E taua tele vaega o le graphite e maualuga le mama io faiga i totonu o le semiconductor, LED ma le alamanuia o le la. O a matou oloa e aofia ai mea e fa'aaogaina i le graphite mo vaega vevela o le tuputupu a'e o le tioata (mea fa'avevela, mea e fa'apipi'i ai le ogaumu, mea e fa'avevela ai le vevela), i vaega o le graphite e maualuga le sa'o mo masini e fa'agasolo ai le wafer, e pei o le graphite ua ufiufi i le silicon carbide mo Epitaxy po'o le MOCVD. O iinei e amata ai ona fa'aaogaina la matou graphite fa'apitoa: o le isostatic graphite e taua tele mo le gaosiga o vaega semiconductor tu'ufa'atasi. O nei mea e gaosia i le "hot zone" i lalo o le vevela tele i le taimi o le mea e ta'ua o le epitaxy, po'o le faiga o le MOCVD. O le mea e feavea'i ai le uila lea e ufiufi ai wafers i totonu o le reactor, e aofia ai le silicon carbide-coated isostatic graphite. Na'o lenei graphite e matua mama ma tutusa e ausia ai mana'oga maualuluga i le faiga o le ufiufi.
To le mataupu faavae autu o le tuputupu aʻe o le epitaxial wafer LED oI luga o se mea fa'apipi'i (e masani lava o le safaira, SiC ma le Si) e fa'avevela i se vevela talafeagai, o le mea kesi InGaAlP e feavea'i i luga o le mea fa'apipi'i i se auala fa'atonutonu e fa'atupu ai se ata tioata e tasi. I le taimi nei, o le tekinolosi tuputupu a'e o le LED epitaxial wafer e fa'aaogaina tele le fa'aputuina o le ausa kemikolo u'amea fa'anatura.
Meafaitino epitaxial LEDo le maa tulimanu lea o le atinaʻeina o tekinolosi o le alamanuia o moli semiconductor. O mea eseese e manaʻomia ai le tekinolosi eseese o le tuputupu aʻe o le LED epitaxial wafer, tekinolosi o le faʻagasologaina o le chip ma tekinolosi o le afifiina o masini. O mea e faʻaaogaina e fuafua ai le auala e atiina ae ai le tekinolosi o moli semiconductor.
Uiga o le filifiliga o meafaitino o le substrate wafer epitaxial LED:
1. O le mea epitaxial e tutusa pe tutusa le fausaga o le tioata ma le substrate, e laʻititi le feteʻenaʻiga o le lattice constant, lelei le crystallinity ma maualalo le mafiafia o le faaletonu
2. Uiga lelei o le feso'ota'iga, e fesoasoani i le fa'apipi'iina o mea epitaxial ma le pipii malosi
3. E lelei lona mautu fa'akemikolo ma e le faigofie ona pala ma pala i le vevela ma le siosiomaga o le tuputupu a'e epitaxial
4. Fa'atinoga lelei o le vevela, e aofia ai le lelei o le fa'avevela ma le maualalo o le le fetaui o le vevela
5. Lelei le fa'atinoina o le eletise, e mafai ona faia i le fausaga pito i luga ma le pito i lalo 6, lelei le fa'atinoga opitika, ma o le malamalama e fa'asalalauina e le masini ua gaosia e itiiti le mitiia e le substrate
7. Meatotino lelei fa'amekanika ma faigofie ona fa'agasolo masini, e aofia ai le fa'amama, fa'apulusaina ma le tipiina
8. Tau maualalo.
9. Tele. E masani lava, e le tatau ona itiiti ifo le lautele i le 2 inisi.
10. E faigofie ona maua le foliga masani o le substrate (sei vagana ua i ai isi manaʻoga faapitoa), ma o le foliga o le substrate e tutusa ma le pu o le fata o meafaigaluega epitaxial e le faigofie ona fausia ai le tafe eletise e le masani ai, o lea e aʻafia ai le lelei o le epitaxial.
11. I luga o le manatu e le afaina ai le tulaga lelei o le epitaxial, o le faigofie ona fa'aogaina o le substrate e tatau ona ausia mana'oga o le fa'agasologa o le chip ma le afifiina i le mea e gata ai.
E faigata tele mo le filifilia o le substrate ona ausia vaega e sefulutasi o loʻo i luga i le taimi e tasi.O le mea lea, i le taimi nei, e na'o le suiga o le tekinolosi tuputupu a'e epitaxial ma le fetu'una'iga o le tekinolosi fa'agasologa o masini e mafai ona tatou fetu'una'i i le R & D ma le gaosiga o masini semiconductor e fa'asalalauina ai le malamalama i luga o substrates eseese e ala i le suiga o le tekinolosi tuputupu a'e epitaxial ma le fetu'una'iga o le tekinolosi fa'agasologa o masini e mafai ona tatou faia. E tele mea e fai ai substrate mo su'esu'ega o le gallium nitride, ae e na'o le lua substrates e mafai ona fa'aaogaina mo le gaosiga, o le sapphire Al2O3 ma le silicon carbide.SiC substrates.
Taimi na lafoina ai: Fepuari-28-2022