Naha témbok sisi bisa melengkung nalika diétsa garing?

Henteuna seragamna pangeboman ion

Garingukiranbiasana mangrupa prosés anu ngagabungkeun éfék fisik sareng kimia, dimana pangeboman ion mangrupikeun metode étsa fisik anu penting. Salilaprosés ngukir, sudut datang sareng distribusi énergi ion tiasa henteu rata.

Upami sudut datang ion béda dina posisi anu béda dina témbok sisi, pangaruh étsa ion dina témbok sisi ogé bakal béda. Di daérah anu gaduh sudut datang ion anu langkung ageung, pangaruh étsa ion dina témbok sisi langkung kuat, anu bakal nyababkeun témbok sisi di daérah ieu langkung étsa, nyababkeun témbok sisi melengkung. Salaku tambahan, distribusi énergi ion anu henteu rata ogé bakal ngahasilkeun pangaruh anu sami. Ion anu énergina langkung luhur tiasa miceun bahan sacara langkung efektif, anu ngahasilkeun henteu konsisten.ukiranderajat témbok sisi dina posisi anu béda, anu antukna nyababkeun témbok sisi ngalengkung.

Pangaruh fotoresist

Photoresist maénkeun peran salaku topéng dina ukir garing, ngajaga daérah anu henteu kedah diukir. Nanging, photoresist ogé kapangaruhan ku pamboman plasma sareng réaksi kimia salami prosés ukir, sareng kinerjana tiasa robih.

Upami ketebalan photoresist henteu rata, laju konsumsi salami prosés ngetsa henteu konsisten, atanapi adhesi antara photoresist sareng substrat béda di lokasi anu béda, éta tiasa nyababkeun panyalindungan anu henteu rata dina témbok sisi salami prosés ngetsa. Salaku conto, daérah anu photoresistna langkung ipis atanapi adhesi anu langkung lemah tiasa ngajantenkeun bahan anu aya di handapeunna langkung gampang dietsa, nyababkeun témbok sisi melengkung di lokasi ieu.

Bédana dina sipat bahan substrat

Bahan substrat anu diukir sorangan tiasa gaduh sipat anu béda-béda, sapertos orientasi kristal sareng konsentrasi doping anu béda di daérah anu béda. Béda ieu bakal mangaruhan laju ukir sareng selektivitas ukir.
Contona, dina silikon kristalin, susunan atom silikon dina orientasi kristal anu béda-béda béda, sareng réaktivitas sareng laju étsa na sareng gas étsa ogé bakal béda. Salila prosés étsa, laju étsa anu béda-béda anu disababkeun ku bédana sipat bahan bakal ngajantenkeun jerona étsa témbok sisi di lokasi anu béda-béda henteu konsisten, anu pamustunganana nyababkeun témbok sisi ngalengkung.

Faktor anu aya patalina sareng alat-alat

Kinerja sareng status alat-alat pangukir ogé gaduh dampak anu penting kana hasil pangukir. Salaku conto, masalah sapertos distribusi plasma anu henteu rata dina ruang réaksi sareng karusakan éléktroda anu henteu rata tiasa nyababkeun distribusi parameter anu henteu rata sapertos kapadetan ion sareng énergi dina permukaan wafer nalika pangukir.

Salian ti éta, kontrol suhu alat anu teu rata sareng fluktuasi aliran gas anu sakedik ogé tiasa mangaruhan keseragaman etsa, anu nyababkeun témbok sisi melengkung.