No ke aha e kūlou ai nā paia ʻaoʻao i ka wā e kālai maloʻo ai?

ʻAʻole like ka hoʻouka kaua ʻana o ka ion

Maloʻokālai ʻanahe hana maʻamau ia e hoʻohui i nā hopena kino a me nā kemika, kahi i lilo ai ka hoʻopōkā ʻana ion i mea hana koʻikoʻi no ke kālai kino ʻana. I ka wā o kakaʻina hana kālai ʻana, ʻaʻole paha i like ʻole ke kihi hanana a me ka hoʻolaha ikehu o nā ions.

Inā ʻokoʻa ke kihi o ka ion ma nā kūlana like ʻole ma ka paia ʻaoʻao, e ʻokoʻa nō hoʻi ka hopena o ke kahakaha ʻana o nā ion ma ka paia ʻaoʻao. Ma nā wahi me nā kihi nui o ka ion, ʻoi aku ka ikaika o ka hopena o ke kahakaha ʻana o nā ion ma ka paia ʻaoʻao, kahi e ʻoi aku ai ke kahakaha ʻia o ka paia ʻaoʻao ma kēia wahi, e kūlou ai ka paia ʻaoʻao. Eia kekahi, ʻo ka hoʻolaha like ʻole o ka ikehu ion e hana pū i nā hopena like. Hiki i nā ion me ka ikehu kiʻekiʻe ke wehe i nā mea me ka ʻoi aku ka maikaʻi, e hopena ana i ka kūlike ʻole.kālai ʻananā kekelē o ka paia ʻaoʻao ma nā kūlana like ʻole, ʻo ia hoʻi ke kumu e kūlou ai ka paia ʻaoʻao.

Ka hopena o ka photoresist

Hoʻokani ka Photoresist i ke kuleana o kahi pale maka i ka etching maloʻo, e pale ana i nā wahi i pono ʻole e eli ʻia. Eia nō naʻe, hoʻopilikia ʻia ka photoresist e ka hoʻouka ʻana o ka plasma a me nā hopena kemika i ka wā o ke kaʻina hana etching, a hiki ke loli kāna hana.

Inā ʻaʻole like ka mānoanoa o ka photoresist, ʻaʻole like ka nui o ka hoʻohana ʻana i ka wā o ke kaʻina hana etching, a ʻokoʻa paha ka hoʻopili ʻana ma waena o ka photoresist a me ke substrate ma nā wahi like ʻole, hiki ke alakaʻi i ka pale like ʻole o nā paia ʻaoʻao i ka wā o ke kaʻina hana etching. No ka laʻana, ʻo nā wahi me ka photoresist lahilahi a i ʻole ka hoʻopili nāwaliwali e maʻalahi ai ke kahakaha ʻia ka mea ma lalo, e kumu ai i nā paia ʻaoʻao e kūlou ma kēia mau wahi.

Nā ʻokoʻa o nā waiwai o ka substrate

Hiki i ka mea substrate i kālai ʻia ke loaʻa nā waiwai like ʻole, e like me nā ʻano kristal like ʻole a me nā ʻano doping ma nā wahi like ʻole. E hoʻopilikia kēia mau ʻokoʻa i ka wikiwiki o ke kālai ʻana a me ke koho ʻana o ke kālai ʻana.
No ka laʻana, i loko o ka silicon crystalline, ʻokoʻa ka hoʻonohonoho ʻana o nā ʻātoma silicon ma nā ʻano kristal like ʻole, a ʻokoʻa hoʻi ko lākou reactivity a me ka wikiwiki o ke kālai ʻana me ke kinoea kālai ʻana. I ka wā o ke kaʻina hana kālai ʻana, ʻo nā wikiwiki kālai ʻana like ʻole i hoʻokumu ʻia e nā ʻokoʻa o nā waiwai mea e hoʻolilo i ka hohonu kālai ʻana o nā paia ʻaoʻao ma nā wahi like ʻole, a i ka hopena e alakaʻi ai i ka kūlou ʻana o ka paia ʻaoʻao.

Nā mea pili i nā lako

He hopena koʻikoʻi nō hoʻi ka hana a me ke kūlana o nā lako etching i nā hopena etching. No ka laʻana, ʻo nā pilikia e like me ka hoʻolaha like ʻole o ka plasma i loko o ke keʻena hopena a me ka ʻaʻahu electrode like ʻole e alakaʻi i ka hoʻolaha like ʻole o nā palena e like me ka nui o ka ion a me ka ikehu ma ka ʻili wafer i ka wā e etching ai.

Eia kekahi, ʻo ka kaohi ʻokoʻa o ka mahana o nā lako a me nā loli iki o ke kahe kinoea e hoʻopilikia paha i ke ʻano like o ke kahakaha ʻana, e alakaʻi ana i ke kūlou ʻana o ka paia ʻaoʻao.