Àwọn èròjà graphite tí ó ní ìmọ́tótó gíga ṣe pàtàkì síÀwọn ìlànà nínú ilé iṣẹ́ semiconductor, LED àti ilé iṣẹ́ oòrùn. Àwọn ohun tí a ń pèsè wà láti àwọn ohun èlò graphite fún àwọn agbègbè gbígbóná tí a ń gbìn kirisita (àwọn ohun èlò ìgbóná, àwọn ohun èlò ìdènà, ìdènà), sí àwọn èròjà graphite tí ó péye fún àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́ wafer, bíi silicon carbide susceptors graphite tí a fi silicon carbide bo fún Epitaxy tàbí MOCVD. Ibí ni graphite pàtàkì wa ti bẹ̀rẹ̀ sí í ṣiṣẹ́: isostatic graphite jẹ́ pàtàkì fún ṣíṣe àwọn ìpele semiconductor oníṣọ̀kan. Àwọn wọ̀nyí ni a ń ṣẹ̀dá ní “agbègbè gbígbóná” lábẹ́ àwọn iwọ̀n otútù líle koko nígbà tí a ń pè ní epitaxy, tàbí ìlànà MOCVD. Agbára tí ń yípo tí a fi àwọn wafers bo nínú reactor, ní graphite isostatic tí a fi silicon carbide bo. Graphite mímọ́ gan-an yìí nìkan ló bá àwọn ohun tí a béèrè fún mu nínú ìlànà ìbòrí.
TIlana ipilẹ ti idagbasoke wafer epitaxial LED jẹ: lórí ohun èlò ìgbóná (pàápàá jùlọ, sapphire, SiC àti Si) tí a ti gbóná sí iwọ̀n otútù tó yẹ, a máa ń gbé ohun èlò gaseous InGaAlP lọ sí ojú ilẹ̀ náà ní ọ̀nà tí a lè ṣàkóso láti gbin fíìmù kirisita kan pàtó kan. Lọ́wọ́lọ́wọ́, ìmọ̀-ẹ̀rọ ìdàgbàsókè ti wafer epitaxial LED gba ìdènà èéfín kemikali irin organic.
Ohun elo ipilẹ epitaxial LEDni ipilẹ̀ ìdàgbàsókè ìmọ̀-ẹ̀rọ ti ilé-iṣẹ́ ìmọ́lẹ̀ semiconductor. Oríṣiríṣi ohun èlò substrate nílò ìmọ̀-ẹ̀rọ ìdàgbàsókè wafer LED tó yàtọ̀ síra, ìmọ̀-ẹ̀rọ ṣíṣe chip àti ìmọ̀-ẹ̀rọ ìpamọ́ ẹ̀rọ. Àwọn ohun èlò substrate ló ń pinnu ipa ọ̀nà ìdàgbàsókè ìmọ̀-ẹ̀rọ ìmọ́lẹ̀ semiconductor.
Awọn abuda ti yiyan ohun elo ohun elo wafer epitaxial LED:
1. Ohun èlò epitaxial náà ní ìrísí kristali kan náà tàbí irú rẹ̀ pẹ̀lú substrate náà, àìbáramu lattice kékeré tí ó dúró ṣinṣin, crystallinity tí ó dára àti ìwọ̀n àbùkù kékeré.
2. Awọn abuda wiwo ti o dara, ti o ṣe iranlọwọ fun nucleation ti awọn ohun elo epitaxial ati ifaramọ ti o lagbara
3. Ó ní ìdúróṣinṣin kẹ́míkà tó dára, kò sì rọrùn láti jẹrà tàbí láti bàjẹ́ nínú iwọ̀n otútù àti afẹ́fẹ́ ìdàgbàsókè epitaxial.
4. Iṣẹ́ ooru tó dára, pẹ̀lú agbára ìgbóná tó dára àti àìbáramu ooru tó kéré
5. Ìgbékalẹ̀ tó dára, a lè ṣe é sí apá òkè àti ìsàlẹ̀ ilé 6, iṣẹ́ opitika tó dára, ìmọ́lẹ̀ tí ẹ̀rọ tí a ṣe náà ń tú jáde kò sì ní gbà á mọ́.
7. Awọn ohun-ini ẹrọ ti o dara ati sisẹ irọrun ti awọn ẹrọ, pẹlu tinrin, didan ati gige
8. Owó kékeré.
9. Ìwọ̀n tóbi. Ní gbogbogbòò, ìwọ̀n ìbú kò gbọdọ̀ dín ju ínṣì méjì lọ.
10. Ó rọrùn láti rí ìrísí ìrísí déédé (àyàfi tí àwọn ohun pàtàkì mìíràn bá wà), àti pé ìrísí ìrísí ìrísí tí ó jọ ihò atẹ ti ohun èlò epitaxial kò rọrùn láti ṣẹ̀dá ìṣàn eddy tí kò báramu, kí ó baà lè nípa lórí dídára epitaxial.
11. Nítorí pé kò ní ní ipa lórí dídára epitaxial, agbára ìṣiṣẹ́ ti substrate náà gbọ́dọ̀ bá àwọn ohun tí a nílò fún ṣíṣe chip àti packing tí ó tẹ̀lé e mu dé ibi tí ó bá ti ṣeé ṣe tó.
Ó ṣòro gan-an fún yíyan ohun èlò ìṣàlẹ̀ láti bá àwọn ohun mọ́kànlá tí a mẹ́nu kàn lókè yìí mu ní àkókò kan náà.Nítorí náà, lọ́wọ́lọ́wọ́, a lè ṣe àtúnṣe sí Ìwádìí àti Ìṣẹ̀dá àti Ìṣẹ̀dá àwọn ẹ̀rọ ìmọ́lẹ̀ semiconductor lórí àwọn ohun èlò ìṣẹ̀dá oríṣiríṣi substrates nípasẹ̀ ìyípadà ìmọ̀ ẹ̀rọ ìdàgbàsókè epitaxial àti àtúnṣe ìmọ̀ ẹ̀rọ ìṣiṣẹ́ ẹ̀rọ. Ọ̀pọ̀lọpọ̀ ohun èlò substrates ló wà fún ìwádìí gallium nitride, ṣùgbọ́n àwọn substrates méjì péré ló wà tí a lè lò fún ìṣẹ̀dá, eyun sapphire Al2O3 àti silicon carbideÀwọn ohun èlò SiC.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Feb-28-2022