අධි-පිරිසිදු මිනිරන් සංරචක ඉතා වැදගත් වන්නේඅර්ධ සන්නායක, LED සහ සූර්ය කර්මාන්තවල ක්රියාවලීන්. අපගේ පිරිනැමීම ස්ඵටික වැඩෙන උණුසුම් කලාප සඳහා ග්රැෆයිට් පරිභෝජන ද්රව්ය (හීටර්, කෲසිබල් සසෙප්ටර්, පරිවරණය) සිට එපිටැක්සි හෝ MOCVD සඳහා සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපිත ග්රැෆයිට් සසෙප්ටර් වැනි වේෆර් සැකසුම් උපකරණ සඳහා ඉහළ නිරවද්යතාවයකින් යුත් ග්රැෆයිට් සංරචක දක්වා විහිදේ. අපගේ විශේෂිත ග්රැෆයිට් ක්රියාත්මක වන්නේ මෙහිදීය: සමස්ථානික ග්රැෆයිට් සංයෝග අර්ධ සන්නායක ස්ථර නිෂ්පාදනය සඳහා මූලික වේ. මේවා ඊනියා එපිටැක්සි හෝ MOCVD ක්රියාවලියේදී අධික උෂ්ණත්ව යටතේ “උණුසුම් කලාපයේ” ජනනය වේ. ප්රතික්රියාකාරකයේ වේෆර් ආලේප කර ඇති භ්රමණය වන වාහකය සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපිත සමස්ථානික ග්රැෆයිට් වලින් සමන්විත වේ. ආලේපන ක්රියාවලියේදී ඉහළ අවශ්යතා සපුරාලන්නේ මෙම ඉතා පිරිසිදු, සමජාතීය ග්රැෆයිට් පමණි.
TLED එපිටැක්සියල් වේෆර් වර්ධනයේ මූලික මූලධර්මය වන්නේ: සුදුසු උෂ්ණත්වයකට රත් කරන ලද උපස්ථරයක් (ප්රධාන වශයෙන් නිල් මැණික්, SiC සහ Si) මත, වායුමය ද්රව්ය InGaAlP නිශ්චිත තනි ස්ඵටික පටලයක් වර්ධනය කිරීම සඳහා පාලිත ආකාරයකින් උපස්ථර මතුපිටට ප්රවාහනය කෙරේ. වර්තමානයේ, LED එපිටැක්සියල් වේෆරයේ වර්ධන තාක්ෂණය ප්රධාන වශයෙන් කාබනික ලෝහ රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම භාවිතා කරයි.
LED එපිටැක්සියල් උපස්ථර ද්රව්යඅර්ධ සන්නායක ආලෝකකරණ කර්මාන්තයේ තාක්ෂණික සංවර්ධනයේ මූලික ගල වේ. විවිධ උපස්ථර ද්රව්ය සඳහා විවිධ LED එපිටැක්සියල් වේෆර් වර්ධන තාක්ෂණය, චිප් සැකසුම් තාක්ෂණය සහ උපාංග ඇසුරුම් තාක්ෂණය අවශ්ය වේ. උපස්ථර ද්රව්ය අර්ධ සන්නායක ආලෝකකරණ තාක්ෂණයේ සංවර්ධන මාර්ගය තීරණය කරයි.
LED එපිටැක්සියල් වේෆර් උපස්ථර ද්රව්ය තෝරාගැනීමේ ලක්ෂණ:
1. එපිටැක්සියල් ද්රව්යය උපස්ථරය සමඟ එකම හෝ සමාන ස්ඵටික ව්යුහයක්, කුඩා දැලිස් නියත නොගැලපීම, හොඳ ස්ඵටිකතාව සහ අඩු දෝෂ ඝනත්වය ඇත.
2. හොඳ අතුරුමුහුණත් ලක්ෂණ, එපිටැක්සියල් ද්රව්යවල න්යෂ්ටිකකරණයට සහ ශක්තිමත් ඇලීමට හිතකර වේ.
3. එය හොඳ රසායනික ස්ථායීතාවයක් ඇති අතර එපිටැක්සියල් වර්ධනයේ උෂ්ණත්වය සහ වායුගෝලය තුළ දිරාපත් වීමට සහ විඛාදනයට ලක්වීමට පහසු නොවේ.
4. හොඳ තාප සන්නායකතාවය සහ අඩු තාප නොගැලපීම ඇතුළුව හොඳ තාප කාර්ය සාධනය
5. හොඳ සන්නායකතාවය, ඉහළ සහ පහළ ව්යුහය 6 බවට පත් කළ හැකිය, හොඳ දෘශ්ය ක්රියාකාරිත්වය, සහ නිපදවන ලද උපාංගයෙන් විමෝචනය වන ආලෝකය උපස්ථරය මගින් අඩුවෙන් අවශෝෂණය වේ.
7. සිහින් කිරීම, ඔප දැමීම සහ කැපීම ඇතුළු උපාංගවල හොඳ යාන්ත්රික ගුණාංග සහ පහසු සැකසුම්
8. අඩු මිල.
9. විශාල ප්රමාණය. සාමාන්යයෙන් විෂ්කම්භය අඟල් 2 ට නොඅඩු විය යුතුය.
10. නිත්ය හැඩැති උපස්ථරයක් ලබා ගැනීම පහසුය (වෙනත් විශේෂ අවශ්යතා නොමැති නම්), සහ එපිටැක්සියල් උපකරණවල තැටි සිදුරට සමාන උපස්ථර හැඩය එපිටැක්සියල් ගුණාත්මක භාවයට බලපාන පරිදි අක්රමවත් සුළි ධාරාවක් සෑදීම පහසු නොවේ.
11. එපිටැක්සියල් ගුණාත්මක භාවයට බලපෑමක් නොවන බවට පදනම මත, උපස්ථරයේ යන්ත්රෝපකරණ හැකියාව හැකිතාක් දුරට පසුකාලීන චිප් සහ ඇසුරුම් සැකසුම් අවශ්යතා සපුරාලිය යුතුය.
ඉහත සඳහන් අංශ එකොළහ එකවර සපුරාලීම උපස්ථරය තෝරා ගැනීම සඳහා ඉතා අපහසුය.. එබැවින්, වර්තමානයේදී, අපට විවිධ උපස්ථරවල අර්ධ සන්නායක ආලෝක විමෝචක උපාංගවල පර්යේෂණ සහ සංවර්ධන කටයුතු සහ නිෂ්පාදනයට අනුවර්තනය විය හැක්කේ එපිටැක්සියල් වර්ධන තාක්ෂණය වෙනස් කිරීම සහ උපාංග සැකසුම් තාක්ෂණය සකස් කිරීම හරහා පමණි. ගැලියම් නයිට්රයිඩ් පර්යේෂණ සඳහා බොහෝ උපස්ථර ද්රව්ය ඇත, නමුත් නිෂ්පාදනය සඳහා භාවිතා කළ හැකි උපස්ථර දෙකක් පමණි, එනම් නිල් මැණික් Al2O3 සහ සිලිකන් කාබයිඩ්.SiC උපස්ථර.
පළ කිරීමේ කාලය: පෙබරවාරි-28-2022