Yèn dietsa garing, kenapa dinding samping bisa mlengkung?

Ketidakseragaman pemboman ion

Garingukiranbiasane minangka proses sing nggabungake efek fisik lan kimia, ing ngendi pemboman ion minangka metode etsa fisik sing penting. Sajroneproses etsa, sudut datang lan distribusi energi ion bisa uga ora rata.

Yen sudut mlebu ion beda ing posisi sing beda ing dinding samping, efek etsa ion ing dinding samping uga bakal beda. Ing area kanthi sudut mlebu ion sing luwih gedhe, efek etsa ion ing dinding samping luwih kuwat, sing bakal nyebabake dinding samping ing area iki luwih akeh dietsa, nyebabake dinding samping mlengkung. Kajaba iku, distribusi energi ion sing ora rata uga bakal ngasilake efek sing padha. Ion kanthi energi sing luwih dhuwur bisa mbusak bahan kanthi luwih efektif, sing nyebabake ora konsisten.ukiranderajat tembok sisih ing posisi sing beda-beda, sing banjur nyebabake tembok sisih mlengkung.

Pengaruh fotoresist

Fotoresist nduweni peran kaya topeng ing etsa garing, nglindhungi area sing ora perlu dietsa. Nanging, fotoresist uga kena pengaruh pemboman plasma lan reaksi kimia sajrone proses etsa, lan kinerjane bisa uga owah.

Yen kekandelan photoresist ora rata, tingkat konsumsi sajrone proses etsa ora konsisten, utawa adhesi antarane photoresist lan substrat beda ing lokasi sing beda, iki bisa nyebabake perlindungan dinding samping sing ora rata sajrone proses etsa. Contone, area kanthi photoresist sing luwih tipis utawa adhesi sing luwih ringkih bisa nggawe bahan ing ngisore luwih gampang diukir, sing nyebabake dinding samping mlengkung ing lokasi kasebut.

Bedane sifat bahan substrat

Materi substrat sing diukir dhewe bisa uga duwe sifat sing beda-beda, kayata orientasi kristal lan konsentrasi doping sing beda-beda ing wilayah sing beda-beda. Bentenane iki bakal mengaruhi tingkat etsa lan selektivitas etsa.
Umpamane, ing silikon kristalin, susunan atom silikon ing orientasi kristal sing beda-beda iku beda, lan reaktivitas lan tingkat etsa karo gas etsa uga bakal beda. Sajrone proses etsa, tingkat etsa sing beda-beda sing disebabake dening bedane sifat materi bakal nggawe ambane etsa dinding samping ing lokasi sing beda-beda ora konsisten, sing pungkasane nyebabake dinding samping mlengkung.

Faktor sing ana gandhengane karo peralatan

Kinerja lan status peralatan etsa uga nduweni pengaruh penting marang asil etsa. Contone, masalah kayata distribusi plasma sing ora rata ing ruang reaksi lan keausan elektroda sing ora rata bisa nyebabake distribusi parameter sing ora rata kayata kapadhetan ion lan energi ing permukaan wafer sajrone etsa.

Kajaba iku, kontrol suhu peralatan sing ora rata lan fluktuasi aliran gas sing sithik uga bisa mengaruhi keseragaman etsa, sing nyebabake tembok samping mlengkung.