Non-inifòmite nan bonbadman iyon
Sèkgravurse anjeneral yon pwosesis ki konbine efè fizik ak chimik, kote bonbadman iyon se yon metòd gravur fizik enpòtan. Pandanpwosesis grave, ang ensidan an ak distribisyon enèji iyon yo ka inegal.
Si ang ensidans iyon an diferan nan diferan pozisyon sou miray lateral la, efè grave iyon yo sou miray lateral la ap diferan tou. Nan zòn ki gen pi gwo ang ensidans iyon, efè grave iyon yo sou miray lateral la pi fò, sa ki pral lakòz miray lateral nan zòn sa a grave plis, sa ki pral lakòz miray lateral la pliye. Anplis de sa, distribisyon inegal enèji iyon an pral pwodui efè menm jan an tou. Iyon ki gen plis enèji ka retire materyèl pi efikasman, sa ki lakòz enkonsistans.gravurdegre nan miray lateral la nan diferan pozisyon, sa ki lakòz miray lateral la pliye.
Enfliyans fotorezist la
Fotorezist la jwe wòl yon mask nan grave sèk, li pwoteje zòn ki pa bezwen grave. Sepandan, fotorezist la afekte tou pa bonbadman plasma ak reyaksyon chimik pandan pwosesis grave a, e pèfòmans li ka chanje.
Si epesè fotorezist la pa egal, si to konsomasyon an pa konsistan pandan pwosesis grave a, oswa si adezyon ant fotorezist la ak substra a diferan nan diferan kote, sa ka lakòz pwoteksyon inegal nan mi bò yo pandan pwosesis grave a. Pa egzanp, zòn ki gen fotorezist ki pi mens oswa ki gen adezyon ki pi fèb ka fè materyèl ki anba a pi fasil pou grave, sa ki lakòz mi bò yo pliye nan kote sa yo.
Diferans nan pwopriyete materyèl substrati yo
Materyèl substrat grave a li menm ka gen diferan pwopriyete, tankou diferan oryantasyon kristal ak konsantrasyon dopan nan diferan rejyon yo. Diferans sa yo ap afekte vitès grave a ak selektivite grave a.
Pa egzanp, nan silikon kristalin, aranjman atòm silikon yo nan diferan oryantasyon kristal yo diferan, epi reyaktivite yo ak vitès grave yo ak gaz grave a ap diferan tou. Pandan pwosesis grave a, diferan vitès grave ki koze pa diferans nan pwopriyete materyèl yo ap fè pwofondè grave mi bò yo nan diferan kote yo pa konsistan, sa ki finalman mennen nan koube mi bò yo.
Faktè ki gen rapò ak ekipman yo
Pèfòmans ak eta ekipman grave a gen yon enpak enpòtan tou sou rezilta grave yo. Pa egzanp, pwoblèm tankou distribisyon plasma inegal nan chanm reyaksyon an ak mete inegal nan elektwòd yo ka mennen nan yon distribisyon inegal nan paramèt tankou dansite iyon ak enèji sou sifas waf la pandan grave a.
Anplis de sa, kontwòl tanperati inegal nan ekipman an ak ti varyasyon nan koule gaz la kapab afekte inifòmite grave a, sa ki ka lakòz pliye mi bò yo.
Dat piblikasyon: 3 Desanm 2024