Ion bombardmanynyň deň dälligi
Guryoýmaadatça fiziki we himiki täsirleri birleşdirýän proses bolup, onda ion bombardmany möhüm fiziki aşındyrma usulydyr.aşındyrma prosesi, ionlaryň düşýän burçy we energiýa paýlanyşy deň däl bolup biler.
Eger ion düşýän burç gapdal diwaryň dürli ýerlerinde dürli bolsa, ionlaryň gapdal diwara aşyndyryş täsiri hem dürli bolar. Ion düşýän burçlary uly bolan ýerlerde ionlaryň gapdal diwara aşyndyryş täsiri has güýçli bolýar, bu bolsa bu sebitdäki gapdal diwaryň has köp aşynmagyna we gapdal diwaryň egilmegine sebäp bolar. Mundan başga-da, ion energiýasynyň deň däl paýlanyşy hem şuňa meňzeş täsirleri döreder. Ýokary energiýaly ionlar materiallary has netijeli aýryp, deňsizlige sebäp bolup biler.oýmagapdal diwaryň dürli ýagdaýlardaky derejeleri, bu bolsa öz gezeginde gapdal diwaryň egilmegine sebäp bolýar.
Fotorezistiň täsiri
Fotorezist gurak aşyndyrmada maskanyň rolyny oýnaýar, aşyndyrylmaly däl ýerleri goraýar. Şeýle-de bolsa, fotorezist aşyndyrma prosesinde plazma bombardmanyna we himiki reaksiýalara hem täsir edýär we onuň işi üýtgeýär.
Eger fotorezistiň galyňlygy deň däl bolsa, aşındyrma prosesinde sarp ediş tizligi deň däl bolsa ýa-da fotorezist bilen substratyň arasyndaky ýelmeşme dürli ýerlerde dürli bolsa, aşındyrma prosesinde gapdal diwarlaryň deň däl goragyna getirip biler. Mysal üçin, has inçe fotorezistli ýa-da ýelmeşmesi gowşak ýerler aşagyndaky materialyň has aňsat aşynmagyna sebäp bolup, gapdal diwarlaryň bu ýerlerde egilmegine sebäp bolup biler.
Substrat materialynyň häsiýetlerindäki tapawutlar
Oýulyp ýasalan substrat materialynyň özi dürli häsiýetlere eýe bolup biler, mysal üçin, dürli sebitlerde dürli kristal ugurlary we lehim konsentrasiýalary. Bu tapawutlar oýulyp ýasalan tizlige we oýulyp ýasalan seçijilige täsir eder.
Mysal üçin, kristal kremniýde kremniý atomlarynyň dürli kristal ugurlarynda ýerleşişi dürli-dürli bolýar we olaryň aşynma gazy bilen reaksiýa ukyby we aşynma tizligi hem dürli-dürli bolar. Aşynma prosesinde, material häsiýetleriniň tapawutlylygy sebäpli ýüze çykýan dürli aşynma tizlikleri dürli ýerlerde gapdal diwarlaryň aşynma çuňlugyny deňsiz edýär we ahyrsoňy gapdal diwarlaryň egilmegine getirýär.
Enjamlar bilen baglanyşykly faktorlar
Oýmak enjamlarynyň işi we ýagdaýy hem oýmak netijelerine möhüm täsir edýär. Mysal üçin, reaksiýa kamerasynda plazmanyň deň däl paýlanmagy we elektrodyň deň däl aşynmagy ýaly meseleler, oýmak wagtynda wafer ýüzünde ion dykyzlygy we energiýa ýaly parametrleriň deň däl paýlanmagyna getirip biler.
Mundan başga-da, enjamyň temperaturasynyň deň däl düzgünleşdirilmegi we gaz akymynyň azajyk üýtgemeleri hem aşındyrmagyň deňligine täsir edip, gapdal diwaryň egilmegine sebäp bolup biler.
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 3-nji dekabry