Kuru aşındırma sırasında yan duvarlar neden bükülür?

İyon bombardımanının homojen olmaması

KurugravürGenellikle fiziksel ve kimyasal etkileri birleştiren bir süreçtir ve iyon bombardımanı önemli bir fiziksel aşındırma yöntemidir. Bu süreç sırasındaaşındırma işlemiİyonların geliş açısı ve enerji dağılımı düzensiz olabilir.

Yan duvardaki farklı konumlarda iyon çarpma açısı farklıysa, iyonların yan duvar üzerindeki aşındırma etkisi de farklı olacaktır. Daha büyük iyon çarpma açılarına sahip alanlarda, iyonların yan duvar üzerindeki aşındırma etkisi daha güçlüdür; bu da bu alandaki yan duvarın daha fazla aşınmasına ve yan duvarın bükülmesine neden olur. Ayrıca, iyon enerjisinin düzensiz dağılımı da benzer etkilere yol açar. Daha yüksek enerjili iyonlar, malzemeleri daha etkili bir şekilde uzaklaştırabilir ve bu da tutarsızlığa neden olur.gravürYan duvarın farklı konumlardaki eğim dereceleri, yan duvarın bükülmesine neden olur.

Fotorezistin etkisi

Fotorezist, kuru aşındırma işleminde maske görevi görerek aşındırılması gerekmeyen alanları korur. Bununla birlikte, fotorezist aşındırma işlemi sırasında plazma bombardımanından ve kimyasal reaksiyonlardan da etkilenir ve performansı değişebilir.

Fotorezist kalınlığının düzensiz olması, aşındırma işlemi sırasında tüketim oranının tutarsız olması veya fotorezist ile alt tabaka arasındaki yapışmanın farklı yerlerde farklı olması, aşındırma işlemi sırasında yan duvarların eşit olmayan şekilde korunmasına yol açabilir. Örneğin, daha ince fotorezist veya daha zayıf yapışmaya sahip alanlar, alttaki malzemenin daha kolay aşındırılmasına ve bu bölgelerde yan duvarların bükülmesine neden olabilir.

Alt tabaka malzemesinin özelliklerindeki farklılıklar

Aşındırma işlemine tabi tutulan alt tabaka malzemesinin kendisi, farklı bölgelerde farklı kristal yönelimleri ve katkı konsantrasyonları gibi farklı özelliklere sahip olabilir. Bu farklılıklar, aşındırma hızını ve aşındırma seçiciliğini etkileyecektir.
Örneğin, kristal silisyumda, farklı kristal yönelimlerindeki silisyum atomlarının dizilimi farklıdır ve bu nedenle aşındırma gazıyla reaksiyonları ve aşındırma hızları da farklı olacaktır. Aşındırma işlemi sırasında, malzeme özelliklerindeki farklılıklardan kaynaklanan farklı aşındırma hızları, farklı konumlardaki yan duvarların aşındırma derinliğinin tutarsız olmasına ve sonuç olarak yan duvar bükülmesine yol açacaktır.

Ekipmanla ilgili faktörler

Aşındırma ekipmanının performansı ve durumu da aşındırma sonuçları üzerinde önemli bir etkiye sahiptir. Örneğin, reaksiyon odasında düzensiz plazma dağılımı ve düzensiz elektrot aşınması gibi sorunlar, aşındırma sırasında gofret yüzeyinde iyon yoğunluğu ve enerji gibi parametrelerin düzensiz dağılımına yol açabilir.

Ayrıca, ekipmanın düzensiz sıcaklık kontrolü ve gaz akışındaki küçük dalgalanmalar da aşındırmanın homojenliğini etkileyerek yan duvar bükülmesine yol açabilir.