Kāpēc sausās kodināšanas laikā sānu sienas liecas?

Jonu bombardēšanas nevienmērīgums

Sausskodināšanaparasti ir process, kas apvieno fizikālus un ķīmiskus efektus, kurā jonu bombardēšana ir svarīga fizikālās kodināšanas metode.kodināšanas processjonu krišanas leņķis un enerģijas sadalījums var būt nevienmērīgs.

Ja jonu krišanas leņķis dažādās sānu sienas pozīcijās atšķiras, jonu kodināšanas efekts uz sānu sienas arī būs atšķirīgs. Vietās ar lielākiem jonu krišanas leņķiem jonu kodināšanas efekts uz sānu sienas ir spēcīgāks, kas izraisīs sānu sienas lielāku kodināšanu šajā zonā, izraisot sānu sienas locīšanos. Turklāt līdzīgu efektu radīs arī nevienmērīgs jonu enerģijas sadalījums. Joni ar augstāku enerģiju var efektīvāk noņemt materiālus, kā rezultātā rodas nekonsekvents rezultāts.kodināšanasānu sienas grādu slīpums dažādās pozīcijās, kas savukārt izraisa sānu sienas saliekšanos.

Fotorezista ietekme

Fotorezists sausajā kodināšanā darbojas kā maska, aizsargājot vietas, kuras nav nepieciešams kodināt. Tomēr kodināšanas procesā fotorezistoru ietekmē arī plazmas bombardēšana un ķīmiskās reakcijas, un tā darbība var mainīties.

Ja fotorezista biezums ir nevienmērīgs, patēriņa ātrums kodināšanas procesā ir nepastāvīgs vai fotorezista un substrāta saķere dažādās vietās ir atšķirīga, tas var izraisīt sānu sienu nevienmērīgu aizsardzību kodināšanas procesa laikā. Piemēram, apgabalos ar plānāku fotorezistu vai vājāku saķeri pamatā esošais materiāls var būt vieglāk kodināms, izraisot sānu sienu locīšanos šajās vietās.

Substrāta materiāla īpašību atšķirības

Pašam kodinātajam substrāta materiālam var būt atšķirīgas īpašības, piemēram, atšķirīga kristālu orientācija un leģēšanas koncentrācija dažādos reģionos. Šīs atšķirības ietekmēs kodināšanas ātrumu un kodināšanas selektivitāti.
Piemēram, kristāliskajā silīcijā silīcija atomu izvietojums dažādās kristāla orientācijās ir atšķirīgs, un arī to reaģētspēja un kodināšanas ātrums ar kodināšanas gāzi būs atšķirīgs. Kodināšanas procesa laikā atšķirīgie kodināšanas ātrumi, ko izraisa materiālu īpašību atšķirības, padarīs sānu sienu kodināšanas dziļumu dažādās vietās nekonsekventu, kas galu galā novedīs pie sānu sienu locīšanās.

Ar aprīkojumu saistītie faktori

Arī kodināšanas iekārtu veiktspējai un stāvoklim ir būtiska ietekme uz kodināšanas rezultātiem. Piemēram, tādas problēmas kā nevienmērīgs plazmas sadalījums reakcijas kamerā un nevienmērīgs elektrodu nodilums var izraisīt nevienmērīgu parametru, piemēram, jonu blīvuma un enerģijas, sadalījumu uz vafeļu virsmas kodināšanas laikā.

Turklāt nevienmērīga iekārtas temperatūras kontrole un nelielas gāzes plūsmas svārstības var ietekmēt arī kodināšanas vienmērīgumu, izraisot sānu sienu saliekšanos.