Tá comhpháirteanna graifíte ard-íonachta ríthábhachtach dopróisis sa tionscal leathsheoltóra, LED agus gréine. Clúdaíonn ár dtairiscint ábhair inchaite graifíte le haghaidh criostail te atá ag fás (téitheoirí, gabhdóirí breogáin, insliú), go comhpháirteanna graifíte ardchruinneas le haghaidh trealamh próiseála vaiféir, amhail gabhdóirí graifíte atá brataithe le carbóid sileacain le haghaidh Eipitacs nó MOCVD. Seo an áit a dtagann ár ngraifít speisialtachta i bhfeidhm: tá graifít iseastatach bunúsach chun sraitheanna leathsheoltóra cumaisc a tháirgeadh. Gintear iad seo sa "chrios te" faoi theocht mhór le linn an phróisis ar a dtugtar eipitacs, nó MOCVD. Is éard atá san iompróir rothlach ar a bhfuil na vaiféir brataithe san imoibritheoir ná graifít iseastatach atá brataithe le carbóid sileacain. Ní chomhlíonann ach an graifít an-íon, aonchineálach seo na ceanglais arda sa phróiseas brataithe.
TIs é bunphrionsabal fáis na sliseán eipitacsach LED náAr foshraith (den chuid is mó saifír, SiC agus Si) a théitear go teocht chuí, iompraítear an t-ábhar gásach InGaAlP go dtí dromchla an foshraithe ar bhealach rialaithe chun scannán criostail aonair ar leith a fhás. Faoi láthair, glacann teicneolaíocht fáis na sceallóga eipitacsacha LED le taisceadh gaile ceimiceach miotail orgánaigh den chuid is mó.
Ábhar foshraithe epitaxial LEDIs bunchloch í forbairt theicneolaíoch thionscal an tsoilsithe leathsheoltóra. Éilíonn ábhair foshraithe éagsúla teicneolaíocht fáis vaiféir epitaxial LED, teicneolaíocht próiseála sliseanna agus teicneolaíocht pacáistithe gléasanna éagsúla. Cinneann ábhair foshraithe bealach forbartha na teicneolaíochta soilsithe leathsheoltóra.
Saintréithe roghnú ábhair foshraithe sceallóga epitaxial LED:
1. Tá an struchtúr criostail céanna nó cosúil leis an tsubstráit ag an ábhar eipitacsach, neamhréir bheag tairiseach laitíse, criostalachas maith agus dlús locht íseal
2. Saintréithe comhéadain mhaithe, a chabhróidh le núicléachán ábhar eipitacsach agus greamaitheacht láidir
3. Tá dea-chobhsaíocht cheimiceach aige agus ní furasta é a dhíghrádú agus a chreimeadh i dteocht agus in atmaisféar fáis eipitaxach
4. Dea-fheidhmíocht theirmeach, lena n-áirítear seoltacht theirmeach mhaith agus mí-oiriúnacht theirmeach íseal
5. Seoltacht mhaith, is féidir é a dhéanamh i struchtúr uachtarach agus íochtarach 6, feidhmíocht optúil mhaith, agus ní ionsúnn an tsubstráit an solas a astaítear ón bhfeiste monaraithe chomh minic sin.
7. Airíonna meicniúla maithe agus próiseáil éasca gléasanna, lena n-áirítear tanaithe, snasú agus gearradh
8. Praghas íseal.
9. Méid mór. Go ginearálta, ní bheidh an trastomhas níos lú ná 2 orlach.
10. Is furasta foshraith de chruth rialta a fháil (mura bhfuil ceanglais speisialta eile ann), agus níl sé éasca sruth corrach neamhrialta a fhoirmiú i gcruth an foshraithe atá cosúil le poll tráidire an trealaimh eipitacsaigh, rud a théann i bhfeidhm ar cháilíocht an eipitacsaigh.
11. Ar an mbonn nach ndéanfar difear don cháilíocht eipitacsach, comhlíonfaidh inmheaisínteacht an tsubstráit ceanglais na próiseála sceallóga agus pacáistithe ina dhiaidh sin a mhéid is féidir.
Tá sé an-deacair go gcomhlíonfaidh roghnú foshraithe na haon ghné déag thuas ag an am céanna.Dá bhrí sin, faoi láthair, ní féidir linn oiriúnú do T&F agus táirgeadh gléasanna astaithe solais leathsheoltóra ar foshraitheanna éagsúla ach trí athrú ar theicneolaíocht fáis eipitacsaigh agus coigeartú ar theicneolaíocht próiseála gléasanna. Tá go leor ábhar foshraithe ann le haghaidh taighde níotráite ghailliam, ach níl ach dhá fhoshraith is féidir a úsáid le haghaidh táirgthe, eadhon saifír Al2O3 agus cairbíd sileacain.Foshraitheanna SiC.
Am an phoist: 28 Feabhra 2022