ከፍተኛ ንፁህ የግራፋይት ክፍሎች ለሚከተሉት አስፈላጊ ናቸውበሴሚኮንዳክተር፣ በኤልኢዲ እና በፀሐይ ኢንዱስትሪ ውስጥ ያሉ ሂደቶች። የምናቀርበው አገልግሎት ከክሪስታል የሚያድጉ ሙቅ ዞኖች (ማሞቂያዎች፣ የክሩሲብል ተከላካይ፣ መከላከያ) እስከ ለዋፈር ማቀነባበሪያ መሳሪያዎች ከፍተኛ ትክክለኛነት ያላቸው የግራፋይት ክፍሎች፣ ለምሳሌ ለኤፒታክሲ ወይም ለኤምኦሲዲ ሲሊኮን ካርቦይድ የተሸፈኑ የግራፋይት ተከላካይ ክፍሎች ድረስ ይደርሳል። የእኛ ልዩ ግራፋይት የሚጫወተው እዚህ ነው፡ ኢሶስታቲክ ግራፋይት የተዋሃዱ የሴሚኮንዳክተር ንብርብሮችን ለማምረት መሰረታዊ ነው። እነዚህ የሚመነጩት ኤፒታክሲ ወይም ኤምኦሲዲ ሂደት በሚባለው ከፍተኛ ሙቀት ውስጥ በ"ሞቃት ዞን" ውስጥ ነው። ዋፈሮቹ በሪአክተሩ ውስጥ የተሸፈኑበት የሚሽከረከር ተሸካሚ፣ በሲሊኮን ካርቦይድ የተሸፈነ ኢሶስታቲክ ግራፋይት ያካትታል። ይህ በጣም ንጹህ፣ ተመሳሳይነት ያለው ግራፋይት ብቻ በሽፋን ሂደቱ ውስጥ ከፍተኛ መስፈርቶችን ያሟላል።
Tየ LED ኤፒታክሲያል ዋፈር እድገት መሰረታዊ መርህ: በተገቢ የሙቀት መጠን በሚሞቅ ንጣፍ (በዋነኝነት ሰንፔር፣ SiC እና Si) ላይ፣ InGaAlP የጋዝ ቁሱ ወደ ንጣፍ ወለል በተቆጣጠረ መንገድ ይጓጓዛል፣ ይህም የተወሰነ ነጠላ ክሪስታል ፊልም እንዲበቅል ያደርጋል። በአሁኑ ጊዜ የ LED ኤፒታክሲያል ዋፈር የእድገት ቴክኖሎጂ በዋናነት ኦርጋኒክ ብረት የኬሚካል ትነት ክምችትን ይቀበላል።
የ LED ኤፒታክሲያል ንጣፍ ቁሳቁስየሴሚኮንዳክተር መብራት ኢንዱስትሪ የቴክኖሎጂ እድገት መሰረት ነው። የተለያዩ የንጣፍ ቁሶች የተለያዩ የኤልኢዲ ኤፒታክሲያል ዋፈር እድገት ቴክኖሎጂ፣ የቺፕ ማቀነባበሪያ ቴክኖሎጂ እና የመሳሪያ ማሸጊያ ቴክኖሎጂ ያስፈልጋቸዋል። የንጣፍ ቁሶች የሴሚኮንዳክተር መብራት ቴክኖሎጂ የልማት መንገድን ይወስናሉ።
የ LED ኤፒታክሲያል ዋፈር ንጣፍ ቁሳቁስ ምርጫ ባህሪያት:
1. የኤፒታክሲያል ቁሱ ከንጥረ ነገሩ ጋር ተመሳሳይ ወይም ተመሳሳይ የሆነ የክሪስታል መዋቅር አለው፣ ትንሽ የላቲስ የማያቋርጥ አለመጣጣም፣ ጥሩ ክሪስታሊኒቲ እና ዝቅተኛ የጉድለት ጥግግት
2. ጥሩ የበይነገጽ ባህሪያት፣ ለኤፒታክሲያል ቁሶች ኒውክሊየሽን እና ለጠንካራ ማጣበቂያ ምቹ
3. ጥሩ የኬሚካል መረጋጋት ያለው ሲሆን በኤፒታክሲያል እድገት የሙቀት መጠን እና ከባቢ አየር ውስጥ ለመበከል እና ለመበላሸት ቀላል አይደለም።
4. ጥሩ የሙቀት አፈጻጸም፣ ጥሩ የሙቀት ማስተላለፊያ እና ዝቅተኛ የሙቀት አለመጣጣምን ጨምሮ
5. ጥሩ የኮንክሪት ማስተላለፊያ፣ የላይኛው እና የታችኛው መዋቅር 6 ሊሠራ ይችላል፣ ጥሩ የኦፕቲካል አፈጻጸም፣ እና በተሰራው መሳሪያ የሚወጣው ብርሃን በንጥረ ነገር አይዋጥም
7. ጥሩ የሜካኒካል ባህሪያት እና የመሳሪያዎች ቀላል ሂደት፣ ማቅለጥ፣ ማጥራት እና መቁረጥን ጨምሮ
8. ዝቅተኛ ዋጋ።
9. ትልቅ መጠን። በአጠቃላይ ዲያሜትሩ ከ2 ኢንች ያነሰ መሆን የለበትም።
10. መደበኛ የቅርጽ ንጣፍ ማግኘት ቀላል ነው (ሌሎች ልዩ መስፈርቶች ካልተሟሉ በስተቀር)፣ እና ከኤፒታክሲያል መሳሪያዎች የትሪ ቀዳዳ ጋር የሚመሳሰል የንጣፍ ቅርጽ መደበኛ ያልሆነ የኤዲ ጅረት ለመፍጠር ቀላል አይደለም፣ ስለዚህም የኤፒታክሲያል ጥራት ላይ ተጽዕኖ ያሳድራል።
11. የኤፒታክሲያል ጥራትን በማይጎዳ መልኩ፣ የንዑስ ክፍሉ የማሽን አቅም በተቻለ መጠን ለቀጣይ ቺፕ እና ለማሸጊያ ሂደት የሚያስፈልጉትን መስፈርቶች ማሟላት አለበት።
የንዑስ ክፍል ምርጫ ከላይ የተጠቀሱትን አስራ አንድ ገጽታዎች በአንድ ጊዜ ማሟላት በጣም ከባድ ነውስለዚህ፣ በአሁኑ ጊዜ፣ በተለያዩ ንጣፎች ላይ የሴሚኮንዳክተር ብርሃን አመንጪ መሳሪያዎችን በምርምር እና ዲዛይን እና ማምረት ላይ መላመድ የምንችለው የኤፒታክሲያል እድገት ቴክኖሎጂን በመቀየር እና የመሳሪያ ማቀነባበሪያ ቴክኖሎጂን በማስተካከል ብቻ ነው። ለጋሊየም ናይትሬድ ምርምር ብዙ የንጣፍ ቁሶች አሉ፣ ነገር ግን ለማምረት ጥቅም ላይ ሊውሉ የሚችሉ ሁለት ንጣፎች ብቻ አሉ፣ እነሱም ሰንፔር አል2ኦ3 እና ሲሊከን ካርቦይድ ናቸው።የሲሲ ንጣፎች.
የፖስታ ሰዓት፡ የካቲት 28-2022