உயர் தூய்மை கிராஃபைட் கூறுகள் முக்கியமானவைகுறைக்கடத்தி, LED மற்றும் சூரிய ஆற்றல் தொழிற்துறையில் உள்ள செயல்முறைகள். படிக வளர்ப்பு வெப்ப மண்டலங்களுக்கான (வெப்பமூட்டிகள், மூசை ஏற்பிகள், காப்புப் பொருள்) கிராஃபைட் நுகர்பொருட்கள் முதல், எபிடாக்ஸி அல்லது MOCVD-க்கான சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஏற்பிகள் போன்ற, வேஃபர் செயலாக்க உபகரணங்களுக்கான உயர்-துல்லியமான கிராஃபைட் பாகங்கள் வரை எங்கள் தயாரிப்புகள் பரந்து விரிந்துள்ளன. இங்குதான் எங்களின் சிறப்பு கிராஃபைட் முக்கியப் பங்கு வகிக்கிறது: கூட்டு குறைக்கடத்தி அடுக்குகளின் உற்பத்திக்கு ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட் அடிப்படையானது. இவை, எபிடாக்ஸி அல்லது MOCVD எனப்படும் செயல்முறையின் போது, "வெப்ப மண்டலத்தில்" தீவிர வெப்பநிலையில் உருவாக்கப்படுகின்றன. உலையில் வேஃபர்கள் பூசப்படும் சுழலும் தாங்கியானது, சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட்டைக் கொண்டுள்ளது. இந்த மிகவும் தூய்மையான, ஒருபடித்தான கிராஃபைட் மட்டுமே பூச்சு செயல்முறையின் உயர் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது.
TLED எபிடெக்சியல் வேஃபர் வளர்ச்சியின் அடிப்படைக் கொள்கை என்பதுபொருத்தமான வெப்பநிலைக்குச் சூடுபடுத்தப்பட்ட ஒரு அடித்தளத்தின் (முக்கியமாக நீலக்கல், SiC மற்றும் Si) மீது, வாயுப் பொருளான InGaAlP கட்டுப்படுத்தப்பட்ட முறையில் அடித்தளத்தின் மேற்பரப்பிற்குக் கொண்டு செல்லப்பட்டு ஒரு குறிப்பிட்ட ஒற்றைப் படிகப் படலம் வளர்க்கப்படுகிறது. தற்போது, LED எபிடெக்சியல் வேஃபரின் வளர்ச்சித் தொழில்நுட்பம் முக்கியமாக கரிம உலோக வேதி ஆவிப் படிவு முறையைப் பயன்படுத்துகிறது.
LED எபிடெக்சியல் அடி மூலக்கூறு பொருள்குறைக்கடத்தி ஒளித் தொழில்துறையின் தொழில்நுட்ப வளர்ச்சிக்கு இதுவே அடித்தளமாகும். வெவ்வேறு அடி மூலக்கூறு பொருட்களுக்கு வெவ்வேறு LED புறவளர்ச்சித் தகடு வளர்ப்புத் தொழில்நுட்பம், சில்லு செயலாக்கத் தொழில்நுட்பம் மற்றும் சாதனப் பொதியிடல் தொழில்நுட்பம் தேவைப்படுகின்றன. அடி மூலக்கூறு பொருட்களே குறைக்கடத்தி ஒளித் தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சிப் பாதையைத் தீர்மானிக்கின்றன.
LED எபிடெக்சியல் வேஃபர் அடி மூலக்கூறு பொருள் தேர்வின் பண்புகள்:
1. எபிடெக்சியல் பொருளானது, அடி மூலக்கூறுடன் அதே அல்லது ஒத்த படிக அமைப்பையும், சிறிய லேட்டிஸ் மாறிலிப் பொருத்தமின்மையையும், நல்ல படிகத்தன்மையையும் மற்றும் குறைந்த குறைபாட்டு அடர்த்தியையும் கொண்டுள்ளது.
