מדוע דפנות צד מתכופפות במהלך איכול יבש?

חוסר אחידות של הפצצת יונים

יָבֵשׁתַחרִיטהוא בדרך כלל תהליך המשלב השפעות פיזיקליות וכימיות, שבו הפצצת יונים היא שיטת איכול פיזיקלית חשובה. במהלךתהליך איכול, זווית הפגיעה וחלוקת האנרגיה של היונים עשויות להיות לא אחידות.

אם זווית הפגיעה של היונים שונה במיקומים שונים על דופן הצד, גם אפקט האיכול של היונים על דופן הצד יהיה שונה. באזורים עם זוויות פגיעה גדולות יותר של היונים, אפקט האיכול של היונים על דופן הצד חזק יותר, מה שיגרום לדופן הצד באזור זה להיצרב יותר, מה שיגרום לה להתכופף. בנוסף, פיזור לא אחיד של אנרגיית היונים גם כן ייצור השפעות דומות. יונים בעלי אנרגיה גבוהה יותר יכולים להסיר חומרים בצורה יעילה יותר, וכתוצאה מכך לא עקביות.תַחרִיטמעלות של דופן הצד במיקומים שונים, מה שבתורו גורם לכיפוף דופן הצד.

השפעת הפוטורזיסט

פוטורזיסט משמש כמסכה בתהליך האיכול היבש, ומגן על אזורים שאין צורך באיכול. עם זאת, הפוטורזיסט מושפע גם מהפגזת פלזמה ומתגובות כימיות במהלך תהליך האיכול, וביצועיו עשויים להשתנות.

אם עובי הפוטורזיסט אינו אחיד, קצב הצריכה במהלך תהליך האיכול אינו עקבי, או שההידבקות בין הפוטורזיסט למצע שונה במקומות שונים, הדבר עלול להוביל להגנה לא אחידה של דפנות הצדדיות במהלך תהליך האיכול. לדוגמה, אזורים עם פוטורזיסט דק יותר או הידבקות חלשה יותר עלולים להפוך את החומר הבסיסי לחרוט ביתר קלות, מה שיגרום לדפנות הצדדיות להתכופף במקומות אלה.

הבדלים בתכונות חומר המצע

לחומר המצע החרוט עצמו עשויות להיות תכונות שונות, כגון אוריינטציות גבישיות שונות וריכוזי סימום באזורים שונים. הבדלים אלה ישפיעו על קצב החרוט ועל סלקטיביות החרוט.
לדוגמה, בסיליקון גבישי, סידור אטומי הסיליקון בכיווני גביש שונים שונה, וגם הריאקטיביות שלהם וקצב האיכול שלהם עם גז האיכול יהיו שונים. במהלך תהליך האיכול, קצבי האיכול השונים הנגרמים מהבדלים בתכונות החומר יהפכו את עומק האיכול של דפנות הצדדים במיקומים שונים ללא עקבי, מה שיוביל בסופו של דבר לכיפוף דפנות הצדדים.

גורמים הקשורים לציוד

גם לביצועים ולמצב של ציוד האיכול יש השפעה חשובה על תוצאות האיכול. לדוגמה, בעיות כגון פיזור לא אחיד של הפלזמה בתא התגובה ובלאי לא אחיד של האלקטרודות עלולות להוביל לפיזור לא אחיד של פרמטרים כגון צפיפות יונים ואנרגיה על פני הוופל במהלך האיכול.

בנוסף, בקרת טמפרטורה לא אחידה של הציוד ותנודות קלות בזרימת הגז עלולות גם הן להשפיע על אחידות האיכול, מה שמוביל לכיפוף דופן הצד.