Az ionbombázás nem egyenletessége
Szárazrézkarcáltalában egy olyan folyamat, amely fizikai és kémiai hatásokat ötvöz, amelyben az ionbombázás fontos fizikai marási módszer. A folyamat soránmaratási folyamataz ionok beesési szöge és energiaeloszlása egyenetlen lehet.
Ha az ionok beesési szöge az oldalfal különböző pontjain eltérő, az ionok maró hatása az oldalfalon is eltérő lesz. A nagyobb ion beesési szögű területeken az ionok maró hatása az oldalfalon erősebb, ami az oldalfal ezen a területen történő nagyobb marását okozza, ami az oldalfal görbülését okozza. Ezenkívül az ionenergia egyenetlen eloszlása is hasonló hatásokat okoz. A nagyobb energiájú ionok hatékonyabban tudják eltávolítani az anyagokat, ami inkonzisztens eredményt eredményez.rézkarcaz oldalfal különböző fokokban történő elmozdulása, ami viszont az oldalfal görbülését okozza.
A fotoreziszt hatása
A fotoreziszt maszkként működik a szárazmaratás során, védve azokat a területeket, amelyeket nem kell maratni. A fotorezisztre azonban hatással vannak a plazmabombázás és a maratás során lejátszódó kémiai reakciók is, így a teljesítménye változhat.
Ha a fotoreziszt vastagsága egyenetlen, a maratás során a fogyasztási sebesség nem egyenletes, vagy a fotoreziszt és az aljzat közötti tapadás különböző helyeken eltérő, az az oldalfalak egyenetlen védelméhez vezethet a maratás során. Például a vékonyabb fotoreziszttel vagy gyengébb tapadású területeken az alatta lévő anyag könnyebben maratható, ami az oldalfalak görbülését okozhatja ezeken a helyeken.
Az aljzatanyag tulajdonságainak különbségei
Maga a maratott hordozóanyag eltérő tulajdonságokkal rendelkezhet, például eltérő kristályorientációval és adalékkoncentrációval a különböző régiókban. Ezek a különbségek befolyásolják a maratás sebességét és a maratás szelektivitását.
Például a kristályos szilíciumban a szilíciumatomok elrendezése a különböző kristályorientációkban eltérő, és reakcióképességük, valamint marási sebességük a marógázzal szintén eltérő lesz. A marási folyamat során az anyagtulajdonságok közötti különbségek által okozott eltérő marási sebességek miatt az oldalfalak marási mélysége a különböző helyeken egyenetlen lesz, ami végső soron az oldalfal görbüléséhez vezet.
Felszereléssel kapcsolatos tényezők
A maróberendezés teljesítménye és állapota szintén fontos hatással van a maratás eredményeire. Például az olyan problémák, mint az egyenetlen plazmaeloszlás a reakciókamrában és az egyenetlen elektródakopás, a maratás során a paraméterek, például az ionsűrűség és az energia egyenetlen eloszlásához vezethetnek a lapka felületén.
Ezenkívül a berendezés egyenetlen hőmérséklet-szabályozása és a gázáramlás enyhe ingadozása is befolyásolhatja a maratás egyenletességét, ami az oldalfal görbüléséhez vezethet.
Közzététel ideje: 2024. dec. 03.