Inuniformitas bombardamenti ionici
SiccusscalpturaSolet esse processus qui effectus physicos et chemicos coniungit, in quo bombardamentum ionico est methodus magni momenti ad corrosionem physicam perficiendam. Per...processus scalpendi, angulus incidentiae et distributio energiae ionum inaequales esse possunt.
Si angulus incidentiae ionum in diversis locis in pariete laterali differt, effectus corrosionis ionum in pariete laterali etiam differet. In locis cum maioribus angulis incidentiae ionum, effectus corrosionis ionum in pariete laterali fortior est, quod parietem lateralem in hac area magis corrosam faciet, parietem lateralem flectentem. Praeterea, inaequalis distributio energiae ionum similes effectus producet. Iones cum energia maiori materias efficacius removere possunt, unde incongruentia...scalpturagradus parietis lateralis in diversis positionibus, quod vicissim parietem lateralem flectere facit.
Influentia photoresisti
Photoresistum in sicca corrosionis munere larvae fungitur, areas non corrosas protegens. Attamen photoresistum etiam a bombardamento plasmatis et reactionibus chemicis durante processu corrosionis afficitur, et eius efficacia mutari potest.
Si crassitudo photoresisti inaequalis est, si consumptio per processum corrosionis inconstans est, aut si adhaesio inter photoresistum et substratum in locis diversis differt, hoc ad inaequalem tutelam parietum lateralium per processum corrosionis ducere potest. Exempli gratia, areae cum photoresisto tenuiori vel adhaesione debiliori materiam subiacentem facilius corrosam reddere possunt, ita ut parietes laterales in his locis flectantur.
Discrepantiae in proprietatibus materiae substrati
Ipsa materia substrati incisa proprietates diversas habere potest, ut orientationes crystallorum diversas et concentrationes dopandi in regionibus diversis. Hae differentiae celeritatem incisionis et selectivitatem incisionis afficient.
Exempli gratia, in silicio crystallino, dispositio atomorum silicii in diversis directionibus crystallorum differt, et eorum reactivitatem et celeritas corrosionis cum gas corrosionis etiam differunt. Per processum corrosionis, variae celeritates corrosionis, ob differentias proprietatum materialium effectae, profunditatem corrosionis parietum lateralium in diversis locis incongruentem reddent, quod tandem ad flexionem parietum lateralium ducit.
Factores ad apparatum pertinentes
Effectus et status instrumentorum ad corrosionem faciendam etiam magnum momentum in eventus corrosionis habent. Exempli gratia, problemata ut inaequalis distributio plasmatis in camera reactionis et inaequalis detritio electrodi ad inaequalem distributionem parametrorum, ut densitatis ionicae et energiae, in superficie lamellae durante corrosione ducere possunt.
Praeterea, inaequalis temperaturae apparati moderatio et leves fluctuationes in fluxu gasis etiam uniformitatem corrosionis afficere possunt, ad flexionem parietis lateralis ducentes.
Tempus publicationis: III Non. Dec. MMXXIV