Зашто се бочни зидови савијају током сувог нагризања?

Неуједначеност јонског бомбардовања

Сувогравирањеје обично процес који комбинује физичке и хемијске ефекте, у коме је јонско бомбардовање важна метода физичког нагризања. Токомпроцес гравирања, угао упада и расподела енергије јона могу бити неравномерни.

Ако је угао упада јона различит на различитим положајима на бочном зиду, ефекат нагризања јона на бочни зид ће такође бити различит. У областима са већим угловима упада јона, ефекат нагризања јона на бочни зид је јачи, што ће узроковати да се бочни зид у овој области више нагриза, што доводи до савијања бочног зида. Поред тога, неравномерна расподела енергије јона ће такође произвести сличне ефекте. Јони са већом енергијом могу ефикасније уклањати материјале, што резултира недоследним...гравирањестепени бочног зида на различитим положајима, што заузврат доводи до савијања бочног зида.

Утицај фоторезиста

Фоторезист игра улогу маске код сувог нагризања, штитећи подручја која не треба нагризати. Међутим, на фоторезист утиче и плазма бомбардовање и хемијске реакције током процеса нагризања, те се његове перформансе могу променити.

Ако је дебљина фоторезиста неуједначена, брзина потрошње током процеса нагризања је недоследна или је адхезија између фоторезиста и подлоге различита на различитим локацијама, то може довести до неуједначене заштите бочних зидова током процеса нагризања. На пример, подручја са тањим фоторезистом или слабијом адхезијом могу учинити основни материјал лакшим за нагризање, што доводи до савијања бочних зидова на тим локацијама.

Разлике у својствима материјала подлоге

Сам материјал нагризане подлоге може имати различита својства, као што су различите оријентације кристала и концентрације допирања у различитим регионима. Ове разлике ће утицати на брзину нагризања и селективност нагризања.
На пример, у кристалном силицијуму, распоред атома силицијума у ​​различитим кристалним оријентацијама је различит, а њихова реактивност и брзина нагризања са гасом за нагризање такође ће бити различите. Током процеса нагризања, различите брзине нагризања изазване разликама у својствима материјала учиниће дубину нагризања бочних зидова на различитим локацијама недоследном, што ће на крају довести до савијања бочних зидова.

Фактори везани за опрему

Перформансе и статус опреме за нагризање такође имају важан утицај на резултате нагризања. На пример, проблеми као што су неравномерна расподела плазме у реакционој комори и неравномерно хабање електрода могу довести до неравномерне расподеле параметара као што су густина јона и енергија на површини плочице током нагризања.

Поред тога, неравномерна контрола температуре опреме и мале флуктуације у протоку гаса такође могу утицати на једноликост нагризања, што доводи до савијања бочних зидова.