Иондық бомбалаудың біркелкі еместігі
Құрғақоюәдетте физикалық және химиялық әсерлерді біріктіретін процесс болып табылады, мұнда иондық бомбалау маңызды физикалық ою әдісі болып табылады.ою процесі, иондардың түсу бұрышы және энергия таралуы біркелкі болмауы мүмкін.
Егер иондардың түсу бұрышы бүйір қабырғасының әртүрлі позицияларында әртүрлі болса, иондардың бүйір қабырғаға ою әсері де әртүрлі болады. Иондардың түсу бұрыштары үлкен аймақтарда иондардың бүйір қабырғаға ою әсері күштірек болады, бұл осы аймақтағы бүйір қабырғаның көбірек оюлануына әкеледі, бұл бүйір қабырғаның майысуына әкеледі. Сонымен қатар, ион энергиясының біркелкі емес таралуы да ұқсас әсерлерді тудырады. Жоғары энергиясы бар иондар материалдарды тиімдірек жоя алады, бұл сәйкессіздікке әкеледі.оюбүйір қабырғасының әртүрлі позициялардағы градустары, бұл өз кезегінде бүйір қабырғасының майысуына әкеледі.
Фоторезисттің әсері
Фоторезист құрғақ ою кезінде маска рөлін атқарады, оюдың қажеті жоқ аймақтарды қорғайды. Дегенмен, фоторезистке плазмалық бомбалау және ою процесі кезіндегі химиялық реакциялар да әсер етеді және оның өнімділігі өзгеруі мүмкін.
Егер фоторезисттің қалыңдығы біркелкі болмаса, ою процесіндегі шығын жылдамдығы біркелкі болмаса немесе фоторезист пен негіз арасындағы адгезия әртүрлі жерлерде әртүрлі болса, бұл ою процесінде бүйір қабырғалардың біркелкі қорғалмауына әкелуі мүмкін. Мысалы, фоторезист жұқа немесе адгезиясы әлсіз аймақтар астындағы материалды оңай оюға мәжбүрлеп, бүйір қабырғалардың бұл жерлерде майысуына әкелуі мүмкін.
Субстрат материалының қасиеттеріндегі айырмашылықтар
Ойылған негіз материалының өзіндік қасиеттері әртүрлі болуы мүмкін, мысалы, әртүрлі аймақтардағы кристалдардың бағыты және қоспа концентрациясы. Бұл айырмашылықтар ою жылдамдығына және оюдың селективтілігіне әсер етеді.
Мысалы, кристалды кремнийде кремний атомдарының әртүрлі кристалдық бағытта орналасуы әртүрлі болады, және олардың өңдеу газымен реактивтілігі мен өңдеу жылдамдығы да әртүрлі болады. Өңдеу процесінде материалдық қасиеттердің айырмашылығынан туындаған өңдеу жылдамдығының әртүрлі болуы бүйір қабырғаларының өңдеу тереңдігін әртүрлі жерлерде сәйкессіз етеді, бұл сайып келгенде бүйір қабырғасының майысуына әкеледі.
Жабдыққа қатысты факторлар
Ою жабдығының өнімділігі мен күйі де ою нәтижелеріне маңызды әсер етеді. Мысалы, реакция камерасында плазманың біркелкі таралмауы және электродтың біркелкі емес тозуы сияқты мәселелер ою кезінде пластина бетінде ион тығыздығы мен энергия сияқты параметрлердің біркелкі таралмауына әкелуі мүмкін.
Сонымен қатар, жабдықтың температурасын біркелкі бақылаудың болмауы және газ ағынының аздап ауытқуы да оюдың біркелкілігіне әсер етуі мүмкін, бұл бүйір қабырғасының майысуына әкеледі.
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 3 желтоқсан