Aiseā e pi'o ai puipui i autafa i le taimi e vaneina ai i le mago?

Le tutusa o le fa'apa'uina o le ion

Magovaliinae masani lava o se faiga e tu'ufa'atasia ai aafiaga fa'aletino ma fa'akemikolo, lea o le fa'a'aina o le ion o se metotia taua o le eliina fa'aletino. I le taimi o lefaiga o le vaneina, e ono lē tutusa le tulimanu o le osofa'iga ma le tufatufaina atu o le malosi o ions.

Afai e eseese le tulimanu o le ion e ulufale mai i tulaga eseese i le puipui i autafa, o le a eseese foʻi le aafiaga o le tipiina o ions i luga o le puipui i autafa. I vaega e tetele atu tulimanu o le ion e ulufale mai ai, e sili atu le malosi o le aafiaga o le tipiina o ions i luga o le puipui i autafa, lea o le a mafua ai ona sili atu ona tipiina le puipui i lenei vaega, ma mafua ai ona punou le puipui i autafa. E le gata i lea, o le tufatufaina lē tutusa o le malosi o ion o le a maua ai foʻi ni aafiaga faapena. E mafai e ions e maualuga le malosi ona aveese meafaitino i se auala sili atu ona lelei, ma iʻu ai i le lē tutusa.valiinatikeri o le puipui i itu i tulaga eseese, lea e mafua ai ona pi'o le puipui.

O le faatosinaga o le photoresist

E fai e le Photoresist le matafaioi o se ufimata i le vaneina mago, e puipuia ai vaega e le manaʻomia ona vaneina. Peitaʻi, e aʻafia foʻi le photoresist i le pa o le plasma ma tali atu o vailaʻau i le taimi o le faagasologa o le vaneina, ma e ono suia lona faʻatinoga.

Afai e lē tutusa le mafiafia o le photoresist, e lē tutusa le fua faatatau o le fa'aaogaina i le taimi o le fa'agasologa o le etching, pe eseese le pipii i le va o le photoresist ma le substrate i nofoaga eseese, e ono i'u ai i le lē tutusa o le puipuiga o itu i le taimi o le fa'agasologa o le etching. Mo se fa'ata'ita'iga, o vaega e manifinifi le photoresist pe vaivai le pipii e ono faigofie ai ona eliina le mea o lo'o i lalo, ma mafua ai ona pi'o itu i nei nofoaga.

Eseesega i meatotino o meafaitino o le substrate

Atonu e eseese uiga o le mea ua vaneina, e pei o le eseese o fa'atulagaga o le tioata ma le tele o le fa'aputuga i vaega eseese. O nei eseesega o le a a'afia ai le fua faatatau o le vaneina ma le filifiliga o le vaneina.
Mo se faʻataʻitaʻiga, i le silicon crystalline, e eseese le faʻatulagaga o atomu silicon i tulaga eseese o le crystal, ma o lo latou tali atu ma le saoasaoa o le etching ma le kesi etching o le a eseese foʻi. I le taimi o le faʻagasologa o le etching, o le eseesega o saoasaoa o le etching e mafua mai i le eseesega o meatotino o meafaitino o le a le tutusa ai le loloto o le etching o puipui i itu i nofoaga eseese, ma iu ai ina piʻo le puipui i itu.

Mea e fesoʻotaʻi ma masini

O le fa'atinoga ma le tulaga o masini eli e iai fo'i sona aafiaga taua i taunu'uga o le eliina. Mo se fa'ata'ita'iga, o fa'afitauli e pei o le le tutusa o le tufatufaina o le plasma i totonu o le potu tali ma le le tutusa o le ofuina o le electrode e ono o'o atu ai i le le tutusa o le tufatufaina o parakalafa e pei o le ion density ma le malosi i luga o le wafer surface i le taimi o le eliina.

E le gata i lea, o le le tutusa o le puleaina o le vevela o masini ma le fesuisuia’i o le tafe o le kasa e ono a’afia ai le tutusa o le vaneina, ma iu ai ina pi’o le itu o le puipui.