Nerovnoměrnost iontového bombardování
Schnoutleptje obvykle proces, který kombinuje fyzikální a chemické účinky, přičemž iontové bombardování je důležitou metodou fyzikálního leptání. Běhemproces leptání, úhel dopadu a rozložení energie iontů může být nerovnoměrné.
Pokud se úhel dopadu iontů v různých polohách bočnice liší, bude se lišit i leptací účinek iontů na bočnici. V oblastech s většími úhly dopadu iontů je leptací účinek iontů na bočnici silnější, což způsobí, že boční stěna v této oblasti bude více leptána a následně se ohne. Kromě toho nerovnoměrné rozložení energie iontů bude mít podobné účinky. Ionty s vyšší energií mohou odstraňovat materiály efektivněji, což má za následek nekonzistentní...leptstupňů boční stěny v různých polohách, což následně způsobuje její ohýbání.
Vliv fotorezistu
Fotorezist hraje při suchém leptání roli masky a chrání oblasti, které není nutné leptat. Fotorezist je však také ovlivněn bombardováním plazmatem a chemickými reakcemi během procesu leptání a jeho výkon se může změnit.
Pokud je tloušťka fotorezistu nerovnoměrná, spotřeba materiálu během leptání je nekonzistentní nebo je adheze mezi fotorezistem a substrátem na různých místech odlišná, může to vést k nerovnoměrné ochraně bočních stěn během leptání. Například oblasti s tenčím fotorezistem nebo slabší adhezí mohou vést k snadnějšímu leptání podkladového materiálu, což může vést k ohnutí bočních stěn v těchto místech.
Rozdíly ve vlastnostech substrátového materiálu
Samotný leptaný substrát může mít různé vlastnosti, jako například různou orientaci krystalů a koncentraci dopingu v různých oblastech. Tyto rozdíly ovlivní rychlost leptání a selektivitu leptání.
Například v krystalickém křemíku je uspořádání atomů křemíku v různých krystalových orientacích odlišné a jejich reaktivita a rychlost leptání s leptacím plynem se také budou lišit. Během procesu leptání způsobují různé rychlosti leptání v důsledku rozdílů ve vlastnostech materiálu nekonzistentní hloubku leptání bočních stěn na různých místech, což nakonec vede k jejich ohnutí.
Faktory související s vybavením
Výkon a stav leptacího zařízení mají také důležitý vliv na výsledky leptání. Například problémy, jako je nerovnoměrné rozložení plazmatu v reakční komoře a nerovnoměrné opotřebení elektrod, mohou vést k nerovnoměrnému rozložení parametrů, jako je hustota iontů a energie, na povrchu destičky během leptání.
Kromě toho může nerovnoměrná regulace teploty zařízení a mírné kolísání proudění plynu ovlivnit rovnoměrnost leptání, což vede k ohýbání bočních stěn.
Čas zveřejnění: 3. prosince 2024