Kuru aşındırma sırasında yan duvarlar neden eğilir?

İyon bombardımanının düzensizliği

Kurugravürgenellikle fiziksel ve kimyasal etkileri birleştiren bir işlemdir, burada iyon bombardımanı önemli bir fiziksel aşındırma yöntemidir.aşındırma işlemi, iyonların geliş açısı ve enerji dağılımı eşit olmayabilir.

İyon olay açısı yan duvardaki farklı konumlarda farklıysa, iyonların yan duvardaki aşındırma etkisi de farklı olacaktır. Daha büyük iyon olay açılarına sahip alanlarda, iyonların yan duvardaki aşındırma etkisi daha güçlüdür, bu da bu alandaki yan duvarın daha fazla aşındırılmasına ve yan duvarın bükülmesine neden olur. Ayrıca, iyon enerjisinin eşit olmayan dağılımı da benzer etkilere neden olacaktır. Daha yüksek enerjiye sahip iyonlar malzemeleri daha etkili bir şekilde kaldırabilir ve bu da tutarsız sonuçlar doğururgravüryan duvarın farklı pozisyonlardaki dereceleri, yan duvarın bükülmesine neden olur.

Fotorezistin etkisi

Fotorezist, kuru aşındırmada maske görevi görerek aşındırılması gerekmeyen alanları korur. Ancak fotorezist, aşındırma işlemi sırasında plazma bombardımanı ve kimyasal reaksiyonlardan da etkilenir ve performansı değişebilir.

Fotorezistin kalınlığı eşit değilse, aşındırma işlemi sırasında tüketim oranı tutarsızsa veya fotorezist ile alt tabaka arasındaki yapışma farklı yerlerde farklıysa, aşındırma işlemi sırasında yan duvarların eşit olmayan şekilde korunmasına yol açabilir. Örneğin, daha ince fotorezist veya daha zayıf yapışmaya sahip alanlar, alttaki malzemenin daha kolay aşındırılmasına neden olarak yan duvarların bu yerlerde bükülmesine neden olabilir.

Alt tabaka malzemesi özelliklerindeki farklılıklar

Aşındırılmış alt tabaka malzemesinin kendisi farklı kristal yönelimleri ve farklı bölgelerdeki katkı konsantrasyonları gibi farklı özelliklere sahip olabilir. Bu farklılıklar aşındırma oranını ve aşındırma seçiciliğini etkileyecektir.
Örneğin, kristalin silikonda, silikon atomlarının farklı kristal yönelimlerinde düzenlenmesi farklıdır ve bunların aşındırma gazıyla tepkimesi ve aşındırma hızı da farklı olacaktır. Aşındırma işlemi sırasında, malzeme özelliklerindeki farklılıklardan kaynaklanan farklı aşındırma hızları, farklı yerlerdeki yan duvarların aşındırma derinliğini tutarsız hale getirecek ve sonuçta yan duvarların bükülmesine yol açacaktır.

Ekipmanla ilgili faktörler

Aşındırma ekipmanının performansı ve durumu da aşındırma sonuçları üzerinde önemli bir etkiye sahiptir. Örneğin, reaksiyon haznesindeki eşit olmayan plazma dağılımı ve eşit olmayan elektrot aşınması gibi sorunlar, aşındırma sırasında iyon yoğunluğu ve enerji gibi parametrelerin yonga yüzeyinde eşit olmayan dağılımına yol açabilir.

Ayrıca, ekipmanın sıcaklık kontrolünün eşit olmaması ve gaz akışındaki hafif dalgalanmalar da aşındırmanın düzgünlüğünü etkileyerek yan duvarların eğilmesine yol açabilir.