Ինչո՞ւ են կողային պատերը ծռվում չոր փորագրման ժամանակ։

Իոնային ռմբակոծության անհավասարաչափություն

Չորփորագրությունսովորաբար ֆիզիկական և քիմիական ազդեցությունները համատեղող գործընթաց է, որի դեպքում իոնային ռմբակոծությունը ֆիզիկական փորագրման կարևոր մեթոդ է։փորագրման գործընթաց, իոնների միջադեպի անկյունը և էներգիայի բաշխումը կարող են անհավասար լինել։

Եթե ​​իոնների անկման անկյունը տարբեր է կողային պատի տարբեր դիրքերում, ապա իոնների փորագրման ազդեցությունը կողային պատի վրա նույնպես տարբեր կլինի: Ավելի մեծ իոնների անկման անկյուններ ունեցող տարածքներում իոնների փորագրման ազդեցությունն ավելի ուժեղ է, ինչը կհանգեցնի այս տարածքի կողային պատի ավելի շատ փորագրմանը, ինչը կհանգեցնի կողային պատի ծռմանը: Բացի այդ, իոնային էներգիայի անհավասար բաշխումը նույնպես կառաջացնի նմանատիպ ազդեցություններ: Ավելի բարձր էներգիա ունեցող իոնները կարող են ավելի արդյունավետ հեռացնել նյութերը, ինչը կհանգեցնի անհամապատասխանության:փորագրությունկողային պատի տարբեր դիրքերում աստիճաններ, ինչն էլ իր հերթին հանգեցնում է կողային պատի ծռմանը։

Ֆոտոռեզիստի ազդեցությունը

Ֆոտոռեզիստը չոր փորագրման ժամանակ դիմակի դեր է կատարում՝ պաշտպանելով այն հատվածները, որոնք փորագրման կարիք չունեն: Այնուամենայնիվ, ֆոտոռեզիստը նաև ենթարկվում է պլազմային ռմբակոծման և քիմիական ռեակցիաների ազդեցությանը փորագրման գործընթացի ընթացքում, և դրա աշխատանքը կարող է փոխվել:

Եթե ​​լուսառեզիստի հաստությունը անհավասար է, փորագրման գործընթացում սպառման արագությունը անհամապատասխան է, կամ լուսառեզիստի և հիմքի միջև կպչունությունը տարբեր տեղերում տարբեր է, դա կարող է հանգեցնել կողմնային պատերի անհավասար պաշտպանության փորագրման գործընթացում: Օրինակ, ավելի բարակ լուսառեզիստ կամ ավելի թույլ կպչունություն ունեցող հատվածները կարող են հիմքում ընկած նյութը ավելի հեշտ փորագրել, ինչը կհանգեցնի կողմնային պատերի ծռմանը այդ տեղերում:

Հիմքի նյութի հատկությունների տարբերությունները

Փորագրված հիմքի նյութն ինքնին կարող է ունենալ տարբեր հատկություններ, ինչպիսիք են բյուրեղների տարբեր կողմնորոշումները և տարբեր շրջաններում խառնուրդների կոնցենտրացիաները: Այս տարբերությունները կազդեն փորագրման արագության և փորագրման ընտրողականության վրա:
Օրինակ՝ բյուրեղային սիլիցիումում սիլիցիումի ատոմների դասավորությունը տարբեր բյուրեղային կողմնորոշումներում տարբեր է, և դրանց ռեակտիվությունը և փորագրման արագությունը փորագրման գազի հետ նույնպես տարբեր կլինեն: Փորագրման գործընթացի ընթացքում նյութի հատկությունների տարբերությունների պատճառով առաջացած փորագրման տարբեր արագությունները կհանգեցնեն կողմնային պատերի փորագրման խորության անհամապատասխանության տարբեր վայրերում, ինչը, ի վերջո, կհանգեցնի կողմնային պատերի ծռմանը:

Սարքավորումների հետ կապված գործոններ

Փորագրման սարքավորումների աշխատանքը և վիճակը նույնպես կարևոր ազդեցություն ունեն փորագրման արդյունքների վրա: Օրինակ, այնպիսի խնդիրներ, ինչպիսիք են ռեակցիայի խցիկում պլազմայի անհավասար բաշխումը և էլեկտրոդների անհավասար մաշվածությունը, կարող են հանգեցնել այնպիսի պարամետրերի անհավասար բաշխման, ինչպիսիք են իոնային խտությունը և էներգիան վաֆլիի մակերեսին փորագրման ընթացքում:

Բացի այդ, սարքավորումների անհավասար ջերմաստիճանի կառավարումը և գազի հոսքի աննշան տատանումները նույնպես կարող են ազդել փորագրման միատարրության վրա, ինչը կհանգեցնի կողային պատերի ծռման։