2. எபிடெக்சியல் பொருட்களின் கருவாக்கத்திற்கும் வலுவான ஒட்டுதலுக்கும் உகந்த, நல்ல இடைமுகப் பண்புகள்.
3. இது நல்ல வேதியியல் நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் புறவளர்ச்சியின் வெப்பநிலை மற்றும் சூழலில் எளிதில் சிதைவடைவதும் அரிப்படைவதும் இல்லை.
4. சிறந்த வெப்பக் கடத்துத்திறன் மற்றும் குறைந்த வெப்பப் பொருத்தமின்மை உள்ளிட்ட நல்ல வெப்பச் செயல்திறன்.
5. நல்ல கடத்துத்திறன், மேல் மற்றும் கீழ் கட்டமைப்பாக உருவாக்க முடியும் 6. நல்ல ஒளியியல் செயல்திறன், மற்றும் தயாரிக்கப்பட்ட சாதனத்திலிருந்து வெளிப்படும் ஒளி, அடி மூலக்கூறால் குறைவாகவே உறிஞ்சப்படுகிறது.
7. நல்ல இயந்திரப் பண்புகள் மற்றும் மெல்லியதாக்குதல், மெருகூட்டுதல் மற்றும் வெட்டுதல் உள்ளிட்ட கருவிகளை எளிதாகச் செயலாக்குதல்.
8. குறைந்த விலை.
9. பெரிய அளவு. பொதுவாக, விட்டம் 2 அங்குலத்திற்குக் குறைவாக இருக்கக்கூடாது.
10. சீரான வடிவமுடைய அடி மூலக்கூறைப் பெறுவது எளிது (வேறு சிறப்புத் தேவைகள் இல்லாத பட்சத்தில்), மேலும், எபிடெக்சியல் உபகரணத்தின் தட்டுத் துளையை ஒத்த அடி மூலக்கூறு வடிவமானது, எபிடெக்சியல் தரத்தைப் பாதிக்கும் வகையில் ஒழுங்கற்ற சுழல் மின்னோட்டத்தை எளிதில் உருவாக்குவதில்லை.
11. புறவளர்ச்சித் தரத்தைப் பாதிக்காத அடிப்படையில், அடி மூலக்கூறின் இயந்திரச் செயலாக்கத் திறன், அதைத் தொடர்ந்த சில்லு மற்றும் பொதியிடல் செயலாக்கத்தின் தேவைகளை இயன்றவரை பூர்த்தி செய்ய வேண்டும்.
அடி மூலக்கூறைத் தேர்ந்தெடுக்கும்போது, மேற்கூறிய பதினொரு அம்சங்களையும் ஒரே நேரத்தில் பூர்த்தி செய்வது மிகவும் கடினம்.எனவே, தற்சமயம், புறவளர்ச்சித் தொழில்நுட்ப மாற்றம் மற்றும் சாதனச் செயலாக்கத் தொழில்நுட்பச் சரிசெய்தல் ஆகியவற்றின் மூலமாக மட்டுமே, வெவ்வேறு அடி மூலக்கூறுகளில் குறைக்கடத்தி ஒளி உமிழும் சாதனங்களின் ஆராய்ச்சி, மேம்பாடு மற்றும் உற்பத்திக்கு நம்மால் தகவமைத்துக் கொள்ள முடியும். காலியம் நைட்ரைடு ஆராய்ச்சிக்காகப் பல அடி மூலக்கூறுப் பொருட்கள் உள்ளன, ஆனால் உற்பத்திக்குப் பயன்படுத்தக்கூடிய இரண்டு அடி மூலக்கூறுகள் மட்டுமே உள்ளன, அவை சபையர் Al2O3 மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு ஆகும்.SiC அடி மூலக்கூறுகள்.
பதிவிட்ட நேரம்: பிப்ரவரி 28, 2022