आयन बॉम्बार्डमेंटची असमानता
कोरडेकोरीवकामही सामान्यतः भौतिक आणि रासायनिक प्रभावांचे मिश्रण असलेली प्रक्रिया आहे, ज्यामध्ये आयन बॉम्बार्डमेंट ही एक महत्त्वाची भौतिक एचिंग पद्धत आहे. या दरम्यानएचिंग प्रक्रियाआयनांचा आपतन कोन आणि ऊर्जा वितरण असमान असू शकते.
जर बाजूच्या भिंतीवरील वेगवेगळ्या ठिकाणी आयन आपतन कोन वेगवेगळा असेल, तर बाजूच्या भिंतीवरील आयनांचा क्षरण प्रभाव देखील वेगवेगळा असेल. ज्या भागांमध्ये आयन आपतन कोन जास्त असतो, त्या भागांमध्ये बाजूच्या भिंतीवरील आयनांचा क्षरण प्रभाव अधिक तीव्र असतो, ज्यामुळे या भागातील बाजूची भिंत अधिक कोरली जाते आणि ती वाकते. याव्यतिरिक्त, आयन ऊर्जेच्या असमान वितरणामुळे देखील असेच परिणाम दिसून येतात. जास्त ऊर्जा असलेले आयन अधिक प्रभावीपणे पदार्थ काढून टाकू शकतात, ज्यामुळे विसंगती निर्माण होते.कोरीवकामवेगवेगळ्या ठिकाणी बाजूच्या भिंतीचे अंश, ज्यामुळे बाजूची भिंत वाकते.
फोटोरेझिस्टचा प्रभाव
ड्राय एचिंगमध्ये फोटोरेझिस्ट मास्कची भूमिका बजावतो, आणि ज्या भागांना एचिंग करण्याची आवश्यकता नसते त्यांचे संरक्षण करतो. तथापि, एचिंग प्रक्रियेदरम्यान प्लाझ्मा बॉम्बार्डमेंट आणि रासायनिक अभिक्रियांमुळे फोटोरेझिस्टवरही परिणाम होतो आणि त्यामुळे त्याच्या कार्यक्षमतेत बदल होऊ शकतो.
जर फोटोरेझिस्टची जाडी असमान असेल, एचिंग प्रक्रियेदरम्यान वापराचा दर विसंगत असेल, किंवा फोटोरेझिस्ट आणि सबस्ट्रेटमधील आसंजन वेगवेगळ्या ठिकाणी भिन्न असेल, तर त्यामुळे एचिंग प्रक्रियेदरम्यान बाजूच्या भिंतींचे संरक्षण असमान होऊ शकते. उदाहरणार्थ, पातळ फोटोरेझिस्ट किंवा कमकुवत आसंजन असलेल्या भागांमुळे खालील सामग्री अधिक सहजपणे एच होऊ शकते, ज्यामुळे या ठिकाणी बाजूच्या भिंती वाकतात.
सब्सट्रेट सामग्रीच्या गुणधर्मांमधील फरक
एचिंग केलेल्या सब्सट्रेट मटेरियलमध्ये स्वतःच वेगवेगळे गुणधर्म असू शकतात, जसे की वेगवेगळ्या भागांमध्ये भिन्न क्रिस्टल ओरिएंटेशन आणि डोपिंग कॉन्सन्ट्रेशन. या फरकांमुळे एचिंगचा दर आणि एचिंग सिलेक्टिव्हिटीवर परिणाम होईल.
उदाहरणार्थ, स्फटिकमय सिलिकॉनमध्ये, वेगवेगळ्या स्फटिक अभिमुखतेमध्ये सिलिकॉन अणूंची मांडणी भिन्न असते आणि एचिंग वायूसोबत त्यांची अभिक्रियाशीलता व एचिंगचा दर देखील भिन्न असतो. एचिंग प्रक्रियेदरम्यान, पदार्थांच्या गुणधर्मांमधील फरकांमुळे निर्माण होणाऱ्या एचिंगच्या भिन्न दरांमुळे, वेगवेगळ्या ठिकाणी बाजूच्या भिंतींची एचिंगची खोली विसंगत होते, ज्यामुळे अखेरीस बाजूच्या भिंती वाकतात.
उपकरणांशी संबंधित घटक
एचिंग उपकरणाची कार्यक्षमता आणि स्थिती यांचाही एचिंगच्या परिणामांवर महत्त्वाचा प्रभाव पडतो. उदाहरणार्थ, रिॲक्शन चेंबरमधील प्लाझ्माचे असमान वितरण आणि इलेक्ट्रोडची असमान झीज यांसारख्या समस्यांमुळे एचिंग दरम्यान वेफरच्या पृष्ठभागावर आयन घनता आणि ऊर्जा यांसारख्या पॅरामीटर्सचे असमान वितरण होऊ शकते.
याव्यतिरिक्त, उपकरणाचे असमान तापमान नियंत्रण आणि वायू प्रवाहातील किरकोळ चढउतार देखील एचिंगच्या एकसमानतेवर परिणाम करू शकतात, ज्यामुळे बाजूची भिंत वाकते.
पोस्ट करण्याची वेळ: ०३-डिसेंबर-२०२४