Kuki inkuta z'impande zigonda mu gihe cyo gukata zumye?

Kudahuza kw'ibisasu bya ion

Yumyegushushanyaubusanzwe ni inzira ihuza ingaruka z'umubiri n'izishingiye ku binyabutabire, aho ions bombardment ari uburyo bw'ingenzi bwo gushushanya. Mu giheinzira yo gukata, inguni y'impanuka n'ikwirakwizwa ry'ingufu za iyoni bishobora kuba bitangana.

Iyo inguni y’ibiza bya ion itandukanye ahantu hatandukanye ku ruhande, ingaruka zo gushushanya ion ku ruhande nazo zizatandukana. Mu duce dufite inguni nini z’ibiza bya ion, ingaruka zo gushushanya ion ku ruhande zirakomera cyane, bizatuma urukuta rwo muri aka gace rurushaho gushushanya, bigatuma urukuta rwo ku ruhande rugorama. Byongeye kandi, ikwirakwizwa ry’ingufu za ion ritaringaniye naryo rizagira ingaruka nk’izo. Ion zifite ingufu nyinshi zishobora gukuraho ibikoresho neza, bigatuma bidahinduka.gushushanyaibipimo by'urukuta rw'impande mu myanya itandukanye, ibyo bigatuma urukuta rw'impande rugorama.

Ingaruka za photoresist

Photoresist ikora nk'agapfukamunwa mu gukata uruhu rwumye, ikarinda ahantu hadakenewe gukata uruhu. Ariko, photoresist iragirwaho ingaruka no gutemba kw'amaraso mu maraso no mu mikorere y'imiti mu gihe cyo gukata uruhu, kandi imikorere yayo ishobora guhinduka.

Iyo ubunini bw'icyuma gikingira ubushyuhe (photoresist) butangana, igipimo cyo gukoresha mu gihe cyo gukata kitari gihuye, cyangwa uburyo icyuma gikingira ubushyuhe (photoresist) n'icyuma gifatana bitandukanye ahantu hatandukanye, bishobora gutuma inkuta z'impande zirinda ku buryo butangana mu gihe cyo gukata. Urugero, ahantu hafite icyuma gikingira ubushyuhe gito cyangwa gifite ubushobozi buke bwo gufatana bishobora gutuma ibikoresho biri munsi birushaho gukatana, bigatuma inkuta z'impande zigondana muri aho hantu.

Itandukaniro mu miterere y'ibikoresho bya substrate

Ibikoresho bya substrate byashushanyijwe ubwabyo bishobora kugira imiterere itandukanye, nko kuba imiterere itandukanye ya kristale n'ingano ya doping mu turere dutandukanye. Iri tandukaniro rizagira ingaruka ku muvuduko wo gushushanya no guhitamo gushushanya.
Urugero, muri silikoni ikoze muri kristu, uburyo atome za silikoni zishyirwa mu cyerekezo gitandukanye cya kristu buratandukanye, kandi uburyo zikora n'uburyo zikora hamwe na gaze ikoze muri kristu nazo ziratandukanye. Mu gihe cyo gushushanya, uburyo butandukanye bwo gushushanya buterwa n'itandukaniro ry'imiterere y'ibikoresho bizatuma ubujyakuzimu bw'inkuta z'impande ahantu hatandukanye budahinduka, amaherezo biganisha ku kugonda kw'inkuta z'impande.

Ibintu bifitanye isano n'ibikoresho

Imikorere n'imiterere y'ibikoresho byo gushushanya bigira ingaruka zikomeye ku bisubizo byo gushushanya. Urugero, ibibazo nko gukwirakwiza plasma mu cyumba cy'ibisubizo no kwangirika kwa electrode bitangana bishobora gutuma ibipimo nk'ubucucike bwa iyoni n'ingufu ku buso bwa wafer bikwirakwira mu gihe cyo gushushanya.

Byongeye kandi, kugenzura ubushyuhe bw'ibikoresho mu buryo butaringaniye no guhinduka guke mu mikorere ya gazi nabyo bishobora kugira ingaruka ku buryo ibyuma bicukurwa, bigatera gupfunyika kw'urukuta rw'impande.