सुख्खा नक्काशी गर्दा किन साइडवालहरू बाङ्गिन्छन्?

आयन बमबारी को असंगति

सुख्खानक्काशीसामान्यतया भौतिक र रासायनिक प्रभावहरू संयोजन गर्ने प्रक्रिया हो, जसमा आयन बमबारी एक महत्त्वपूर्ण भौतिक नक्काशी विधि हो।नक्काशी प्रक्रिया, आयनहरूको आपतकालीन कोण र ऊर्जा वितरण असमान हुन सक्छ।

यदि साइडवालमा विभिन्न स्थानहरूमा आयन घटना कोण फरक छ भने, साइडवालमा आयनहरूको एचिंग प्रभाव पनि फरक हुनेछ। ठूला आयन घटना कोण भएका क्षेत्रहरूमा, साइडवालमा आयनहरूको एचिंग प्रभाव बलियो हुन्छ, जसले गर्दा यस क्षेत्रको साइडवाल बढी एचिंग हुनेछ, जसले गर्दा साइडवाल झुक्नेछ। थप रूपमा, आयन ऊर्जाको असमान वितरणले पनि समान प्रभावहरू उत्पादन गर्नेछ। उच्च ऊर्जा भएका आयनहरूले सामग्रीहरूलाई अझ प्रभावकारी रूपमा हटाउन सक्छन्, जसको परिणामस्वरूप असंगत हुन्छ।नक्काशीविभिन्न स्थानहरूमा साइडवालको डिग्रीहरू, जसले गर्दा साइडवाल मोडिन्छ।

फोटोरेजिस्टको प्रभाव

ड्राई एचिंगमा फोटोरेसिस्टले मास्कको भूमिका खेल्छ, एचिंग गर्न आवश्यक नपर्ने क्षेत्रहरूलाई सुरक्षित राख्छ। यद्यपि, एचिंग प्रक्रियाको क्रममा प्लाज्मा बमबारी र रासायनिक प्रतिक्रियाहरूबाट फोटोरेसिस्ट पनि प्रभावित हुन्छ, र यसको कार्यसम्पादन परिवर्तन हुन सक्छ।

यदि फोटोरेसिस्टको मोटाई असमान छ, एचिङ प्रक्रियाको समयमा खपत दर असंगत छ, वा फोटोरेसिस्ट र सब्सट्रेट बीचको आसंजन फरक स्थानहरूमा फरक छ भने, यसले एचिङ प्रक्रियाको क्रममा साइडवालहरूको असमान सुरक्षा निम्त्याउन सक्छ। उदाहरणका लागि, पातलो फोटोरेसिस्ट वा कमजोर आसंजन भएका क्षेत्रहरूले अन्तर्निहित सामग्रीलाई अझ सजिलैसँग एचिङ बनाउन सक्छ, जसले गर्दा साइडवालहरू यी स्थानहरूमा मोडिन्छन्।

सब्सट्रेट सामग्री गुणहरूमा भिन्नताहरू

एच्ड गरिएको सब्सट्रेट सामग्रीमा नै फरक गुणहरू हुन सक्छन्, जस्तै फरक क्रिस्टल अभिमुखीकरण र फरक क्षेत्रहरूमा डोपिङ सांद्रता। यी भिन्नताहरूले एचिंग दर र एचिंग चयनशीलतालाई असर गर्नेछ।
उदाहरणका लागि, क्रिस्टलीय सिलिकनमा, विभिन्न क्रिस्टल अभिमुखीकरणहरूमा सिलिकन परमाणुहरूको व्यवस्था फरक हुन्छ, र तिनीहरूको प्रतिक्रियाशीलता र एचिंग ग्याससँग एचिंग दर पनि फरक हुनेछ। एचिंग प्रक्रियाको क्रममा, सामग्री गुणहरूमा भिन्नताका कारण हुने फरक एचिंग दरहरूले विभिन्न स्थानहरूमा साइडवालहरूको एचिंग गहिराइलाई असंगत बनाउनेछ, अन्ततः साइडवाल झुकाउनेछ।

उपकरणसँग सम्बन्धित कारकहरू

एचिङ उपकरणको कार्यसम्पादन र स्थितिले पनि एचिङको नतिजामा महत्त्वपूर्ण प्रभाव पार्छ। उदाहरणका लागि, प्रतिक्रिया कक्षमा असमान प्लाज्मा वितरण र असमान इलेक्ट्रोड पहिरन जस्ता समस्याहरूले एचिङको समयमा वेफर सतहमा आयन घनत्व र ऊर्जा जस्ता प्यारामिटरहरूको असमान वितरण निम्त्याउन सक्छ।

यसको अतिरिक्त, उपकरणको असमान तापक्रम नियन्त्रण र ग्यास प्रवाहमा थोरै उतारचढावले पनि एचिंगको एकरूपतालाई असर गर्न सक्छ, जसले गर्दा साइडवाल झुक्न सक्छ।