İon bombardmanının qeyri-bərabərliyi
Quruaşındırmaadətən fiziki və kimyəvi təsirləri birləşdirən bir prosesdir və bu prosesdə ion bombardmanı vacib fiziki aşındırma metodudur.aşındırma prosesi, ionların düşmə bucağı və enerji paylanması qeyri-bərabər ola bilər.
Əgər ion düşmə bucağı yan divarın müxtəlif mövqelərində fərqlidirsə, ionların yan divara aşındırma təsiri də fərqli olacaq. Daha böyük ion düşmə bucaqları olan ərazilərdə ionların yan divara aşındırma təsiri daha güclüdür və bu da bu sahədəki yan divarın daha çox aşınmasına və yan divarın əyilməsinə səbəb olacaq. Bundan əlavə, ion enerjisinin qeyri-bərabər paylanması da oxşar təsirlər yaradacaq. Daha yüksək enerjiyə malik ionlar materialları daha effektiv şəkildə kənarlaşdıra bilər və bu da uyğunsuzluğa səbəb olur.aşındırmayan divarın müxtəlif mövqelərdəki dərəcələri, bu da öz növbəsində yan divarın əyilməsinə səbəb olur.
Fotorezistin təsiri
Fotorezist quru aşındırmada maska rolunu oynayır və aşındırılmasına ehtiyac olmayan sahələri qoruyur. Bununla belə, fotorezist aşındırma prosesi zamanı plazma bombardmanı və kimyəvi reaksiyalardan da təsirlənir və onun performansı dəyişə bilər.
Əgər fotorezistin qalınlığı qeyri-bərabərdirsə, aşındırma prosesi zamanı sərfiyyat sürəti uyğun deyilsə və ya fotorezistlə substrat arasındakı yapışma müxtəlif yerlərdə fərqlidirsə, bu, aşındırma prosesi zamanı yan divarların qeyri-bərabər qorunmasına səbəb ola bilər. Məsələn, daha nazik fotorezist və ya daha zəif yapışma olan sahələr altındakı materialın daha asan aşınmasına səbəb ola bilər və bu da yan divarların bu yerlərdə əyilməsinə səbəb ola bilər.
Substrat materialının xüsusiyyətlərindəki fərqlər
Oyulmuş substrat materialının özü fərqli xüsusiyyətlərə malik ola bilər, məsələn, müxtəlif bölgələrdə fərqli kristal istiqamətləri və aşqarlama konsentrasiyaları. Bu fərqlər aşınma sürətinə və aşınma seçiciliyinə təsir göstərəcəkdir.
Məsələn, kristal silikonda silikon atomlarının müxtəlif kristal istiqamətlərində düzülüşü fərqlidir və onların aşınma qazı ilə reaktivliyi və aşınma sürəti də fərqli olacaq. Aşınma prosesi zamanı material xüsusiyyətlərindəki fərqlərdən qaynaqlanan fərqli aşınma sürətləri yan divarların aşınma dərinliyini fərqli yerlərdə uyğunsuz edəcək və nəticədə yan divarların əyilməsinə səbəb olacaq.
Avadanlıqla əlaqəli amillər
Aşındırma avadanlığının performansı və vəziyyəti də aşındırma nəticələrinə mühüm təsir göstərir. Məsələn, reaksiya kamerasında plazmanın qeyri-bərabər paylanması və elektrodun qeyri-bərabər aşınması kimi problemlər aşındırma zamanı lövhə səthində ion sıxlığı və enerji kimi parametrlərin qeyri-bərabər paylanmasına səbəb ola bilər.
Bundan əlavə, avadanlığın qeyri-bərabər temperatur nəzarəti və qaz axınındakı cüzi dalğalanmalar da aşındırmanın vahidliyinə təsir göstərə bilər və bu da yan divarların əyilməsinə səbəb ola bilər.
Yazı vaxtı: 03 Dekabr 2024