.
من الصعب للغاية أن يلبي اختيار الركيزة الجوانب الأحد عشر المذكورة أعلاه في الوقت نفسه.لذلك، في الوقت الحالي، لا يمكننا التكيف مع البحث والتطوير وإنتاج أجهزة أشباه الموصلات الباعثة للضوء على ركائز مختلفة إلا من خلال تغيير تقنية النمو الطبقي وتعديل تقنية معالجة الأجهزة. توجد العديد من مواد الركائز لأبحاث نتريد الغاليوم، ولكن لا يوجد سوى ركيزتين يمكن استخدامهما للإنتاج، وهما الياقوت (Al2O3) وكربيد السيليكون.ركائز كربيد السيليكون.
تاريخ النشر: 28 فبراير 2022